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1. 发明申请

WO2009100694A1 VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON KRISTALLINEN KÖRPERN DURCH GERICHTETE ERSTARRUNG 审中-公开
标题翻译：设备和生产结晶BODIES看凝固法
公开(公告)号：WO2009100694A1
公开(公告)日：2009-08-20
申请号：PCT/DE2008/000275
申请日：2008-02-14
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DEUTSCHE SOLAR AG , REIMANN, Christian , FRIEDRICH, Jochen , DIETRICH, Marc
发明人： REIMANN, Christian , FRIEDRICH, Jochen , DIETRICH, Marc
IPC分类号： C30B11/00 , C30B29/06
CPC分类号： C30B11/003 , C30B11/006 , C30B29/06 , Y10T117/10
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft eine Vorrichtung und ein Verfahren zur Herstellung von kristallinen Körpern mittels gerichteter Erstarrung. Die Vorrichtung weist einen Schmelzofen (11) mit einer Heizkammer (12) auf, in der wenigstens eine Auflagefläche (13) für einen Schmelztiegel (8) und wenigstens eine über der Auflagefläche (13) angeordnete Gasspülungseinrichtung mit einem der Auflagefläche (13) zugewandten Gasauslass ausgebildet sind. Die Vorrichtung zeichnet sich gemäß einer Alternative dadurch aus, dass der Gasauslass durch eine oder mehrere Öffnungen in einer unteren Stempelfläche eines stempelförmigen Körpers (2) gebildet ist, der eine an eine Innenform des Schmelztiegels (8) angepasste Geometrie aufweist, die ein zumindest teilweises Einführen des stempelförmigen Körpers (2) in den Schmelztiegel (8) ermöglicht. Die Gasspülungseinrichtung und/oder die Auflagefläche (13) weisen hierbei einen Verstellmechanismus aus oder sind derart verstellbar ausgebildet, dass sie eine Verstellung eines senkrechten Abstandes zwischen der Auflagefläche (13) und dem stempelförmigen Körper (2) ermöglichen. Mit der Vorrichtung und dem zugehörigen Verfahren lassen sich kohlenstoff- und sauerstoffhaltige Stoffe effizienter und besser kontrollierbar von der Schmelze wegführen. Die Vorrichtung und das Verfahren ermöglichen damit innerhalb gewisser Grenzen eine gezielte Einstellung des Kohlenstoff- und Sauerstoffgehaltes der kristallinen Körper.
摘要翻译：本发明涉及一种装置，并通过定向凝固的装置，用于生产结晶体的方法。该装置包括一个熔化炉（11），其具有一个加热室（12），布置在所述至少一个支撑面（13），用于朝向所述气体出口的坩埚（8）和至少一个气体清除装置的支撑表面（13）与所述支承面中的一个（13）之上形成。该装置根据一个可选的特征在于，所述气体出口被一个或多个开口中的印模状的主体（2），这适合于在坩埚（8）的几何形状的内部形状，一个至少部分地引入的下冲压面形成冲头形主体（2）在所述坩埚（8）允许。气体冲洗装置和/或此情况下的轴承表面（13）具有一调整机构，或者是可调节的，从而形成以允许支撑表面（13）和冲头形主体（2）之间的垂直距离的调整。与所述装置和相关联的处理材料可以是碳和含氧更有效和更可控的引线离开熔化物。该设备和方法因此允许在一定范围内的结晶体中的碳和氧含量的具体调整。

2. 发明申请

WO2006037311A3 METHOD FOR INCREASING THE CONVERSION OF GROUP III METALS TO GROUP III NITRIDES IN A FUSED METAL CONTAINING GROUP III ELEMENTS 审中-公开
标题翻译：方法增加销售额按组III金属III族氮化物含有熔融金属的第三族
公开(公告)号：WO2006037311A3
公开(公告)日：2007-03-22
申请号：PCT/DE2005001772
申请日：2005-10-04
申请人： FRAUNHOFER GES FORSCHUNG , FRIEDRICH JOCHEN , MUELLER GEORG , MEISSNER ELKE , BIRKMANN BERNHARD , HUSSY STEPHAN
发明人： FRIEDRICH JOCHEN , MUELLER GEORG , MEISSNER ELKE , BIRKMANN BERNHARD , HUSSY STEPHAN
IPC分类号： C01B21/06 , C01B21/072 , C30B29/40
CPC分类号： C01B21/0632 , C01B21/0722 , C30B17/00 , C30B19/106 , C30B29/403
摘要： The invention relates to a method for increasing the conversion of group III metals to group III nitrides in a fused metal containing group III elements with introduction of nitrogen into the fused metal containing group III elements at temperatures = 1100 °C and pressures below 1 x 108 Pa, whereby a solvent adjunct is added to the fused metal containing group III elements, which is at least one element of the following elements C, Si, Ge, Fe, and/or at least one element of the rare earths, or an alloy or a compound of said elements in particular, the nitride thereof.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于提高III - 金属基团转化为III族氮化物基团的组中的在氮气下的熔融金属入口的含III-III含有熔化金属，在温度= 1100℃，并在压力下小于1×108帕，其中该组金属熔融，添加溶剂，含有III-以下元素C，硅，锗，铁，中的至少一种元素和/或至少一种稀土元素或者其合金或这些元素的化合物，特别是它们氮化物被添加。

3. 发明申请

WO2011076157A1 VERFAHREN UND ANORDNUNG ZUR BEEINFLUSSUNG DER SCHMELZKONVEKTION BEI DER HERSTELLUNG EINES FESTKÖRPERS AUS EINER ELEKTRISCH LEITFÄHIGEN SCHMELZE 审中-公开
标题翻译：的方法和系统，用于影响熔体对流的固体本体的从导电熔体中的生产
公开(公告)号：WO2011076157A1
公开(公告)日：2011-06-30
申请号：PCT/DE2009/001798
申请日：2009-12-21
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , DEUTSCHE SOLAR AG , ZSCHORSCH, Markus , WUNDERWALD, Ulrike , JUNG, Thomas , FRIEDRICH, Jochen , DADZIS, Kaspars , RADEL, Günter , STENZENBERGER, Josef
发明人： ZSCHORSCH, Markus , WUNDERWALD, Ulrike , JUNG, Thomas , FRIEDRICH, Jochen , DADZIS, Kaspars , RADEL, Günter , STENZENBERGER, Josef
IPC分类号： H05B6/24 , C30B15/30
CPC分类号： H05B6/24 , C30B11/003 , C30B11/007 , C30B15/305 , H05B2213/02
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren und eine Anordnung zur Beeinflussung der Schmelzkonvektion, die in einem Schmelzvolumen (7) bei der Herstellung eines Festkörpers durch Erstarrung aus einer elektrisch leitfähigen Schmelze auftritt. Bei dem Verfahren werden mittels Magnetfeld erzeugender Einrichtungen (6) äußere zeitlich veränderliche Magnetfelder an das Schmelzvolumen (7) angelegt, die eine Verteilung von Lorentzkräften in dem Schmelzvolumen (7) erzeugen. Die Magnetfeld erzeugenden Einrichtungen (6) werden so angesteuert, dass die Verteilung der Lorentzkräfte um die zentrale Achse (8) des Schmelzvolumens (7), die senkrecht zu einer Phasengrenze zwischen dem Festkörper und der Schmelze verlauft, asymmetrisch ist. Mit dem vorgeschlagenen Verfahren und der zugehörigen Anordnung lassen sich im Vergleich zu symmetrischen Verteilungen höhere Strömungsgeschwindigkeiten und damit eine verbesserte Durchmischung sowie ein homogeneres Temperaturprofil im Bereich der Phasengrenze erreichen.
摘要翻译：本发明涉及一种方法和用于影响熔体对流的布置中，（7）发生在通过导电熔体凝固制备固态的熔体体积。在通过的磁场的装置来生产的方法应用于随时间变化的外部磁场对熔体体积（7）（6）产生洛伦兹力的熔体体积（7）的分布。磁场产生装置（6）被驱动，以使洛仑兹力的大约熔体体积（7），它垂直进到固体和熔体之间的相界的中心轴（8）的分布，是不对称的。利用所提出的方法和相关联的装置可以实现更高的流速，从而更好地混合，并与对称分布比较在相边界的区域中的更均匀的温度分布。

4. 发明申请

WO2009052770A1 VERFAHREN ZUR REDUZIERUNG VON MAKRODEFEKTEN BEI DER HERSTELLUNG VON EINKRISTALLEN ODER EINKRISTALLINEN SCHICHTEN 审中-公开
标题翻译：程序宏缺损的单晶或单晶层的产量下降
公开(公告)号：WO2009052770A1
公开(公告)日：2009-04-30
申请号：PCT/DE2007/001902
申请日：2007-10-23
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , HUSSY, Stephan , FRIEDRICH, Jochen
发明人： HUSSY, Stephan , FRIEDRICH, Jochen
IPC分类号： C30B9/10 , C30B29/40 , C30B29/44
CPC分类号： C30B9/10 , C30B29/403 , C30B29/406 , C30B29/44
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Einkristallen oder einkristallinen Schichten mittels Lösungs Züchtung, bei dem Stoffe für die Bildung der Einkristalle oder einkristallinen Schichten in eine Lösung (3) einer bestimmten Dichte eingebracht und durch Übersättigung der Lösung (3) an einem Keim oder einem Substrat (4) kontrolliert abgeschieden werden. Bei einer Anordnung des Keims oder Substrats (4) bei der Lösungszüchtung in einem unteren Bereich des von der Lösung (3) eingenommenen Volumens wird die Dichte der Lösung (3) durch Zugabe zumindest eines die Dichte der Lösung (3) erhöhenden Zusatzstoffes so eingestellt, dass während der Lösungszüchtung in der Lösung (3) vorhandene oder entstehende Partikel in der Lösung (3) aufsteigen. Durch diese Maßnahme wird die Einlagerung dieser Partikel, bspw. von Kristalliten des eingesetzten Materials, in die Schicht oder den Kristall verhindert, so dass diese Partikel keine Makrodefekte in der Schicht oder dem Kristall verursachen können.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于生产单晶或通过溶液生长单晶硅层，其中，对于在溶液中单晶或单晶层的形成材料（3）引入的溶液（3）的一定的密度和过饱和上的种子或被沉积的控制基板（4）。在一种布置中，种子或衬底（4）通过将溶液（3）的密度的至少一个占据溶液生长在溶液（3）的体积，将溶液（3）的密度的下部被设置增强添加剂例如在溶液（3）现有的或产生的颗粒在溶液（3）溶液生长过程中上升。通过这一措施，这些粒子的掺入，例如，所使用的材料的晶粒的，在该层或晶体防止，使得这些颗粒不能导致层或晶体宏观缺陷。

5. 发明申请

WO2006037310A1 VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG VON GRUPPE-III-NITRID- VOLUMENKRISTALLEN ODER -KRISTALLSCHICHTEN AUS METALLSCHMELZEN 审中-公开
标题翻译：用于生产III族氮化物的体积或晶体-KRISTALLSCHICHTEN金属液
公开(公告)号：WO2006037310A1
公开(公告)日：2006-04-13
申请号：PCT/DE2005/001771
申请日：2005-10-04
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FRIEDRICH, Jochen , MÜLLER, Georg , APELT, Rainer , MEISSNER, Elke , BIRKMANN, Bernhard , HUSSY, Stephan
发明人： FRIEDRICH, Jochen , MÜLLER, Georg , APELT, Rainer , MEISSNER, Elke , BIRKMANN, Bernhard , HUSSY, Stephan
IPC分类号： C30B29/40 , C30B19/02 , C30B17/00 , C30B9/00
CPC分类号： C30B29/403 , C30B17/00 , C30B19/02
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Herstellung von Kristallschichten oder Volumenkristallen aus Gruppe- III-Nitrid oder aus Mischungen verschiedener Gruppe- III-Nitride durch Abscheidung aus einer Gruppe-III-haltigen Metallschmelze bei einer ersten Temperatur in einem ersten Temperaturbereich, auf einem in die Metallschmelze eingebrachten Gruppe- III-Nitrid-Kristallkeim oder auf einem Fremdsubstrat, mit einem Stickstoffeintrag in die Metallschmelze bei einem Druck P. Bei dem Verfahren wird der Metallschmelze ein Lösungsmittelzusatz, der den Umsatz von Gruppe III Metall zu Gruppe- III-Nitrid in der Metallschmelze erhöht, zugegeben. Die Metallschmelze durchläuft zumindest einen Temperaturzyklus mit einer ersten und einer zweiten Prozessphase, in dem die Metallschmelze am Ende der ersten Prozessphase von der ersten Temperatur auf eine zweite Temperatur unterhalb des ersten Temperaturbereiches gekühlt und am Ende der zweiten Prozessphase von der zweiten Temperatur wieder auf eine Temperatur innerhalb des ersten Temperaturbereiches erwärmt wird. Mit dem angegebenen Verfahren lassen sich Gruppe III-Nitrid-Kristallschichten mit Dicken > 10 µm bzw. Massivkristalle mit einem Durchmesser > 10 mm bei Versetzungsdichten von 8 cm -2 bei Temperaturen unter 1100°C und Prozessdrücken unter 5 x 10 5 Pa herstellen.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于生产液晶层或III族氮化物的或从组不同组III族氮化物通过沉积的混合物的块状晶体III含在第一温度范围内的第一温度的熔融金属，以一个在熔融金属引入基团 - 或III族氮化物晶种异质衬底，在氮气进入金属在该方法的压力P.熔化，熔融金属是，另外的溶剂，从组金属三组销售III族氮化物中的金属熔液增加补充说。熔融金属通过至少一个温度循环与第一和第二过程阶段，其中所述熔融金属在从所述第一温度的所述第一处理阶段结束低于第一温度范围和在第二处理阶段的从第二温度结束回的温度冷却到第二温度在第一温度范围内加热。利用上述方法，用厚度> 10微米或固体晶体直径> 10毫米的<10的位错密度空白III族氮化物晶体层

6. 发明申请

WO2006037311A2 VERFAHREN ZUR ERHÖHUNG DES UMSATZES VON GRUPPE-III-METALL ZU GRUPPE-III-NITRID IN EINER GRUPPE-III-HALTIGEN METALLSCHMELZE 审中-公开
标题翻译：方法增加销售额按组III金属III族氮化物含有熔融金属的第三族
公开(公告)号：WO2006037311A2
公开(公告)日：2006-04-13
申请号：PCT/DE2005/001772
申请日：2005-10-04
申请人： FRAUNHOFER-GESELLSCHAFT ZUR FÖRDERUNG DER ANGEWANDTEN FORSCHUNG E.V. , FRIEDRICH, Jochen , MÜLLER, Georg , MEISSNER, Elke , BIRKMANN, Bernhard , HUSSY, Stephan
发明人： FRIEDRICH, Jochen , MÜLLER, Georg , MEISSNER, Elke , BIRKMANN, Bernhard , HUSSY, Stephan
CPC分类号： C01B21/0632 , C01B21/0722 , C30B17/00 , C30B19/106 , C30B29/403
摘要： Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Erhöhung des Umsatzes von Gruppe-III -Metall zu Gruppe-III-Nitrid in einer Gruppe III haltigen Metallschmelze, unter Stickstoff eintrag in die Gruppe-III-haltige Metallschmelze, bei Temperaturen ≤ 1100 °C und bei Drücken unter 1 x 108 Pa, wobei der Gruppe III haltigen Metallschmelze ein Lösungsmittelzusatz, der zumindest ein Element der folgenden Elemente C, Si, Ge, Fe, und / oder zumindest ein Element der seltenen Erden oder eine Legierung oder eine Verbindung dieser Elemente, insbesondere ihrer Nitride zugegeben wird.
摘要翻译：本发明涉及一种方法，用于提高III - 金属基团转化为III族氮化物基团的组中的在氮气下的熔融金属入口的含III-III含有熔化金属，在温度= 1100℃，并在压力下小于1×108帕，其中该组金属熔融，添加溶剂，含有III-以下元素C，硅，锗，铁，中的至少一种元素和/或至少一种稀土元素或者其合金或这些元素的化合物，特别是它们氮化物被添加。

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