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1. 发明专利

TW202026665A 用於電子偵測的感測器审中-公开
简体标题：用于电子侦测的传感器
公开(公告)号：TW202026665A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108127503
申请日：2019-08-02
申请人：以色列商應用材料以色列公司 , APPLIED MATERIALS ISRAEL LTD.
发明人：阿蘇林伊泰 , ASSULIN, ITAY , 萊文雅各布 , LEVIN, JACOB , 伊坦蓋 , EYTAN, GUY
IPC分类号： G01T1/20 , H01L33/50 , H01J37/244 , H01J49/02
摘要：本發明相關於一種用於從物體發射的電子偵測的感測器，該感測器與以特定柱及晶圓電壓操作的帶電粒子束柱一起使用。感測器經配置且可操作以至少減低負離子與感測器的有效區域的相互作用，同時最小化電子能量損失。感測器也經配置且可操作以最小化以下兩者：有效區域的陰極發光效率的逐漸劣化、及在感測器操作期間產生且在整個閃爍體的壽命期間演變的陰極發光的動態改變。
简体摘要：本发明相关于一种用于从物体发射的电子侦测的传感器，该传感器与以特定柱及晶圆电压操作的带电粒子束柱一起使用。传感器经配置且可操作以至少减低负离子与传感器的有效区域的相互作用，同时最小化电子能量损失。传感器也经配置且可操作以最小化以下两者：有效区域的阴极发光效率的逐渐劣化、及在传感器操作期间产生且在整个闪烁体的寿命期间演变的阴极发光的动态改变。

2. 发明专利

TW201919086A 具有高解析度之電子束設備审中-公开
简体标题：具有高分辨率之电子束设备
公开(公告)号：TW201919086A
公开(公告)日：2019-05-16
申请号：TW107126417
申请日：2018-07-31
申请人：美商克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：姜辛容 , JIANG, XINRONG , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER
IPC分类号： H01J37/073 , H01J37/075 , H01J37/145 , H01J37/244 , H01J37/28 , G01N23/2251
CPC分类号： H01J37/145 , G01N23/2251 , G01N2223/418 , G01N2223/6116 , H01J37/067 , H01J37/073 , H01J37/075 , H01J2237/06316 , H01J2237/06341 , H01J2237/065 , H01J2237/1415 , H01J2237/28
摘要：一種磁槍透鏡及一種靜電槍透鏡可用於一電子束設備且可有助於在掃描電子顯微鏡、檢查及/或檢驗使用中為所有可用電子束電流提供高解析度。一提取射束可使用該磁槍透鏡經由一射束限制孔徑而導引在一晶圓處。該電子束亦可在該電子束通過該射束限制孔徑之後通過一靜電槍透鏡。
简体摘要：一种磁枪透镜及一种静电枪透镜可用于一电子束设备且可有助于在扫描电子显微镜、检查及/或检验使用中为所有可用电子束电流提供高分辨率。一提取射束可使用该磁枪透镜经由一射束限制孔径而导引在一晶圆处。该电子束亦可在该电子束通过该射束限制孔径之后通过一静电枪透镜。

3. 发明专利

TW201841190A 帶電粒子偵測之方法與裝置审中-公开
简体标题：带电粒子侦测之方法与设备
公开(公告)号：TW201841190A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107104233
申请日：2018-02-07
申请人：漢民微測科技股份有限公司 , HERMES MICROVISION, INC. , 荷蘭商ASML荷蘭公司 , ASML NETHERLANDS B.V.
发明人：王勇新 , WANG, YONGXIN , 任偉明 , REN, WEIMING , 董仲華 , DONG, ZHONGHUA , 陳仲瑋 , CHEN, ZHONGWEI
IPC分类号： H01J37/244 , H01J37/28 , H01L21/66
摘要：本發明提供用於帶電粒子偵測之系統及方法。該偵測系統可包含一信號處理電路，該信號處理電路經組態以基於自複數個電子感測元件接收之電子強度資料而產生一組強度梯度。該偵測系統可進一步包含一射束點處理模組，該射束點處理模組經組態以：基於該組強度梯度而判定一射束點之至少一個邊界；及基於該至少一個邊界而判定該複數個電子感測元件中之一第一組電子感測元件在該射束點內。該射束點處理模組可經進一步組態以：基於自該第一組電子感測元件接收之該電子強度資料而判定該射束點之一強度值；及亦基於該強度值而產生一晶圓之一影像。
简体摘要：本发明提供用于带电粒子侦测之系统及方法。该侦测系统可包含一信号处理电路，该信号处理电路经组态以基于自复数个电子传感组件接收之电子强度数据而产生一组强度梯度。该侦测系统可进一步包含一射束点处理模块，该射束点处理模块经组态以：基于该组强度梯度而判定一射束点之至少一个边界；及基于该至少一个边界而判定该复数个电子传感组件中之一第一组电子传感组件在该射束点内。该射束点处理模块可经进一步组态以：基于自该第一组电子传感组件接收之该电子强度数据而判定该射束点之一强度值；及亦基于该强度值而产生一晶圆之一影像。

4. 发明专利

TW201841112A 攜帶式資訊終端、射束照射系統、及程式审中-公开
简体标题：携带式信息终端、射束照射系统、及进程
公开(公告)号：TW201841112A
公开(公告)日：2018-11-16
申请号：TW107107260
申请日：2018-03-05
申请人：日商日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：麻生拓篤 , ASO, TAKUMA , 上本敦 , UEMOTO, ATSUSHI , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 鈴木人 , SUZUKI, MASATO
IPC分类号： G06F3/048 , H01J37/244 , H01J37/28
摘要： [課題]提供一種攜帶式資訊終端，能夠在期望的位置進行第1操作項目的操作。　　[解決手段]一種攜帶式資訊終端，其係與對試樣照射帶電粒子束來對試樣進行處理的帶電粒子束照射裝置為不同體；其特徵為：　　具備：顯示控制部，其係使顯示部顯示包含GUI (Graphical User Interface)的影像，該GUI能夠根據來自使用者的操作來操作第1操作項目，該第1操作項目是能夠在帶電粒子束照射裝置進行操作的多個操作項目中1個以上的一部分操作項目。
简体摘要： [课题]提供一种携带式信息终端，能够在期望的位置进行第1操作项目的操作。　　[解决手段]一种携带式信息终端，其系与对试样照射带电粒子束来对试样进行处理的带电粒子束照射设备为不同体；其特征为：　　具备：显示控制部，其系使显示部显示包含GUI (Graphical User Interface)的影像，该GUI能够根据来自用户的操作来操作第1操作项目，该第1操作项目是能够在带电粒子束照射设备进行操作的多个操作项目中1个以上的一部分操作项目。

5. 发明专利

TW201826313A 電漿處理裝置审中-公开
简体标题：等离子处理设备
公开(公告)号：TW201826313A
公开(公告)日：2018-07-16
申请号：TW106140656
申请日：2017-11-23
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：金子和史 , KANEKO, KAZUSHI , 長谷川貴志 , HASEGAWA, TAKASHI , 小山紘司 , KOYAMA, KOJI , 松本直樹 , MATSUMOTO, NAOKI
IPC分类号： H01J37/02 , H01J37/244 , H01J37/304 , H01J37/32
摘要：本發明之課題係不對電漿賦予擾動而運算出吸收頻率。本發明之電漿處理裝置具備：微波輸出部，其使具有與設定功率相應的功率之微波於設定頻率範圍內一邊調頻一邊輸出；波導管，其將由微波輸出部輸出之微波導向腔室本體之天線；調諧器，其設置於波導管，以將微波輸出部側之阻抗與天線側之阻抗匹配之方式調整可動板之位置；解調部，其設置於波導管，且對於每一頻率獲取於波導管內行進之行波之功率即行波功率、及來自天線側之反射波之功率即反射波功率；及運算部，其運算基於行波功率及反射波功率運算出之每一頻率之反射係數成為極小點之頻率作為吸收頻率。
简体摘要：本发明之课题系不对等离子赋予扰动而运算出吸收频率。本发明之等离子处理设备具备：微波输出部，其使具有与设置功率相应的功率之微波于设置频率范围内一边调频一边输出；波导管，其将由微波输出部输出之微波导向腔室本体之天线；调谐器，其设置于波导管，以将微波输出部侧之阻抗与天线侧之阻抗匹配之方式调整可动板之位置；解调部，其设置于波导管，且对于每一频率获取于波导管内行进之行波之功率即行波功率、及来自天线侧之反射波之功率即反射波功率；及运算部，其运算基于行波功率及反射波功率运算出之每一频率之反射系数成为极小点之频率作为吸收频率。

6. 发明专利

TW201801123A 用於在非導電基板上成像浮動金屬結構之充電控制的方法及系統审中-公开
简体标题：用于在非导电基板上成像浮动金属结构之充电控制的方法及系统
公开(公告)号：TW201801123A
公开(公告)日：2018-01-01
申请号：TW106111261
申请日：2017-03-31
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：希迪亞瓊 , HEGDE, ARJUN , 葛瑞拉魯卡 , GRELLA, LUCA , 希爾斯克里斯多福 , SEARS, CHRISTOPHER
IPC分类号： H01J37/10 , H01J37/153 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/26 , H01J37/28
CPC分类号： H01J37/153 , H01J37/10 , H01J37/18 , H01J37/20 , H01J37/244 , H01J37/265 , H01J37/28 , H01J2237/0044 , H01J2237/103 , H01J2237/20285 , H01J2237/221
摘要：本發明揭示一種掃描電子顯微鏡系統。該系統包含一樣本台，其經組態以固定具有安置於一絕緣基板上之導電結構的一樣本。該系統包含一電子光學柱，其包含：一電子源，其經組態以產生一初級電子束；及一組電子光學元件，其等經組態以將該初級電子束之至少一部分引導至該樣本之一部分上。該系統包含經組態以偵測自該樣本之表面放射之電子的一偵測器總成。該系統包含通信地耦合至該偵測器總成之一控制器。該控制器經組態以引導該電子光學柱及該台以使用該初級電子束來執行該樣本之該部分之成像掃描及泛射掃描之一交替系列，其中在該等成像掃描之一或多者之後執行該等泛射掃描之各者。
简体摘要：本发明揭示一种扫描电子显微镜系统。该系统包含一样本台，其经组态以固定具有安置于一绝缘基板上之导电结构的一样本。该系统包含一电子光学柱，其包含：一电子源，其经组态以产生一初级电子束；及一组电子光学组件，其等经组态以将该初级电子束之至少一部分引导至该样本之一部分上。该系统包含经组态以侦测自该样本之表面放射之电子的一侦测器总成。该系统包含通信地耦合至该侦测器总成之一控制器。该控制器经组态以引导该电子光学柱及该台以使用该初级电子束来运行该样本之该部分之成像扫描及泛射扫描之一交替系列，其中在该等成像扫描之一或多者之后运行该等泛射扫描之各者。

7. 发明专利

TW201539518A 荷電粒子束裝置审中-公开
简体标题：荷电粒子束设备
公开(公告)号：TW201539518A
公开(公告)日：2015-10-16
申请号：TW104102100
申请日：2015-01-22
申请人：日立高新技術科學股份有限公司 , HITACHI HIGH-TECH SCIENCE CORPORATION
发明人：上本敦 , UEMOTO, ATSUSHI , 麻畑達也 , ASAHATA, TATSUYA , 鈴木秀和 , SUZUKI, HIDEKAZU , 山本洋 , YAMAMOTO, YO
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/20 , H01J37/261 , H01J37/3023 , H01J2237/063 , H01J2237/08 , H01J2237/2007 , H01J2237/202 , H01J2237/208 , H01J2237/2448 , H01J2237/2482 , H01J2237/2602
摘要：本發明係一種荷電粒子束裝置，其課題為使在荷電粒子束裝置內，自動地使指針移動時之安全性提升者。解決手段為荷電粒子束裝置(10)係具備：聚焦離子束鏡筒(14)，和電子束鏡筒(15)，和指針(18)，和指針驅動機構(19)，和控制部(21)。控制部(21)係控制經由在預先所設定之移動路徑之指針驅動機構(19)的指針(18)之驅動，對於構成移動路徑之各複數之位置座標，控制指針驅動機構(19)之驅動軸(或驅動方向)。
简体摘要：本发明系一种荷电粒子束设备，其课题为使在荷电粒子束设备内，自动地使指针移动时之安全性提升者。解决手段为荷电粒子束设备(10)系具备：聚焦离子束镜筒(14)，和电子束镜筒(15)，和指针(18)，和指针驱动机构(19)，和控制部(21)。控制部(21)系控制经由在预先所设置之移动路径之指针驱动机构(19)的指针(18)之驱动，对于构成移动路径之各复数之位置座标，控制指针驱动机构(19)之驱动轴(或驱动方向)。

8. 发明专利

TW201519276A 不對稱偵測器設計及方法审中-公开
简体标题：不对称侦测器设计及方法
公开(公告)号：TW201519276A
公开(公告)日：2015-05-16
申请号：TW103130873
申请日：2014-09-05
申请人：克萊譚克公司 , KLA-TENCOR CORPORATION
发明人：格爾林約翰 , GERLING, JOHN , 普雷特納湯瑪士 , PLETTNER, TOMAS , 奈瑟葛德西梅瑞 , NASSER-GHODSI, MEHRAN
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/28 , H01J37/244 , H01J2237/2446 , H01J2237/28
摘要：本發明揭示一種帶電粒子偵測裝置，其具有一作用部分，該作用部分經組態以回應於從著陸於該作用部分上之一樣本發射之二次帶電粒子而產生一信號。該作用部分經塑形以適應一偵測器處之該等二次帶電粒子之一預期不對稱圖案。本摘要經提供以遵守要求一摘要將允許一搜尋者或其他讀者快速確定本發明之標的之規則。應瞭解，本發明不會用於解譯或限制申請專利範圍之範疇或含義。
简体摘要：本发明揭示一种带电粒子侦测设备，其具有一作用部分，该作用部分经组态以回应于从着陆于该作用部分上之一样本发射之二次带电粒子而产生一信号。该作用部分经塑形以适应一侦测器处之该等二次带电粒子之一预期不对称图案。本摘要经提供以遵守要求一摘要将允许一搜索者或其他读者快速确定本发明之标的之守则。应了解，本发明不会用于解译或限制申请专利范围之范畴或含义。

9. 发明专利

TWI443706B 基板處理系統、粒子處理系統及測量粒子束特性的裝置及其方法有权
简体标题：基板处理系统、粒子处理系统及测量粒子束特性的设备及其方法
公开(公告)号：TWI443706B
公开(公告)日：2014-07-01
申请号：TW098104476
申请日：2009-02-12
申请人：瓦里安半導體設備公司 , VARIAN SEMICONDUCTOR EQUIPMENT ASSOCIATES, INC.
发明人：歐爾森約瑟C , OLSON, JOSEPH C. , 古普塔阿塔爾 , GUPTA, ATUL
IPC分类号： H01J37/317 , H01J37/244 , H01L21/66
CPC分类号： H01J37/3171 , H01J37/304 , H01J2237/2446 , H01J2237/24507 , H01J2237/24528 , H01J2237/24542

10. 发明专利

TW201349277A 多通道偵測器、光學裝置及操作這些多通道偵測器及光學裝置之方法审中-公开
简体标题：多信道侦测器、光学设备及操作这些多信道侦测器及光学设备之方法
公开(公告)号：TW201349277A
公开(公告)日：2013-12-01
申请号：TW102113322
申请日：2013-04-15
申请人： ICT積體電路測試股份有限公司 , ICT INTEGRATED CIRCUIT TESTING GESELLSCHAFT FUR HALBLEITERPRUFTECHNIK MBH
发明人：艾達米克派維爾 , ADAMEC, PAVEL
IPC分类号： H01J37/244
CPC分类号： H01J37/244 , H01J2237/2441 , H01J2237/2449 , H01J2237/24592
摘要：本發明描述一種用於偵測訊號束之二次帶電粒子偵測裝置。該裝置包括：偵測器配置，該偵測器配置具有至少兩個具有主動偵測區域之偵測元件，其中主動偵測區域由間隙分離；粒子光學裝置，該粒子光學裝置經配置以用於將訊號束分離成訊號束之第一部分並分離成訊號束之至少一個第二部分，該粒子光學裝置經配置以用於聚焦訊號束之第一部分，且該粒子光學裝置經配置以用於偵測及聚焦訊號束之至少一個第二部分，其中粒子光學裝置包括第一電極及至少一個第二電極。其中，第一電極為內部電極且從第一電極向外徑向提供至少一個第二電極。
简体摘要：本发明描述一种用于侦测信号束之二次带电粒子侦测设备。该设备包括：侦测器配置，该侦测器配置具有至少两个具有主动侦测区域之侦测组件，其中主动侦测区域由间隙分离；粒子光学设备，该粒子光学设备经配置以用于将信号束分离成信号束之第一部分并分离成信号束之至少一个第二部分，该粒子光学设备经配置以用于聚焦信号束之第一部分，且该粒子光学设备经配置以用于侦测及聚焦信号束之至少一个第二部分，其中粒子光学设备包括第一电极及至少一个第二电极。其中，第一电极为内部电极且从第一电极向外径向提供至少一个第二电极。

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