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    • 70. 发明授权
    • Method for proximity effect compensation on alternative phase-shift masks with bias and optical proximity correction
    • 用于具有偏置和光学邻近校正的替代相移掩模上的邻近效应补偿的方法
    • US06183916B2
    • 2001-02-06
    • US09395283
    • 1999-09-13
    • Chen-Cheng KuoHua-Tai LinChia-Hui Lin
    • Chen-Cheng KuoHua-Tai LinChia-Hui Lin
    • G03F900
    • G03F1/30G03F1/36
    • A method of forming an alternative phase shifting mask and forming a circuit pattern on a wafer using the mask are described. Optical proximity correction is added to a data file, in which a description of a circuit pattern has been stored, to obtain a first modified data file. The first modified data file is then separated into a second modified data file, for regions of the mask having dense line/space patterns, and a third modified data file, for regions of the mask having isolated line space patterns. Critical dimension bias is then added to the second modified data file forming a fourth modified data file. The third modified data file and the fourth modified data file are then merged into a single fifth modified data file. The fifth modified data file is then is then converted to an alternative phase shift data file. An alternative phase shift mask is then formed from the alternative phase shift data file. The alternative phase shift mask has then been corrected for optical proximity effect and critical dimension bias has been added. This alternative phase shift mask can then be used in forming the circuit pattern on an integrated circuit wafer.
    • 描述了使用掩模形成替代的相移掩模并在晶片上形成电路图案的方法。 光学邻近校正被添加到已经存储电路图案的描述的数据文件中,以获得第一修改的数据文件。 然后,对于具有密集线/空间图案的掩模区域和第三修改数据文件,第一修改数据文件被分成第二修改数据文件,对于具有隔离行空间图案的掩码区域,第二修改数据文件被分隔成第二修改数据文件。 然后将关键尺寸偏差添加到形成第四修改数据文件的第二修改数据文件中。 然后将第三修改数据文件和第四修改数据文件合并到单个第五修改数据文件中。 然后将第五修改的数据文件转换成替代的相移数据文件。 然后从替代相移数据文件形成替代的相移掩模。 然后对于光学邻近效应校正了替代相移掩模,并且添加了临界尺寸偏差。 然后可以将该替代的相移掩模用于形成集成电路晶片上的电路图案。