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    • 2. 发明专利
    • 流體控制裝置和流體控制裝置用程式存儲介質
    • 流体控制设备和流体控制设备用进程存储介质
    • TW201833466A
    • 2018-09-16
    • TW107107100
    • 2018-03-02
    • 日商堀場STEC股份有限公司HORIBA STEC, CO., LTD.
    • 松浦和宏MATSUURA, KAZUHIRO山口正男YAMAGUCHI, MASAO長井健太郎NAGAI, KENTARO
    • F16K21/00G01F1/00
    • 流體控制裝置包括流量測量部測量流過流道內的流體的流量;流體控制閥設置在流道上;開度操作量輸出部,基於預先設定的設定流量與流量測量部的測量流量的偏差和預先設定的控制係數得到的流體控制閥的開度操作量輸出為開度操作量信號,在測量流量穩定的穩定狀態和因設定流量的變化而使測量流量變化的過渡狀態下,設定控制係數,在從穩定狀態切換為過渡狀態的時點或從該時點開始經過規定時間之前,開度操作量輸出部將根據在穩定狀態下的多個時點輸出的各開度操作量計算出的切換時用開度操作量輸出為切換時用開度操作量信號。
    • 流体控制设备包括流量测量部测量流过流道内的流体的流量;流体控制阀设置在流道上;开度操作量输出部,基于预先设置的设置流量与流量测量部的测量流量的偏差和预先设置的控制系数得到的流体控制阀的开度操作量输出为开度操作量信号,在测量流量稳定的稳定状态和因设置流量的变化而使测量流量变化的过渡状态下,设置控制系数,在从稳定状态切换为过渡状态的时点或从该时点开始经过规定时间之前,开度操作量输出部将根据在稳定状态下的多个时点输出的各开度操作量计算出的切换时用开度操作量输出为切换时用开度操作量信号。