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1. 发明申请

WO2007124732A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：声电器COMPONENT
公开(公告)号：WO2007124732A1
公开(公告)日：2007-11-08
申请号：PCT/DE2007/000765
申请日：2007-04-27
申请人： EPCOS AG , RÖSLER, Ulrike , KONOPKA, Jaroslaw , RUILE, Werner
发明人： RÖSLER, Ulrike , KONOPKA, Jaroslaw , RUILE, Werner
IPC分类号： H01Q9/02
CPC分类号： H03H9/02031 , H03H9/02228
摘要： Es wird ein mit geführten akustischen Wellen arbeitendes elektroakustisches Bauelement mit einem ersten Substrat (S1), einem zweiten Substrat (S2), einer Metallschicht (MS) und einer Zwischenschicht (ZS) angegeben. Das erste Substrat (S1) besteht aus einem Einkristall-LiTaO 3 . Die Metallschicht (MS) ist zwischen dem ersten Substrat (S1) und der Zwischenschicht (ZS) angeordnet. Die Zwischenschicht (ZS) ist zwischen der Metallschicht (MS) und dem zweiten Substrat (S2) angeordnet. Der Kristallschnitt des Einkristall-LiTaO 3 ist so gewählt, dass für den zweiten Eulerwinkel gilt: -100° ≤ µ ≤ -40° oder -160° ≤ µ ≤ -130°. Für den ersten Eulerwinkel λ gilt vorzugsweise λ = 0° und für den dritten Eulerwinkel θ gilt vorzugsweise -10° ≤ θ
摘要翻译：它是包括第一基板（S1）的被引导的声波工作电部件，第二基板（S2），金属层（MS）和中间层（ZS）表示。在第一基板（S1）由一个单一的晶体的LiTaO _{3 的。金属层（MS）是在第一基板（S1）和中间层（ZS）布置之间。中间层（ZS）设置在所述金属层（MS）和第二基板（S2）布置之间。单晶的LiTaO _{3 的晶体截面被选择为使得对于所述第二欧拉角适用：-100°=μ= -40°或-160°=μ= -130°。对于第一个欧拉角？最好应用？ = 0°和用于第三欧拉角θ 优选适用-10°= <0°？ = 0°或0°<？ = 10°。}}

2. 发明申请

WO2007085237A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：声电器COMPONENT
公开(公告)号：WO2007085237A1
公开(公告)日：2007-08-02
申请号：PCT/DE2007/000128
申请日：2007-01-24
申请人： EPCOS AG , RÖSLER, Ulrike , KONOPKA, Jaroslaw , RUILE, Werner
发明人： RÖSLER, Ulrike , KONOPKA, Jaroslaw , RUILE, Werner
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/0222 , H03H9/02559
摘要： Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit einem Substrat aus einem Einkristall-LiNbO3 angegeben, für dessen zweiten Eulerwinkel µ gilt: -74° ≤ µ ≤ -52° oder 23° ≤ µ ≤ 36°. Für den ersten Eulerwinkel λ gilt λ ≈ 0° und für den dritten Eulerwinkel θ gilt θ ≈ 0°.
摘要翻译：它是用一个单一的铌酸锂晶体构成的基板所指定的电部件，适用于第二欧拉角μ：-74°=μ= -52°或23°=μ= 36°。对于第一个欧拉角？适用？〜0°和用于第三欧拉角θ 适用？〜0°。

3. 发明申请

WO2012110377A1 MIT AKUSTISCHEN WELLEN ARBEITENDES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：利用声波工作相关的分量及其制备方法
公开(公告)号：WO2012110377A1
公开(公告)日：2012-08-23
申请号：PCT/EP2012/052121
申请日：2012-02-08
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , SCHMIDHAMMER, Edgar , RÖSLER, Ulrike , BEREK, Stefan
发明人： RUILE, Werner , SCHMIDHAMMER, Edgar , RÖSLER, Ulrike , BEREK, Stefan
IPC分类号： H03H9/145 , H03H9/02
CPC分类号： H03H9/25 , H01L41/047 , H01L41/29 , H03H9/0222 , H03H9/14538 , Y10T29/42
摘要： Es wird ein mit akustischen Wellen arbeitendes Bauelement (B) angegeben, bei welchem die Reflexion und Anregung weitgehend entkoppelt sind. Dazu umfasst ein Bauelement ein zwischen einem Elektrodenfinger (EF) und einem piezoelektrischen Substrat (PSU) angeordnetes Dielektrikum (DL), welches zumindest teilweise mit dem Elektrodenfinger überlappt.
摘要翻译：这是一个用所示的声波（B），在该反射和激励在很大程度上解耦操作。为了这个目的，包括一装置，电极指（EF）和一个压电基片（PSU）之间布置电介质（DL），其至少部分地与所述电极指重叠。

4. 发明申请

WO2007059740A3 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT 审中-公开
公开(公告)号：WO2007059740A3
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/DE2006/002029
申请日：2006-11-20
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
发明人： RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
IPC分类号： H03H9/02 , H03H3/02
摘要： Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit zwei Substraten angegeben, zwischen denen ein Schichtsystem angeordnet ist, das eine Metallschicht und eine Schicht niedriger akustischen Impedanz Z a,2 umfasst, wobei die Metallschicht eine Schicht mit einer hohen akustischen Impedanz Z a,1 umfasst, und wobei gilt: Z a,1 / Z a,2 ≥ 4,5. Somit ist eine ausreichende akustische Reflexion für geführte akustische Volumenwellen gewährleistet. Ferner wird ein elektroakustisches Bauelement mir einem piezoelektrischen Substrat aus Lithiumtantalat angegeben, das einen Schnittwinkel φ rot YX aufweist, wobei gilt 7°

5. 发明申请

WO2008046393A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：声电器COMPONENT
公开(公告)号：WO2008046393A1
公开(公告)日：2008-04-24
申请号：PCT/DE2007/001825
申请日：2007-10-12
申请人： EPCOS AG , RÖSLER, Ulrike , RIHA, Evelyn , RUILE, Werner
发明人： RÖSLER, Ulrike , RIHA, Evelyn , RUILE, Werner
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02551
摘要： Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit einem Substrat aus einem Quarz-Einkristall angegeben. Der Kristallschnitt des Substrats ist derart gewählt, dass auch unter Verwendung von relativ leichten Elektroden mit niedriger Höhe eine hohe akustische Reflexion > 1% und ein niedriger Temperaturgang
摘要翻译：它与由石英单晶，电声装置的基板指定。衬底的晶体切割的是，即使使用相对轻微电极具有低海拔高的声反射> 1％和低温度系数<25 PPB / K2获得如此选择。电极具有的铝的高含量。相关于电极的波长高度优选为<3.5％。

6. 发明申请

WO2004109913A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG 审中-公开
标题翻译：声电器COMPONENT及其制备方法
公开(公告)号：WO2004109913A1
公开(公告)日：2004-12-16
申请号：PCT/EP2004/004177
申请日：2004-04-20
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
发明人： RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/02228 , H01L23/481 , H01L2924/0002 , H01L2924/00
摘要： Die Erfindung betrifft ein elektroakustisches Bauelement, das ein zwischen zwei Substraten angeordnetes Schichtsystem umfaßt, das elektroakustische Strukturen zur Anregung einer geführten akustischen Volumenwelle aufweist, wobei über den elektroakustischen Strukturen keine Hohlräume vorgesehen sind. Das Schichtsystem umfaßt eine piezoelektrische Schicht, zumindest eine Metallschicht und eine Planarisierungsschicht, die zu dem direkt über ihr angeordneten Substrat hin eine planare Grenzfläche aufweist. Ein solches Bauelement kann kostengünstig durch Direct Wafer Bonding zweier Wafer erzeugt werden. Die elektroakustischen Bauelement-Strukturen sind elektrisch durch vertikale elektrische Verbindungen mit Außenkontakten des Bauelements verbunden.
摘要翻译：本发明涉及一种包括设置在两个基底的层系统，其包括用于引导的声波的激励，其中没有空腔设置在所述电声结构电声结构之间的阀的电声装置。所述层系统包括压电层，至少一个金属层和具有直接设置在其上方朝向衬底的平面界面的平坦化层。这样的装置可以通过直接晶片接合两个晶片被廉价地制造。电声器件结构是由该组件的外部触点垂直电连接电连接。

7. 发明申请

WO2012076517A1 ELEKTROAKUSTISCHER WANDLER MIT VERRINGERTEN VERLUSTEN DURCH TRANSVERSALE EMISSION UND VERBESSERTER PERFORMANCE DURCH UNTERDRÜCKUNG TRANSVERSALER MODEN 审中-公开
标题翻译：与减亏通过横向排放和改进的性能抑制性横向FASHIONS电声转换
公开(公告)号：WO2012076517A1
公开(公告)日：2012-06-14
申请号：PCT/EP2011/071900
申请日：2011-12-06
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , MAYER, Markus , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus , BLEYL, Ingo , RIHA, Gerd , EGGS, Christoph
发明人： RUILE, Werner , MAYER, Markus , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus , BLEYL, Ingo , RIHA, Gerd , EGGS, Christoph
IPC分类号： H03H9/02 , H03H9/145
CPC分类号： H01L41/047 , H03H9/0222 , H03H9/02858 , H03H9/02881 , H03H9/02992 , H03H9/14532 , H03H9/14552 , H03H9/1457
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft einen elektroakustischen Wandler, der in einer akustischen Spur (AS) und auf einem piezoelektrischen Substrat (11) angeordnet ist und der zwei auf dem Substrat (11) angeordnete Elektroden (1, 2) aufweist, die ineinander greifende Elektrodenfinger (3, 4) zur Anregung von akustischen Wellen aufweisen. Die Elektrodenfinger (3, 4) einer Elektrode (1, 2) sind miteinander verschaltet. Der Wandler weist ferner Mittel zur Erhöhung der Massenbelegung in einem zentralen Anregungsbereich (ZAB), der parallel zur akustischen Spur (AS) verläuft, auf, und die Massenbelegung in dem zentralen Anregungsbereich (ZAB) ist höher als in einem Randbereich (RB), der sich von beiden Seiten an den zentralen Anregungsbereich (ZAB) anschließt.
摘要翻译：本发明涉及在声轨（AS）的电声换能器和在压电基板上（11）被布置和所述衬底（11）的电极（1,2），该叉指式电极指上设置在两个（3 包括，4）用于声波的激发。电极的电极指（3,4）（1,2）相互连接。所述换能器还包括用于在中央激发范围增加质量密度的装置（ZAB）平行延伸的声轨迹（AS），并且在中央激励范围中的质量密度（ZAB）比在边缘区域（RB）越大，是（ZAB）在两侧连接到中央激励区域。

8. 发明申请

WO2007059733A1 ELEKTROAKUSTISCHES BAUELEMENT 审中-公开
标题翻译：声电器COMPONENT
公开(公告)号：WO2007059733A1
公开(公告)日：2007-05-31
申请号：PCT/DE2006/002005
申请日：2006-11-15
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
发明人： RUILE, Werner , RÖSLER, Ulrike
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/0222
摘要： Es wird ein elektroakustisches Bauelement mit einem zur Führung von GBAW geeigneten Schichtsystem (3), einem Trägersubstrat (2) und einem Piezosubstrat (1) angegeben. Das Schichtsystem (3) ist zwischen den beiden Substraten (2, 1) angeordnet. Die Dicke des Piezosubstrats (1) beträgt in einer ersten bevorzugten Ausführungsform maximal die Hälfte der Dicke des Trägersubstrats (2). Gemäß einer zweiten bevorzugten Ausführungsform weist das Piezosubstrat (1) eine monokristalline Struktur auf und ist dabei maximal 50 dick, wobei die Wellenlänge der GBAW bei der Mittenfrequenz des angegebenen Bauelements ist. Gemäß einer dritten bevorzugten Ausführungsform ist das Piezosubstrat (1) in einem mechanischen Verfahren abgedünnt.
摘要翻译：它与合适的指定用于引导GBAW层系统（3），载体衬底（2）和一个压电基片（1）的电声装置。在两个衬底之间的层系统（3）（2，1）。在压电基片（1）的厚度是在第一优选实施例在载体衬底的一半以上的厚度（2）。根据本发明的第二优选实施例中，压电基片（1），单晶结构，并且最大为50厚时，GBAW的在指定的组件的中心频率的波长为。根据本发明的第三优选实施例中，在压电基片（1）通过机械方法变薄。

9. 发明申请

WO2006058579A1 MIT AKUSTISCHEN OBERFLÄCHENWELLEN ARBEITENDES BAUELEMENT MIT HOHER BANDBREITE 审中-公开
标题翻译：与具有高带宽型声表面波工作相关的部分
公开(公告)号：WO2006058579A1
公开(公告)日：2006-06-08
申请号：PCT/EP2005/011310
申请日：2005-10-20
申请人： EPCOS AG , MEISTER, Veit , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner
发明人： MEISTER, Veit , RÖSLER, Ulrike , RUILE, Werner
IPC分类号： H03H9/02
CPC分类号： H03H9/14541 , H03H9/02929
摘要： Die Erfindung betrifft den Schichtaufbau von Elektrodenstrukturen eines mit akustischen Oberflächenwellen arbeitenden Bauelements. Die Elektrodenstrukturen sind dabei durch eine dielektrische Schicht (4) mit einer akustischen Impedanz Z a,d bedeckt. Der Schichtaufbau der Elektrodenstrukturen umfasst ein erstes Schichtsystem, das aus mindestens einer ersten Schicht (31, 32) aus einem ersten Material besteht, in dem die akustische Impedanz kleiner als 2Z a,d ist, sowie ein zweites Schichtsystem, das aus mindestens einer zweiten Schicht (21, 22, 23) aus einem zweiten Material besteht, in dem die akustische Impedanz den Wert 2Z a,d übersteigt. Der relative Anteil der Gesamtdicke des zweiten Schichtsystems bezogen auf die Gesamthöhe des Mehrschichtaufbaus beträgt zwischen 15% und 85%.
摘要翻译：本发明涉及一种工作表面声波器件的电极结构的层结构。电极结构是由介电层（4），其具有的声阻抗Z _{A D 覆盖。电极结构的层结构包括第一层系统，由至少一个第一层（31，32）的由第一材料，其中，所述声阻抗小于2Z _{A D 是，和第二层系统的由第二材料制成的至少一个第二层（21，22，23），其中，所述声阻抗超过2Z _{A D 的值。所述第二层系统的总厚度的相对于多层结构的总高度的相对比例为15％和85％之间。}}}

10. 发明申请

WO2011088904A1 ELEKTROAKUSTISCHER WANDLER MIT VERRINGERTEN VERLUSTEN DURCH TRANSVERSALE EMISSION UND VERBESSERTER PERFORMANCE DURCH UNTERDRÜCKUNG TRANSVERSALER MODEN 审中-公开
标题翻译：与减亏通过横向排放和改进的性能抑制性横向FASHIONS电声转换
公开(公告)号：WO2011088904A1
公开(公告)日：2011-07-28
申请号：PCT/EP2010/063562
申请日：2010-09-15
申请人： EPCOS AG , RUILE, Werner , MAYER, Markus , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus , BLEYL, Ingo , WAGNER, Karl-Christian , SAUER, Wolfgang , JAKOB, Michael , EBNER, Thomas , SCHMIDHAMMER, Edgar , BEREK, Stefan , EGGS, Christoph
发明人： RUILE, Werner , MAYER, Markus , RÖSLER, Ulrike , HAUSER, Markus , BLEYL, Ingo , WAGNER, Karl-Christian , SAUER, Wolfgang , JAKOB, Michael , EBNER, Thomas , SCHMIDHAMMER, Edgar , BEREK, Stefan , EGGS, Christoph
IPC分类号： H03H9/145 , H03H9/02 , H03H3/08
CPC分类号： H03H9/25 , H03H3/08 , H03H9/02535 , H03H9/02858 , H03H9/14532 , H03H9/1455 , H03H9/1457 , Y10T29/42
摘要： Es wird ein elektroakustischer Wandler mit verringerten Verlusten aufgrund in transversaler Richtung emittierter akustischer Wellen angegeben. Dazu umfasst ein Wandler einen zentralen Anregungsbereich (ZAB), den zentralen Anregungsbereich flankierende innere Randbereiche (IRB), die inneren Randbereiche flankierende äußere Randbereiche (ARB) sowie die äußeren Randbereiche flankierende Bereiche der Stromsammeischiene (SB). Die longitudinale Geschwindigkeit der Bereiche ist so eingestellt, dass das Anregungsprofil eines Pistonmode erhalten wird.
摘要翻译：提供了一种具有由于在声波的横向方向发射的减少的损耗的电声换能器。为了这个目的，包括换能器的中心激发范围（ZAB），则中央激励区域的侧翼的内边缘部分（IRB），内边缘区域侧翼外边缘区域（ARB）和侧翼电源总线（SB）的区域中的外边缘区域。的区域的纵向速度被设定为使得获得Pistonmode的激励曲线。

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