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    • 3. 发明专利
    • 超音波感測器
    • 超音波传感器
    • TW201920908A
    • 2019-06-01
    • TW107132933
    • 2018-09-19
    • 日商第一精工股份有限公司DAI-ICHI SEIKO CO., LTD.
    • 緒方健治OGATA, KENJI黒木省吾KUROGI, SHOGO
    • G01H11/08
    • 固定框(2)固定於外部之構件。超音波振盪部(3)配置於固定框(2)內,且由具有可撓性之第1基板及薄膜形成於第1基板上之第1壓電元件構成,藉由第1壓電元件之伸縮而撓曲從而產生超音波。致動器部(4)係由將第1基板與固定框(2)之間連接且具有可撓性之第2基板、及薄膜形成於第2基板上之第2壓電元件構成,藉由第2壓電元件之伸縮而撓曲從而相對於固定框(2)使超音波振盪部(3)揺動。固定框(2)、第1基板及第2基板由同一基板構成。
    • 固定框(2)固定于外部之构件。超音波振荡部(3)配置于固定框(2)内,且由具有可挠性之第1基板及薄膜形成于第1基板上之第1压电组件构成,借由第1压电组件之伸缩而挠曲从而产生超音波。致动器部(4)系由将第1基板与固定框(2)之间连接且具有可挠性之第2基板、及薄膜形成于第2基板上之第2压电组件构成,借由第2压电组件之伸缩而挠曲从而相对于固定框(2)使超音波振荡部(3)揺动。固定框(2)、第1基板及第2基板由同一基板构成。