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    • 4. 发明申请
    • METHOD AND SYSTEM FOR CMOS BASED MEMS BUMP STOP CONTACT DAMAGE PREVENTION
    • 基于CMOS的MEMS BUMP停止触点损伤预防方法与系统
    • US20150291413A1
    • 2015-10-15
    • US14451092
    • 2014-08-04
    • Apple Inc.
    • Milind S. BhagavatRichard YehHenry H. Yang
    • B81B3/00B81C1/00
    • B81C1/00825B81B2203/0118B81B2207/115
    • In some embodiments, a microelectromechanical system may include a semiconductor substrate, a plurality of wiring layers, and a stop. The plurality of wiring layers may be coupled to a first surface of the semiconductor substrate. The stop may be coupled to the plurality of wiring layers. In some embodiments, at least a portion of the plurality of wiring layers between the stop and the first surface of the substrate comprises an insulating material. In some embodiments, at least the portion excludes wiring within. In some embodiments, a volume of the portion may be determined by a use of the microelectromechanical system. In some embodiments, the portion may inhibit, during use, electrical failures adjacent to the stop.
    • 在一些实施例中,微机电系统可以包括半导体衬底,多个布线层和停止件。 多个布线层可以耦合到半导体基板的第一表面。 止动件可以联接到多个布线层。 在一些实施例中,多个布线层的至少部分在基片的止挡件和第一表面之间包括绝缘材料。 在一些实施例中,至少该部分排除其内的布线。 在一些实施例中,该部分的体积可以通过使用微机电系统来确定。 在一些实施例中,该部分在使用期间可以阻止与停止相邻的电气故障。