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    • 1. 发明专利
    • 含有含苯基之聚矽氧烷的暫時接著劑
    • 含有含苯基之聚硅氧烷的暂时接着剂
    • TW201920582A
    • 2019-06-01
    • TW107123429
    • 2018-07-06
    • 日商日產化學股份有限公司NISSAN CHEMICAL CORPORATION
    • 森谷俊介MORIYA, SHUNSUKE榎本智之ENOMOTO, TOMOYUKI新城徹也SHINJO, TETSUYA荻野浩司OGINO, HIROSHI澤田和宏SAWADA, KAZUHIRO
    • C09J183/14H01L21/683
    • [課題]本發明係提供一種暫時接著劑及該層合體、使用其之加工方法,該暫時接著劑係向晶圓之電路面,或向支撐體之旋轉塗佈性優異,與接著層之接合時或在晶圓背面之加工時的耐熱性優異,於晶圓背面之研磨後係可容易地剝離,剝離後係已附著於晶圓或支撐體的接著劑為可簡單地除去。   [解決手段]一種接著劑,其係在支撐體與晶圓之電路面之間為可剝離地接著而用以加工晶圓之背面的接著劑,上述接著劑為包含藉由氫矽烷化反應而硬化的成分(A)與含苯基之聚有機矽氧烷的成分(B),上述接著劑中成分(A)與成分(B)之質量%為95:5~30:70之比例。一種剝離方法,其於第一基體上塗布接著劑而形成接著層,接合第二基體,在由第一基體側加熱而使接著劑硬化而形成層合體之後,加工層合體,在第一基體、第二基體與接著層之間產生剝離。加工為背面研磨。
    • [课题]本发明系提供一种暂时接着剂及该层合体、使用其之加工方法,该暂时接着剂系向晶圆之电路面,或向支撑体之旋转涂布性优异,与接着层之接合时或在晶圆背面之加工时的耐热性优异,于晶圆背面之研磨后系可容易地剥离,剥离后系已附着于晶圆或支撑体的接着剂为可简单地除去。   [解决手段]一种接着剂,其系在支撑体与晶圆之电路面之间为可剥离地接着而用以加工晶圆之背面的接着剂,上述接着剂为包含借由氢硅烷化反应而硬化的成分(A)与含苯基之聚有机硅氧烷的成分(B),上述接着剂中成分(A)与成分(B)之质量%为95:5~30:70之比例。一种剥离方法,其于第一基体上涂布接着剂而形成接着层,接合第二基体,在由第一基体侧加热而使接着剂硬化而形成层合体之后,加工层合体,在第一基体、第二基体与接着层之间产生剥离。加工为背面研磨。