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    • 5. 发明专利
    • 非破壞性之晶圓級壓電材料評估方法與量測設備
    • 非破坏性之晶圆级压电材料评估方法与量测设备
    • TW201719782A
    • 2017-06-01
    • TW104139659
    • 2015-11-27
    • 樹德科技大學SHU-TE UNIVERSITY
    • 高國陞KAO, KUO SHENG程達隆CHENG, DA LONG
    • H01L21/66G01N29/04
    • 本發明係有關於一種非破壞性之晶圓級壓電材料評估方法與量測設備,其主要係取晶圓上專供薄膜物性測試的非元件區,該非元件區經由單層光罩之製程而完成表面聲波元件,並讓該表面聲波元件經一設備量測,以獲得頻率響應結果,藉以將此結果反推得到壓電係數、機電耦合係數等,並經帶入數學運算關係式之後,可進一步衍伸得到體聲波元件的表現;據此方法,在產線上能快速完成表面聲波元件,藉由其頻率響應的結果反饋的電性資訊判斷,達成壓電係數的評估,可提供製造商各項壓電應用產品的資料進行參數設定,提供產線上、製程中即時薄膜特性判斷,達到具有降低生產成本、非破壞性檢測的優點功效者。
    • 本发明系有关于一种非破坏性之晶圆级压电材料评估方法与量测设备,其主要系取晶圆上专供薄膜物性测试的非组件区,该非组件区经由单层光罩之制程而完成表面声波组件,并让该表面声波组件经一设备量测,以获得频率响应结果,借以将此结果反推得到压电系数、机电耦合系数等,并经带入数学运算关系式之后,可进一步衍伸得到体声波组件的表现;据此方法,在产在线能快速完成表面声波组件,借由其频率响应的结果反馈的电性信息判断,达成压电系数的评估,可提供制造商各项压电应用产品的数据进行参数设置,提供产在线、制程中实时薄膜特性判断,达到具有降低生产成本、非破坏性检测的优点功效者。
    • 8. 发明专利
    • 一種用於測量黏彈性介質的彈性測量裝置
    • 一种用于测量黏弹性介质的弹性测量设备
    • TW201618721A
    • 2016-06-01
    • TW104137869
    • 2015-11-17
    • 愛科森股份有限公司ECHOSENS
    • 桑德蘭 洛朗SANDRIN, LAURENT
    • A61B8/08G01N29/04
    • 本發明提供了一種用於測量黏彈性介質的彈性測量裝置,所述裝置可藉由壓力大小來控制裝置的啟動,所述裝置包括至少一個超聲波換能器、一個彈性係數一定的彈簧、一個用於檢測位移量的位置感測器、一個用於觸發上述裝置的致動器,其特徵是,它包括一個電動致動器,用於產生暫態低頻脈衝波;一個與位置感測器相連的信號發生器,用於發出啟動信號;一個用於觸發電動致動器的開關。與現有技術相比,採用本發明提供的技術方案具有如下優點:藉由壓力大小來控制測量裝置的啟動,可以保證測量裝置工作在最合適的壓力範圍內。
    • 本发明提供了一种用于测量黏弹性介质的弹性测量设备,所述设备可借由压力大小来控制设备的启动,所述设备包括至少一个超声波换能器、一个弹性系数一定的弹簧、一个用于检测位移量的位置传感器、一个用于触发上述设备的致动器,其特征是,它包括一个电动致动器,用于产生暂态低频脉冲波;一个与位置传感器相连的信号发生器,用于发出启动信号;一个用于触发电动致动器的开关。与现有技术相比,采用本发明提供的技术方案具有如下优点:借由压力大小来控制测量设备的启动,可以保证测量设备工作在最合适的压力范围内。