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1. 实用新型

TWM564090U 具有模組化密封結構的壓縮機裝置有权
简体标题：具有模块化密封结构的压缩机设备
公开(公告)号：TWM564090U
公开(公告)日：2018-07-21
申请号：TW107203015
申请日：2018-03-08
申请人：復盛股份有限公司 , FU SHENG INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：陳柔芊 , CHEN, JOU-CHIEN , 蔡民仁 , TSAI, MIN-JEN
IPC分类号： F04C28/02 , F04C28/24

2. 发明专利

TW201619505A 真空泵系統审中-公开
简体标题：真空泵系统
公开(公告)号：TW201619505A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW104131706
申请日：2015-09-25
申请人：歐瑞康藍伯德真空股份有限公司 , OERLIKON LEYBOLD VACUUM GMBH
发明人：屈奈登貝屈丹尼爾 , SCHNEIDENBACH, DANIEL , 拜爾克里斯汀 , BEYER, CHRISTIAN , 克雷恩哈特慕 , KRIEHN, HARTMUT , 舒立克克勞斯彼得 , SCHLICK, KLAUS-PETER
IPC分类号： F04C28/02 , F04B37/14 , F04F5/54
CPC分类号： F04F5/54 , F04B41/06 , F04C18/16 , F04C23/006 , F04C25/02 , F04C28/02 , F04C28/24 , F04F5/20
摘要：一種真空泵系統具有一主真空泵(10)，用於抽真空一腔室(14)。一輔助泵(24)與該主真空泵(10)的一出口(16)連接。另外，一控制裝置(32、34)被裝設，在該出口(16)佔優勢之壓力的一界定範圍內，用於啟動該輔助泵(34)。該控制裝置(32、34)僅包括機械組件。
简体摘要：一种真空泵系统具有一主真空泵(10)，用于抽真空一腔室(14)。一辅助泵(24)与该主真空泵(10)的一出口(16)连接。另外，一控制设备(32、34)被装设，在该出口(16)占优势之压力的一界定范围内，用于启动该辅助泵(34)。该控制设备(32、34)仅包括机械组件。

3. 发明专利

TWI668373B 雙級壓縮機有权
简体标题：双级压缩机
公开(公告)号：TWI668373B
公开(公告)日：2019-08-11
申请号：TW107126682
申请日：2018-08-01
申请人：復盛股份有限公司 , FU SHENG INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：李訓安 , LEE, HSUN-AN , 葉忠泓 , YEH, CHUNG-HUNG
IPC分类号： F04C28/02

4. 发明专利

TW201641822A 螺桿壓縮機以及具有螺桿壓縮機之冷凍循環裝置审中-公开
简体标题：螺杆压缩机以及具有螺杆压缩机之冷冻循环设备
公开(公告)号：TW201641822A
公开(公告)日：2016-12-01
申请号：TW104132790
申请日：2015-10-06
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：栗田慎 , KURITA, SHIN
IPC分类号： F04C18/16 , F04C28/02 , F25B31/00
CPC分类号： F04C18/16
摘要：本發明之螺桿壓縮機係具有：外殼，係具有壓縮氣體之低段壓縮部、與對在低段壓縮部所壓縮之氣體進一步壓縮的高段壓縮部；轉軸，係貫穿低段壓縮部與高段壓縮部，並配置成可在外殼內轉動；低段螺桿轉子，係安裝於低段壓縮部內的轉軸，並在外周面形成複數個螺紋槽；一對低段門轉子，係形成與低段螺桿轉子之螺紋槽嚙合的齒部，並在低段螺桿轉子的螺紋槽與該外殼之間形成一對低段壓縮室；以及一對低段滑動閥，係配置於一對低段壓縮室，藉由在轉軸之軸向移動，調整從低段壓縮部排出氣體的時序；一對低段滑動閥係在轉軸的軸向配置於各自相異的位置。
简体摘要：本发明之螺杆压缩机系具有：外壳，系具有压缩气体之低段压缩部、与对在低段压缩部所压缩之气体进一步压缩的高段压缩部；转轴，系贯穿低段压缩部与高段压缩部，并配置成可在外壳内转动；低段螺杆转子，系安装于低段压缩部内的转轴，并在外周面形成复数个螺纹槽；一对低段门转子，系形成与低段螺杆转子之螺纹槽啮合的齿部，并在低段螺杆转子的螺纹槽与该外壳之间形成一对低段压缩室；以及一对低段滑动阀，系配置于一对低段压缩室，借由在转轴之轴向移动，调整从低段压缩部排出气体的时序；一对低段滑动阀系在转轴的轴向配置于各自相异的位置。

5. 发明专利

TWI666387B 壓縮機有权
简体标题：压缩机
公开(公告)号：TWI666387B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW106135533
申请日：2017-10-17
申请人：復盛股份有限公司 , FUSHENG INDUSTRIAL CO., LTD
发明人：游耀中 , YU, YAO CHUNG , 林維煦 , LIN, WEI HSU
IPC分类号： F04C28/02 , F04C28/24 , F04C29/12

6. 发明专利

TWI626380B 螺桿壓縮機以及具有螺桿壓縮機之冷凍循環裝置有权
简体标题：螺杆压缩机以及具有螺杆压缩机之冷冻循环设备
公开(公告)号：TWI626380B
公开(公告)日：2018-06-11
申请号：TW104132790
申请日：2015-10-06
申请人：三菱電機股份有限公司 , MITSUBISHI ELECTRIC CORPORATION
发明人：栗田慎 , KURITA, SHIN
IPC分类号： F04C18/16 , F04C28/02 , F25B31/00

7. 发明专利

TW202026528A 避免沉積副產物積聚的真空泵保護审中-公开
简体标题：避免沉积副产物积聚的真空泵保护
公开(公告)号：TW202026528A
公开(公告)日：2020-07-16
申请号：TW108135118
申请日：2019-09-27
申请人：美商蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：朱爾瑞約翰史蒂芬 , DREWERY, JOHN STEPHEN , 坎伯湯姆 A , KAMP, TOM A. , 嚴浩泉 , YAN, HAOQUAN , 道芬堤約翰愛華德 , DAUGHERTY, JOHN EDWARD , 陳進勵 , TAN, ALI SUCIPTO , 曾明貴 , TSENG, MING-KUEI , 弗里曼布魯斯 , FREEMAN, BRUCE
IPC分类号： F04C29/12 , F04C28/02 , C23C16/455
摘要：一處理腔室(例如電漿蝕刻腔室)可執行沉積及蝕刻操作，其中沉積及蝕刻操作之副產物可能在與處理腔室流體耦合的真空泵系統中積聚。真空泵系統可具有複數粗抽泵，使得蝕刻氣體可被分流至一粗抽泵而沉積前驅物可被分流至另一粗抽泵。分流管線可將未使用的沉積前驅物引導通過個別的粗抽泵。透過在真空泵系統中之初級泵的出口處包含一或更多氣體噴射器或文氏泵，可避免沉積副產物形成。使用某些清潔化學品的清潔操作(例如無晶圓自動清潔操作)可在蝕刻操作之前或之後將沉積副產物去除。
简体摘要：一处理腔室(例如等离子蚀刻腔室)可运行沉积及蚀刻操作，其中沉积及蚀刻操作之副产物可能在与处理腔室流体耦合的真空泵系统中积聚。真空泵系统可具有复数粗抽泵，使得蚀刻气体可被分流至一粗抽泵而沉积前驱物可被分流至另一粗抽泵。分流管线可将未使用的沉积前驱物引导通过个别的粗抽泵。透过在真空泵系统中之初级泵的出口处包含一或更多气体喷射器或文氏泵，可避免沉积副产物形成。使用某些清洁化学品的清洁操作(例如无晶圆自动清洁操作)可在蚀刻操作之前或之后将沉积副产物去除。

8. 发明专利

TW202007862A 雙級壓縮機审中-公开
简体标题：双级压缩机
公开(公告)号：TW202007862A
公开(公告)日：2020-02-16
申请号：TW107126682
申请日：2018-08-01
申请人：復盛股份有限公司 , FU SHENG INDUSTRIAL CO., LTD.
发明人：李訓安 , LEE, HSUN-AN , 葉忠泓 , YEH, CHUNG-HUNG
IPC分类号： F04C28/02
摘要：一種雙級壓縮機，包含一殼體、一第一壓縮機構以及一第二壓縮機構。殼體具有一第一壓縮室、一第二壓縮室以及一油槽，其中第一壓縮室與第二壓縮室連通，且油槽位於第二壓縮室中。第一壓縮機構設置於第一壓縮室中。第二壓縮機構設置於第二壓縮室中，且第二壓縮機構之位置對應油槽之位置。第一壓縮機構與第二壓縮機構的潤滑油量的需求不同。
简体摘要：一种双级压缩机，包含一壳体、一第一压缩机构以及一第二压缩机构。壳体具有一第一压缩室、一第二压缩室以及一油槽，其中第一压缩室与第二压缩室连通，且油槽位于第二压缩室中。第一压缩机构设置于第一压缩室中。第二压缩机构设置于第二压缩室中，且第二压缩机构之位置对应油槽之位置。第一压缩机构与第二压缩机构的润滑油量的需求不同。

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