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1. 发明申请

WO2004070766A1 電子源审中-公开
标题翻译：电子源
公开(公告)号：WO2004070766A1
公开(公告)日：2004-08-19
申请号：PCT/JP2004/001035
申请日：2004-02-03
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 野々垣良三
发明人：照井良典 , 野々垣良三
IPC分类号： H01J37/073
CPC分类号： H01J37/06 , H01J1/14 , H01J1/3044 , H01J2237/06308 , H01J2237/06316
摘要： An electron source for use in a scanning or transmission electron microscope, a surface analyzer such a an Auger electron spectroscope, a semiconductor wafer inspecting device or an electron beam aligner; especially an electronic source used in a scanning electron microscope used at a low acceleration with an electron beam acceleration voltage of up to 1 kV, and a semiconductor wafer inspecting device such as CDSEM, and DRSEM. The electron source comprises a barium supply source (2) consisting of barium oxide and oxides not containing barium and provided to part of tungsten or molybdenum single-crystal needle (1).
摘要翻译：用于扫描或透射电子显微镜的电子源，诸如俄歇电子分光仪，半导体晶片检查装置或电子束对准器的表面分析仪; 特别是在电子束加速电压高达1kV的低加速度下使用的扫描电子显微镜中使用的电子源以及诸如CDSEM和DRSEM的半导体晶片检查装置。电子源包括由氧化钡和不含钡的氧化物组成的钡供应源（2），并且提供给钨或钼单晶针（1）的一部分。

2. 发明申请

WO2009044564A1 電子源及び電子ビーム装置审中-公开
标题翻译：电子源和电子束装置
公开(公告)号：WO2009044564A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/JP2008/054359
申请日：2008-03-11
申请人：電気化学工業株式会社 , 野々垣良三 , 照井良典
发明人：野々垣良三 , 照井良典
IPC分类号： H01J37/06 , H01J1/15 , H01J1/16
CPC分类号： H01J1/15 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/18 , H01J37/065 , H01J37/3174 , H01J2237/0216 , H01J2237/06316 , H01J2237/26 , H01J2237/28
摘要：　電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。絶縁碍子（５）と、絶縁碍子（５）に間隔を空けて配置された２つの導電端子（４）と、導電端子（４）の間に張られている長尺のフィラメント（３）と、フィラメント（３）に取り付けられ電子放射部を有する陰極（１）とを備える電子源であって、フィラメント（３）の軸方向に対する垂直断面形状が長方向と短方向を有し、長方向の最大長がその短方向の最大長の１．５倍以上５倍以下である電子源。
摘要翻译：即使当使用电子源的装置受外部振动影响时，也能提供稳定的电子束的电子源。电子源包括绝缘玻璃（5），在绝缘玻璃（5）上间隔布置的两个导电端子（4），在导电端子（4）之间延伸的长丝（3）和阴极（1）连接到灯丝（3）并具有电子发射部分。与灯丝（3）的轴向垂直的截面形状具有长路和短路，长路的最大长度在不小于1.5倍的范围内短路的五倍大小。

3. 发明申请

WO2009044871A1 電子源及び電子ビーム装置审中-公开
标题翻译：电子源和电子束装置
公开(公告)号：WO2009044871A1
公开(公告)日：2009-04-09
申请号：PCT/JP2008/068077
申请日：2008-10-03
申请人：電気化学工業株式会社 , 野々垣良三 , 照井良典
发明人：野々垣良三 , 照井良典
IPC分类号： H01J37/06 , H01J1/15 , H01J1/16
CPC分类号： H01J1/15 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J1/18 , H01J37/065 , H01J37/3174 , H01J2237/0216 , H01J2237/06316 , H01J2237/26 , H01J2237/28
摘要：　電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。絶縁碍子（５）と、絶縁碍子（５）に間隔を空けて配置された２つの導電端子（４）と、導電端子（４）の間に張られている長尺のフィラメント（３）と、フィラメント（３）に取り付けられた電子放射部を有する針状の陰極（１）とを備える電子源であって、フィラメント（３）の軸方向に対する垂直断面形状が長方向と短方向を有し、長方向の最大長がその短方向の最大長の１．５倍以上５倍以下である電子源。
摘要翻译：提供了即使从外部向使用电子源的装置施加振动时也输出稳定的电子束的电子源。电子源设有绝缘体（5）; 在绝缘体（5）上间隔布置的两个导电端子（4）; 在导电端子（4）之间延伸的长丝（3）; 和具有连接到灯丝（3）上的电子放电部分的针状阴极（1）。灯丝（3）在轴向上的垂直截面形状具有长方向和短方向，并且长度方向上的最大长度是短时间内的最大长度的1.5倍以上但不大于5倍方向。

4. 发明申请

WO2008084537A1 電子銃及び電子ビーム露光装置审中-公开
标题翻译：电子枪和电子束曝光装置
公开(公告)号：WO2008084537A1
公开(公告)日：2008-07-17
申请号：PCT/JP2007/050214
申请日：2007-01-11
申请人：株式会社アドバンテスト , 電気化学工業株式会社 , 安田洋 , 原口岳士 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
发明人：安田洋 , 原口岳士 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
IPC分类号： H01J37/063 , G03F7/20 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/3174 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , H01J37/065 , H01J2237/06308 , H01J2237/06375
摘要：本願は輝度を向上した電子銃とそれを用いることにより、スループットを向上した電子ビーム露光装置に関するものである。六ホウ化ランタン（ＬａＢ6）又は六ホウ化セリウム（ＣｅＢ6）からなる電子源（２０）と、サプレッサ電極（２４）と加速電極（２１）からなる電子銃において、前記電子源の先端部が前記サプレッサ電極と前記加速電極との間に配置され、前記電子源は、電子放出領域と電子放出制限領域を有し、前記電子放出制限領域は、前記電子源先端部の電子放出面以外の該電子源側面であって、カーボン（３０）で覆われている。前記電子源は、その先端部が直径１０μｍ～１００μｍの円柱形状からなるようにしても良く、前記電子源の先端部が前記サプレッサ電極上面から２．５ｍｍ以上突き出していて、電子源先端と加速電極との距離が５ｍｍ以下に配置されるようにしても良い。
摘要翻译：提高亮度的电子枪，以及通过使用这种电子枪提高生产量的电子束曝光装置。电子枪包括六硼化镧（LaB6）或六硼化铈（CeB6）的电子源（20），抑制电极（24）和加速电极（21）。电子源的前端配置在抑制电极和加速电极之间，电子源具有电子放电区域和电子放电限制区域，其中电子放电限制区域是除电子放电面外的电子源侧面电子源的末端并用碳（30）覆盖。电子源可以在距离抑制电极的上表面突出2.5mm以上的远端形成具有10〜100μm的直径的柱状，并且其可以被布置成使得远端的电子源和加速电极为5mm以下。

5. 发明申请

WO2007055154A1 電子銃、電子ビーム露光装置及び露光方法审中-公开
标题翻译：电子枪，电子束曝光系统和曝光方法
公开(公告)号：WO2007055154A1
公开(公告)日：2007-05-18
申请号：PCT/JP2006/321991
申请日：2006-11-02
申请人：株式会社アドバンテスト , 電気化学工業株式会社 , 安田洋 , 原口岳士 , 大饗義久 , 佐藤高雅 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
发明人：安田洋 , 原口岳士 , 大饗義久 , 佐藤高雅 , 照井良典 , 坂輪盛一 , 野々垣良三
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/305 , H01L21/027
CPC分类号： H01J37/073 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/3175
摘要： [PROBLEMS] An electron gun capable of reducing a sublimation amount by the heat of an electron source emitting electrons, and being used constantly over a long period of time; an electron beam exposure system and an exposure method using the electron gun. [MEANS OF SOLVING PROBLEMS] An electron gun (101) comprising an electron source (20) emitting electrons, wherein the electron source (20) has an electron emitting area (20a) and an electron emission limiting area (30); the electron emission limiting area (30) is the side surface of the electron source (20) excluding an electron emission surface at the tip end of the electron source (20), is covered with a material different from that of the electron source (20), and applies an electric field to the tip end to emit thermal field radiating electrons while keeping temperature at a level low enough not to produce the sublimation of the material of the electron source (20). The material of the electron source (20) may be lanthanum hexaboride (LaB 6 ) or cerium hexaboride (CeB 6), and the electron emission limiting area (30) may be covered with carbon. The temperature may range from 1100°C to 1300°C.
摘要翻译：本发明提供一种能够通过发射电子的电子源的热量而降低升华量并且长时间不间断地使用的电子枪。电子束曝光系统和使用电子枪的曝光方法。解决问题的手段一种包含发射电子的电子源（20）的电子枪（101），其中电子源（20）具有电子发射区（20a）和电子发射限制区（30）。电子发射限制区域（30）是除电子源（20）的末端外的电子发射表面的电子源（20）的侧表面被不同于电子源（20）的材料覆盖），并且向顶端施加电场以发射热场辐射电子，同时将温度保持在足够低的水平，不会产生电子源（20）的材料的升华。电子源（20）的材料可以是六硼化镧（LaB 6 N 6）或六硼化铈（CeB 6），并且电子发射限制区域（30）可以是覆盖着碳。温度可以在1100℃至1300℃的范围内。

6. 发明申请

WO2004073010A1 電子銃审中-公开
标题翻译：电子枪
公开(公告)号：WO2004073010A1
公开(公告)日：2004-08-26
申请号：PCT/JP2004/001686
申请日：2004-02-17
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 野々垣良三 , 坂輪盛一
发明人：照井良典 , 野々垣良三 , 坂輪盛一
IPC分类号： H01J37/073
CPC分类号： H01J1/16 , H01J1/146 , H01J1/20 , H01J9/04 , H01J9/042 , H01J37/065 , H01J2237/06316 , H01J2237/25 , H01J2237/28 , H01J2237/3175
摘要： An electron source suitable for an electron beam exposure system, an Auger electronic spectrometer or the like, and provides a small total emission current amount even during a high-angular-current-density operation. An electron gun provided with a cathode (1) consisting of tungsten or molybdenum single crystal and provided on the surface thereof with a coating layer consisting of oxygen and at least one kind of metal element selected from a group consisting of 2A group, 3A group and 4A group, characterized in that the end of the cathode (1) has a conical trapezoid shape, a total conical angle of a conical trapezoid portion (8) is between 25° and 95°, and the diameter of the top face (9) is 5mum through 200mum.
摘要翻译：适用于电子束曝光系统的电子源，俄歇电子光谱仪等，甚至在高角度 - 电流密度的操作中也提供小的总发射电流量。一种具有由钨或钼单晶组成的阴极（1）的电子枪，其表面上设置有由氧组成的涂层和至少一种选自2A组，3A组和 4A，其特征在于，阴极（1）的端部具有锥形梯形形状，锥形梯形部分（8）的总锥形角在25°和95°之间，并且顶面（9）的直径是5mum到200mum。

7. 发明申请

WO2009098788A1 電子源の製造方法审中-公开
标题翻译：电子源的制造方法
公开(公告)号：WO2009098788A1
公开(公告)日：2009-08-13
申请号：PCT/JP2008/055558
申请日：2008-03-25
申请人：電気化学工業株式会社 , 中原史博 , 野々垣良三 , 照井良典
发明人：中原史博 , 野々垣良三 , 照井良典
IPC分类号： H01J9/02 , H01J37/073
CPC分类号： H01J9/025 , H01J1/16 , H01J1/3044 , H01J9/042 , H01J37/073 , H01J37/3056 , H01J2201/30415 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/3174 , H01J2237/31749
摘要：　陰極が円錐台形状を有する電子銃であって放射電流密度が均一な電子銃を、効率よく製造する。　タングステン又はモリブデンの単結晶ニードルに金属元素の酸化物を拡散させるための供給源を設けてなる陰極電子銃の製造方法であって、陰極である単結晶端部に、予め機械加工により平坦面を有する円錐台形状に形成後、集束ガリウムイオンビームにより前記平坦面表層を薄削除し再平坦化する。
摘要翻译：具有均匀发射电流密度的截头锥形阴极的电子枪被有效地制造。配备有用于在钨或钼的单晶针上扩散金属元素的氧化物的供给源的阴极电子枪的制造方法包括在单晶边缘处形成具有平面的截头圆锥形状的步骤，预先加工阴极，然后通过聚焦的镓离子束稀释并除去平面的前层，并使其平坦化。

8. 发明申请

WO2009008254A1 電子源审中-公开
标题翻译：电子源
公开(公告)号：WO2009008254A1
公开(公告)日：2009-01-15
申请号：PCT/JP2008/061233
申请日：2008-06-19
申请人：電気化学工業株式会社 , 野々垣良三 , 照井良典
发明人：野々垣良三 , 照井良典
IPC分类号： H01J37/073 , H01J1/304 , H01J37/065
CPC分类号： H01J37/28 , H01J1/15 , H01J37/06 , H01J37/065 , H01J37/073 , H01J2237/061 , H01J2237/06316
摘要：外部から振動を受けても、信頼性の高い安定した電子線を与える電子源を提供する。本願発明の電子源は、電子放射部を有する陰極（１）が、絶縁碍子（５）に設けられた２つの導電端子（４）のそれぞれに接続された２本のフィラメント（３）の先端で挟むように接合され、前記陰極の電子放射部とは異なる端部が絶縁碍子（５）に固定された電子源であって、前記２本のフィラメント（３）が陰極（１）の中心軸に対して２回対称である、好ましくは、陰極の電子放射部とは異なる端部が、絶縁碍子にろう付けされた金属部材（６）を介して絶縁碍子に固定される、さらに好ましくは、前記フィラメントに曲部を設けていることを特徴とするものである。
摘要翻译：产生电子束的电子源即使在外部振荡时也是高度可靠和稳定的。电子源包括阴极（1），其具有连接到两个细丝（3）的顶端之间的电子发射部分，阴极（1）分别连接到设置在绝缘玻璃部件（5）上的两个导电针（4），阴极（1）的与电子发射部分不同的端部固定到绝缘玻璃构件（5），其中两根灯丝（3）在阴极（1）的中心轴上具有两个对称的中心），并且优选地，与电子发射部分不同的阴极（1）的端部通过钎焊到绝缘玻璃构件的金属构件（6）固定到绝缘玻璃构件（5），更优选地，弯曲部分被提供给长丝。

9. 发明申请

WO2008140080A1 電子源审中-公开
标题翻译：电子源
公开(公告)号：WO2008140080A1
公开(公告)日：2008-11-20
申请号：PCT/JP2008/058766
申请日：2008-05-13
申请人：電気化学工業株式会社 , 照井良典 , 野々垣良三
发明人：照井良典 , 野々垣良三
IPC分类号： H01J1/26 , H01J1/20 , H01J37/063
CPC分类号： H01J37/063 , H01J1/20 , H01J1/26 , H01J37/073 , H01J37/075 , H01J2237/0216 , H01J2237/06316
摘要：　電子源を用いる装置が外部より振動を受けても、安定した電子線を与える電子源を提供する。この電子源は、一端部に電子放出部を有する針状チップ（１）と、針状チップ（１）の一端部と異なる他端部に接合されているカップ状部品（６）と、カップ状部品（６）を加熱するためのフィラメント（３）とを備える。また、このフィラメント（３）は、カップ状部品（６）の内部に設けられている空隙中に、カップ状部品（６）に対して非接触状態になるように配置されている。
摘要翻译：提供一种电子源，即使从使用电子源的装置的外部施加振动时也能提供稳定的电子束。电子源设置有在一端具有电子放电部的针状芯片（1）结合到针状芯片（1）的另一端的杯状部件（6）; 以及用于加热杯状部件（6）的丝（3）。灯丝（3）以杯状部件（6）的非接触状态配置在杯状部件（6）内的间隙内。

10. 发明申请

WO2003059816A1 高純度・超微粉ＳｉＯｘ粉及びその製造方法审中-公开
标题翻译：高纯度超细SiOX粉末及其生产方法
公开(公告)号：WO2003059816A1
公开(公告)日：2003-07-24
申请号：PCT/JP2003/000158
申请日：2003-01-10
申请人：電気化学工業株式会社 , 今村保男 , 野々垣良三
发明人：今村保男 , 野々垣良三
IPC分类号： C01B33/113
CPC分类号： B82Y30/00 , C01B33/113 , C04B35/14 , C04B2235/3418 , C04B2235/5409 , C04B2235/5454 , C04B2235/72 , C04B2235/724
摘要： A highly pure ultra-fine SiOX powder, characterized in that it is represented by the formula: wherein x is 0.6 to 1.8, has a specific surface area of 10 m2/g or more and contains Na, Fe, Al and Cl in a total amount of 10 ppm or less; and a method for producing the above SiOX powder which comprises reacting a monosilane gas with a gas capable of oxidizing the monosilane gas in a non-oxidizing gas atmosphere under a pressure of 10 to 1000 kPa at 500 to 1000ringC. The amount of the non-oxidizing gas is preferably greater than that of the sum of the monosilane gas and oxygen participating in the oxidation of the monosilane gas.
摘要翻译：一种高纯度超细SiOX粉末，其特征在于其由下式表示：其中x为0.6〜1.8，比表面积为10m 2 / g以上，总计含有Na，Fe，Al，Cl 量10ppm以下; 以及上述SiOX粉末的制造方法，其特征在于，在非氧化气体气氛中，在1000〜1000℃的压力为10〜1000kPa的条件下，使甲硅烷气体与能够氧化所述甲硅烷气体的气体反应。非氧化性气体的量优选大于参与甲硅烷气体氧化的甲硅烷气体和氧气之和的量。

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