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1. 发明专利

TW201843694A 利用變頻產生器的智慧RF脈衝調整审中-公开
简体标题：利用变频产生器的智能RF脉冲调整
公开(公告)号：TW201843694A
公开(公告)日：2018-12-16
申请号：TW107105704
申请日：2018-02-21
申请人：美商應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：川崎勝正 , KAWASAKI, KATSUMASA
IPC分类号： H01J37/32 , H05G1/20
摘要：本文提供了用於RF脈衝反射減少的方法和系統。在一些實施例中，一種方法包括：(a)接收用於處理基板的處理配方，該處理配方包括在第一工作週期期間的來自複數個RF產生器的複數個脈衝RF功率波形、(b)將第一工作週期分成複數個相等的時間間隔、(c)對於每個RF產生器，確定對於所有間隔的頻率命令集合，並且將該頻率命令集合發送到RF產生器，其中該頻率命令集合包括對於在複數個相等的時間間隔中的每個間隔的頻率設定點、及(d)根據發送到每個RF產生器的頻率命令集合，在第一工作週期期間將複數個RF功率波形從複數個RF產生器提供到處理腔室。
简体摘要：本文提供了用于RF脉冲反射减少的方法和系统。在一些实施例中，一种方法包括：(a)接收用于处理基板的处理配方，该处理配方包括在第一工作周期期间的来自复数个RF产生器的复数个脉冲RF功率波形、(b)将第一工作周期分成复数个相等的时间间隔、(c)对于每个RF产生器，确定对于所有间隔的频率命令集合，并且将该频率命令集合发送到RF产生器，其中该频率命令集合包括对于在复数个相等的时间间隔中的每个间隔的频率设置点、及(d)根据发送到每个RF产生器的频率命令集合，在第一工作周期期间将复数个RF功率波形从复数个RF产生器提供到处理腔室。

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