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    • 74. 发明授权
    • Method for fabricating a shallow ion implanted microelectronic structure
    • 制造浅离子注入微电子结构的方法
    • US06582995B2
    • 2003-06-24
    • US09903125
    • 2001-07-11
    • Ting-Hua HsiehHung-Der SuCarlos H. Diaz
    • Ting-Hua HsiehHung-Der SuCarlos H. Diaz
    • H01L21335
    • H01L29/6659H01L21/823814H01L29/665H01L29/6656H01L29/7833
    • Within a method for fabricating a microelectronic fabrication comprising a topographic microelectronic structure formed over a substrate, there is implanted, while employing a first ion implant method and while masking a portion of the substrate adjacent the topographic microelectronic structure but not masking the topographic microelectronic structure, the topographic microelectronic structure to form an ion implanted topographic microelectronic structure without implanting the substrate. There is also implanted, while employing a second ion implant method, the portion of the substrate adjacent the topographic microelectronic substrate to form therein an ion implant structure. The method is particularly useful for fabricating source/drain regions with shallow junctions within field effect transistor (FET) devices.
    • 在制造包括形成在衬底上的形貌微电子结构的微电子制造的方法中,注入植入,同时采用第一离子注入方法,同时掩盖与形貌微电子结构相邻但不掩盖地形微电子结构的衬底的一部分, 地形微电子结构,以形成离子注入的地形微电子结构,而不会植入衬底。 在采用第二离子注入方法的同时,植入衬底的部分与形貌微电子衬底相邻以在其中形成离子注入结构。 该方法对于在场效应晶体管(FET)器件中制造具有浅结的源极/漏极区域特别有用。