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    • 3. 再颁专利
    • Semiconductor device and manufacturing method thereof
    • 半导体装置及其制造方法
    • USRE43320E1
    • 2012-04-24
    • US12202037
    • 2008-08-29
    • Masaki YamadaHideki Shibata
    • Masaki YamadaHideki Shibata
    • H01L29/40H01L23/48H01L23/52
    • H01L23/53238H01L23/53295H01L2924/0002H01L2924/00
    • There is disclosed a semiconductor device comprising a first metal wiring buried in a first wiring groove formed, via a first barrier metal, in a first insulating layer formed on a semiconductor substrate, a second insulating layer formed on the first metal wiring, a via plug formed of a metal buried, via a second barrier metal, in a via hole formed in the second insulating layer, a third insulating layer formed on the second insulating layer in which the via plug is buried, and a second metal wiring buried in a second wiring groove formed in the third insulating layer via a third barrier metal having a layer thickness of layer quality different from that of the second barrier metal.
    • 公开了一种半导体器件,其包括埋在第一布线槽中的第一金属布线,第一布线槽经由第一阻挡金属形成在形成于半导体基板上的第一绝缘层中,形成在第一金属布线上的第二绝缘层, 由形成在所述第二绝缘层中的通孔中的通过第二阻挡金属掩埋的金属形成,形成在所述第二绝缘层上的第三绝缘层,所述第二绝缘层中埋设有所述通孔插塞,以及第二金属布线, 通过具有不同于第二阻挡金属的层质量的层厚度的第三阻挡金属形成在第三绝缘层中的布线槽。