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    • 1. 发明授权
    • Method and system for smart vehicle route selection
    • 智能车辆路线选择方法与系统
    • US07356378B1
    • 2008-04-08
    • US11695988
    • 2007-04-03
    • Chih-Wei HuangHui-Yi ChenRen-Chyi YuChuh-Yuan Yu
    • Chih-Wei HuangHui-Yi ChenRen-Chyi YuChuh-Yuan Yu
    • G06F7/00
    • G05B19/41895G05B2219/31002G05B2219/31276G05B2219/45031G06Q10/047Y02P90/12Y02P90/20Y02P90/285Y02P90/60
    • In one aspect a factory automation system for a wafer fab is provided. The factory automation system comprises: a manufacturing execution system (“MES”) for providing lot information; a material control system (“MCS”) for providing dynamic traffic information; an automated material handling system (“AMHS”) for providing static route information; and a real-time dispatching (“RTD”) system to select a destination and a route for a wafer carrier in response to a transfer request. In another aspect a method of transferring a wafer lot within a wafer fabrication facility (“fab”) using a factory automation system is provided. The method comprises: receiving a transfer request to move the wafer lot from a first position to a second position within the fab; obtaining lot information, dynamic traffic information, and static traffic information; using the information to select a route between the first position and the second position; and executing the transfer using the selected route.
    • 在一个方面,提供了用于晶圆厂的工厂自动化系统。 工厂自动化系统包括:用于提供批量信息的制造执行系统(“MES”); 用于提供动态交通信息的物料控制系统(“MCS”); 用于提供静态路线信息的自动化材料处理系统(“AMHS”); 以及实时调度(“RTD”)系统,以响应于转移请求来选择晶片载体的目的地和路线。 在另一方面,提供了使用工厂自动化系统在晶片制造设备(“fab”)内转移晶片块的方法。 该方法包括:接收转移请求以将晶片批次从第一位置移动到晶圆厂内的第二位置; 获取批量信息,动态交通信息和静态交通信息; 使用所述信息来选择所述第一位置和所述第二位置之间的路线; 并使用所选择的路线执行传送。