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    • 2. 发明专利
    • 檢查裝置及檢查方法
    • 检查设备及检查方法
    • TW202022384A
    • 2020-06-16
    • TW108126707
    • 2019-07-29
    • 日商日本麥克隆尼股份有限公司KABUSHIKI KAISHA NIHON MICRONICS
    • 深見美行FUKAMI, YOSHIYUKI
    • G01R1/06G01R31/02G01R31/28
    • 本發明的課題,係考慮探針的接觸目標即電極端子的尺寸資訊,使可動軸驅動部的動作速度可變,以縮短檢查時間。    本發明的解決手段是一種檢查裝置,係具有複數可動探針,使各可動探針分別接觸被檢查基板上的複數檢查對象物,以測定複數檢查對象物之間的電氣特性的檢查裝置,具備:支持各可動探針,使各可動探針往複數軸方向移動,將各可動探針定位於檢查對象物的位置,使各可動探針接觸檢查對象物的複數可動部、驅動使各可動探針移動的各可動部的驅動部、及因應作為各可動探針的下個接觸目標之檢查對象物的尺寸資訊,控制使各可動探針移動之各可動部的動作速度的驅動控制部。
    • 本发明的课题,系考虑探针的接触目标即电极端子的尺寸信息,使可动轴驱动部的动作速度可变,以缩短检查时间。    本发明的解决手段是一种检查设备,系具有复数可动探针,使各可动探针分别接触被检查基板上的复数检查对象物,以测定复数检查对象物之间的电气特性的检查设备,具备:支持各可动探针,使各可动探针往复数轴方向移动,将各可动探针定位于检查对象物的位置,使各可动探针接触检查对象物的复数可动部、驱动使各可动探针移动的各可动部的驱动部、及因应作为各可动探针的下个接触目标之检查对象物的尺寸信息,控制使各可动探针移动之各可动部的动作速度的驱动控制部。
    • 4. 发明专利
    • 水平式雙面探針設備
    • 水平式双面探针设备
    • TW202007972A
    • 2020-02-16
    • TW107124894
    • 2018-07-19
    • 佳思科技有限公司
    • 邱邦誠黃榮書郭俊廷
    • G01R1/06G01R31/26
    • 本創作係一種水平式雙面探針設備,其包含一機台、至少一下測單元及至少一上測單元,機台包含一基座、二下滑軌及二上滑軌,下滑軌及上滑軌皆位於基座的頂面,每一下測單元包含一下座軌及至少一下探針件,下座軌可滑動地位於下滑軌,下探針件可滑動地設於下座軌,每一上測單元包含一上座軌及至少一上探針件,上座軌可滑動地位於上滑軌,上探針件可滑動地設於上座軌,本創作水平式雙面探針設備藉由下測單元及上測單元同時檢測載板的頂面及底面,並藉由高頻信號校正手法以及水平式頂面與底面直通校正器進行信號校正,減少誤差提高檢測精準度。
    • 本创作系一种水平式双面探针设备,其包含一机台、至少一下测单元及至少一上测单元,机台包含一基座、二下滑轨及二上滑轨,下滑轨及上滑轨皆位于基座的顶面,每一下测单元包含一下座轨及至少一下探针件,下座轨可滑动地位于下滑轨,下探针件可滑动地设于下座轨,每一上测单元包含一上座轨及至少一上探针件,上座轨可滑动地位于上滑轨,上探针件可滑动地设于上座轨,本创作水平式双面探针设备借由下测单元及上测单元同时检测载板的顶面及底面,并借由高频信号校正手法以及水平式顶面与底面直通校正器进行信号校正,减少误差提高检测精准度。