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    • 34. 发明授权
    • Method of removing a portion of a silicon oxide form over stacked polysilicon and silicide layers by using hydrofluorine (HF) solution
    • 通过使用氢氟酸(HF)溶液在堆叠的多晶硅和硅化物层上去除一部分氧化硅形式的方法
    • US06287982B1
    • 2001-09-11
    • US09593525
    • 2000-06-14
    • Dong Sun Kim
    • Dong Sun Kim
    • H01L2124
    • H01L28/82H01L27/0629H01L28/87H01L28/91
    • A fabrication method for a capacitor having high capacitance that increases capacitance of a capacitor and consequently decreases defective semiconductor devices includes: forming a doped first polysilicon layer pattern on a semiconductor substrate; forming a silicide film pattern on the first polysilicon layer pattern; annealing the semiconductor substrate; sequentially forming a first insulating film and a second insulating film over the silicide film pattern; forming a contact hole to expose a portion of the silicide film pattern and then sequentially placing the semiconductor substrate in an etchant solution and a buffered etchant solution to remove a portion of the first insulating film formed on the silicide film pattern; forming a first capacitor electrode on a portion of an upper surface of the second insulating film pattern and the silicide film pattern, and at inner walls of the contact hole; and forming a dielectric layer on an outer surface of the lower electrode and then a second capacitor electrode.
    • 一种具有高电容的电容器的制造方法,该电容器增加电容器的电容,从而减少有缺陷的半导体器件,包括:在半导体衬底上形成掺杂的第一多晶硅层图案; 在所述第一多晶硅层图案上形成硅化物膜图案; 退火半导体衬底; 在硅化物膜图案上依次形成第一绝缘膜和第二绝缘膜; 形成接触孔以暴露硅化物膜图案的一部分,然后依次将半导体衬底放置在蚀刻溶液和缓冲蚀刻溶液中以去除在硅化物膜图案上形成的第一绝缘膜的一部分; 在第二绝缘膜图案和硅化物膜图案的上表面的一部分上以及在接触孔的内壁处形成第一电容器电极; 以及在所述下电极的外表面上形成电介质层,然后形成第二电容电极。