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    • 19. 发明申请
    • RECOGNITION OF TEMPLATE PATTERNS WITH MASK INFORMATION
    • 用掩蔽信息识别模板图案
    • US20130132913A1
    • 2013-05-23
    • US13303374
    • 2011-11-23
    • Chung-Min FUYung-Fong LUWen-Ju YANGChin-Chang HSU
    • Chung-Min FUYung-Fong LUWen-Ju YANGChin-Chang HSU
    • G06F17/50
    • G06F17/5081G03F1/70
    • Apparatus includes a machine readable storage medium for storing a template library having at least one template. The template is to include a first layout representation of at least one pattern to be formed by multi-patterning a single layer of an IC. The pattern has a plurality of portions to be formed using a plurality of respectively different photomasks. The first layout representation includes data identifying on which photomask each portion is to be located. An electronic design automation (EDA) tool includes a processor configured to receive a hardware description language representation of at least a part of a circuit and generate a second layout representation of the part of the circuit having a plurality of polygons. The EDA tool has a matching module that identifies and outputs an indication of whether one or more of the plurality of portions matches a subset of the plurality of polygons.
    • 装置包括用于存储具有至少一个模板的模板库的机器可读存储介质。 该模板将包括通过多图案化IC的单层而形成的至少一个图案的第一布局图示。 该图案具有使用多个分别不同的光掩模形成的多个部分。 第一布局表示包括识别每个部分将要位于哪个光掩模上的数据。 电子设计自动化(EDA)工具包括被配置为接收电路的至少一部分的硬件描述语言表示并且生成具有多个多边形的电路的一部分的第二布局表示的处理器。 EDA工具具有匹配模块,其识别并输出多个部分中的一个或多个部分是否匹配多个多边形的子集的指示。