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    • 1. 发明专利
    • 基板處理裝置、溫度控制方法及溫度控制程式
    • 基板处理设备、温度控制方法及温度控制进程
    • TW201841549A
    • 2018-11-16
    • TW107101486
    • 2018-01-16
    • 日商東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 岡信介OKA, SHINSUKE
    • H05B6/06H01L21/67
    • 本發明之目的在於控制各分割區域的加熱器的溫度,以令基板的測定點的臨界尺寸滿足既定條件。為了達成上述目的,載置台,設置有載置基板以及以包圍該基板的方式配置的環狀構件的其中之一或兩者的載置面,並於分割載置面的各分割區域分別設置有可調整溫度的加熱器。算出部,使用以各分割區域的加熱器的溫度為參數,加入對應測定點與包含該測定點在內的分割區域以外的其他分割區域的距離的其他分割區域的加熱器的溫度的影響,預測對載置於載置面的基板實行了既定基板處理時的基板的既定測定點的臨界尺寸的預測模型,算出測定點的臨界尺寸滿足既定條件的各分割區域的加熱器的目標溫度。加熱器控制部,在對載置於載置面的基板實行基板處理時,控制各分割區域的加熱器形成算出部所算出的目標溫度。
    • 本发明之目的在于控制各分割区域的加热器的温度,以令基板的测定点的临界尺寸满足既定条件。为了达成上述目的,载置台,设置有载置基板以及以包围该基板的方式配置的环状构件的其中之一或两者的载置面,并于分割载置面的各分割区域分别设置有可调整温度的加热器。算出部,使用以各分割区域的加热器的温度为参数,加入对应测定点与包含该测定点在内的分割区域以外的其他分割区域的距离的其他分割区域的加热器的温度的影响,预测对载置于载置面的基板实行了既定基板处理时的基板的既定测定点的临界尺寸的预测模型,算出测定点的临界尺寸满足既定条件的各分割区域的加热器的目标温度。加热器控制部,在对载置于载置面的基板实行基板处理时,控制各分割区域的加热器形成算出部所算出的目标温度。
    • 2. 发明专利
    • 感應加熱用電源裝置
    • 感应加热用电源设备
    • TW201834505A
    • 2018-09-16
    • TW106108089
    • 2017-03-09
    • 高周波熱錬股份有限公司NETUREN CO., LTD.
    • 金井彦KANAI, TAKAHIKO杉本真人SUGIMOTO, MASATO吉田春樹YOSHIDA, HARUKI
    • H05B6/06H02M1/34
    • 感應加熱用電源裝置包含有:平滑化部,使從直流電源部輸出的直流電的脈動電流平滑化;以及逆變器,將經平滑化部予以平滑化後的直流電變換為交流電。平滑化部包含有連接至逆變器之一對匯流條以及連接至該一對匯流條之電容器。各匯流條具有在電流流動方向延伸之外表面,此外表面包含一個平面,此平面在與電流流動方向垂直之方向的表面尺寸係比該外表面的另一面大。該等匯流條係以層疊方式配置,使得該等匯流條的該等平面彼此相向且該等匯流條的該等平面間夾著絕緣體。
    • 感应加热用电源设备包含有:平滑化部,使从直流电源部输出的直流电的脉动电流平滑化;以及逆变器,将经平滑化部予以平滑化后的直流电变换为交流电。平滑化部包含有连接至逆变器之一对汇流条以及连接至该一对汇流条之电容器。各汇流条具有在电流流动方向延伸之外表面,此外表面包含一个平面,此平面在与电流流动方向垂直之方向的表面尺寸系比该外表面的另一面大。该等汇流条系以层叠方式配置,使得该等汇流条的该等平面彼此相向且该等汇流条的该等平面间夹着绝缘体。
    • 6. 发明专利
    • 用於電磁爐的控制系統和電磁爐
    • 用于电磁炉的控制系统和电磁炉
    • TW201725934A
    • 2017-07-16
    • TW105107101
    • 2016-03-08
    • 昂寶電子(上海)有限公司
    • 方倩呂華偉袁廷志
    • H05B6/06
    • 提供了一種用於電磁爐的類比控制系統和電磁爐。用於電磁爐的類比控制系統,其中電磁爐包括開關器件和電磁線圈,開關器件通過不斷地接通與斷開來使電磁線圈產生高頻交變磁場,該類比控制系統包括:開關控制元件,被配置為對電磁爐的輸入取樣電壓與閾值電壓進行比較,並根據輸入取樣電壓與閾值電壓之間的比較結果來控制開關器件的接通與斷開,其中,輸入取樣電壓是通過對電磁爐的交流輸入電壓進行整流分壓後取樣生成的。
    • 提供了一种用于电磁炉的模拟控制系统和电磁炉。用于电磁炉的模拟控制系统,其中电磁炉包括开关器件和电磁线圈,开关器件通过不断地接通与断开来使电磁线圈产生高频交变磁场,该模拟控制系统包括:开关控件,被配置为对电磁炉的输入采样电压与阈值电压进行比较,并根据输入采样电压与阈值电压之间的比较结果来控制开关器件的接通与断开,其中,输入采样电压是通过对电磁炉的交流输入电压进行整流分压后采样生成的。
    • 10. 发明专利
    • 感應加熱裝置的控制裝置
    • 感应加热设备的控制设备
    • TW201410077A
    • 2014-03-01
    • TW101147389
    • 2012-12-14
    • 東芝三菱電機產業系統股份有限公司TOSHIBA MITSUBISHI-ELECTRIC INDUSTRIAL SYSTEMS CORPORATION
    • 土斐崎哲嗣DOIZAKI, TETSUJI
    • H05B6/06H05B6/04
    • H05B6/06H05B6/10H05B6/14
    • 提供一種不僅可防止兩感應加熱裝置之間發生異常相互感應現象,而且可個別地控制被加熱材的一側部與另一側部的升溫量之感應加熱裝置的控制裝置。因此,控制裝置具備有:以使對於配置在被加熱材的一側之主要C型感應加熱裝置進行驅動之主要變流器的輸出電壓的相位與輸出電流的相位同步之方式設定前述主要變流器的運轉頻率之主要頻率控制部;使對於配置在前述被加熱材的另一側之從屬C型感應加熱裝置進行驅動之從屬變流器的運轉頻率與前述主要變流器的運轉頻率同步之從屬頻率控制部;使前述從屬變流器的輸出電流的相位與前述主要變流器的輸出電流的相位同步之從屬電流相位控制部;設定前述主要變流器的輸出電壓的脈衝寬度之主要電壓控制部;以及設定前述從屬變流器的輸出電壓的脈衝寬度之從屬電壓控制部。
    • 提供一种不仅可防止两感应加热设备之间发生异常相互感应现象,而且可个别地控制被加热材的一侧部与另一侧部的升温量之感应加热设备的控制设备。因此,控制设备具备有:以使对于配置在被加热材的一侧之主要C型感应加热设备进行驱动之主要变流器的输出电压的相位与输出电流的相位同步之方式设置前述主要变流器的运转频率之主要频率控制部;使对于配置在前述被加热材的另一侧之从属C型感应加热设备进行驱动之从属变流器的运转频率与前述主要变流器的运转频率同步之从属频率控制部;使前述从属变流器的输出电流的相位与前述主要变流器的输出电流的相位同步之从属电流相位控制部;设置前述主要变流器的输出电压的脉冲宽度之主要电压控制部;以及设置前述从属变流器的输出电压的脉冲宽度之从属电压控制部。