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    • 62. 发明申请
    • METHOD FOR MAKING LIGHT EMITTING DIODE
    • 制造发光二极管的方法
    • US20130260502A1
    • 2013-10-03
    • US13729268
    • 2012-12-28
    • TSINGHUA UNIVERSITYHON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
    • YANG WEISHOU-SHAN FAN
    • H01L33/00
    • H01L33/0062B82Y20/00B82Y40/00H01L33/007H01L33/0079
    • A method for making a light emitting diode includes the following steps. A substrate having a first epitaxial growth surface is provided. A carbon nanotube layer is placed on the first epitaxial growth surface of the substrate. A surface of the first semiconductor layer is exposed by removing the substrate and the carbon nanotube layer. The surface of the first semiconductor layer is defined as a second epitaxial growth surface. An active layer and a second semiconductor layer are grown on the second epitaxial growth surface in that order. A surface of the active layer contacted the first semiconductor layer engages with the second epitaxial growth surface. A part of the first semiconductor layer is exposed by etching a part of the active layer and the second semiconductor layer. A first electrode is applied on the first semiconductor layer and a second electrode is applied on the second semiconductor layer.
    • 制造发光二极管的方法包括以下步骤。 提供具有第一外延生长表面的衬底。 将碳纳米管层置于衬底的第一外延生长表面上。 通过去除衬底和碳纳米管层来暴露第一半导体层的表面。 第一半导体层的表面被定义为第二外延生长表面。 在第二外延生长表面上依次生长活性层和第二半导体层。 接触第一半导体层的有源层的表面与第二外延生长表面接合。 通过蚀刻有源层和第二半导体层的一部分来暴露第一半导体层的一部分。 第一电极施加在第一半导体层上,第二电极施加在第二半导体层上。