会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 6. 发明专利
    • 光源系統
    • 光源系统
    • TW201431224A
    • 2014-08-01
    • TW102101875
    • 2013-01-18
    • 鴻海精密工業股份有限公司HON HAI PRECISION INDUSTRY CO., LTD.
    • 陳柏洲CHEN, PO CHOU
    • H01S3/101
    • G02B27/283
    • 本發明提供一種光源系統,其包括雙折射棱鏡、濾光片及第一、第二、第三鐳射源。雙折射棱鏡包括入光面及出光面,其具有從入光面延伸至出光面的快軸和慢軸。第一和第二鐳射源位於入光面一側。濾光片位於出光面一側。第三鐳射源位於與濾光片朝向出光面的一側相對的另一側。第一鐳射源發射出第一偏振方向的第一色光線,第二鐳射源發射出垂直於第一偏振方向的第二偏振方向的第二色光線。第一色光線經過慢軸和第二色光線經過快軸後相混合並沿垂直於出光面的方向射出。從雙折射棱鏡出射的光線和第三鐳射源射出的第三色光線經濾光片透射和反射後相混合。
    • 本发明提供一种光源系统,其包括双折射棱镜、滤光片及第一、第二、第三激光源。双折射棱镜包括入光面及出光面,其具有从入光面延伸至出光面的快轴和慢轴。第一和第二激光源位于入光面一侧。滤光片位于出光面一侧。第三激光源位于与滤光片朝向出光面的一侧相对的另一侧。第一激光源发射出第一偏振方向的第一色光线,第二激光源发射出垂直于第一偏振方向的第二偏振方向的第二色光线。第一色光线经过慢轴和第二色光线经过快轴后相混合并沿垂直于出光面的方向射出。从双折射棱镜出射的光线和第三激光源射出的第三色光线经滤光片透射和反射后相混合。
    • 8. 发明专利
    • 基於水平雷射照射的晶圓減薄設備及方法
    • 基于水平激光照射的晶圆减薄设备及方法
    • TW201824429A
    • 2018-07-01
    • TW106123084
    • 2017-07-10
    • 上海新昇半導體科技有限公司ZING SEMICONDUCTOR CORPORATION
    • 三重野文健MIENO, FUMITAKE
    • H01L21/67H01S3/101
    • 本發明提供一種基於水平雷射照射的晶圓減薄設備及方法,所述基於水平雷射照射的晶圓減薄設備包括:靜電吸盤,用於吸附待減薄晶圓;雷射發射裝置,位於靜電吸盤一側,且與所述靜電吸盤具有間距;所述雷射發射裝置用於發射水平雷射光束;透鏡位於所述靜電吸盤與所述雷射發射裝置之間,且與所述靜電吸盤及所述雷射發射裝置均具有間距;所述透鏡用於將所述雷射發射裝置發射的水平雷射光束水平會聚於所述待減薄晶圓的邊緣以對所述待減薄晶圓進行減薄。本發明的基於水平雷射照射的晶圓減薄設備透過使用雷射光束對待減薄晶圓進行減薄,操作簡單、減薄速度較快、耗時較短、效率更高,透過設置厚度偵測裝置及控制裝置可以更精確地控制減薄厚度。
    • 本发明提供一种基于水平激光照射的晶圆减薄设备及方法,所述基于水平激光照射的晶圆减薄设备包括:静电吸盘,用于吸附待减薄晶圆;激光发射设备,位于静电吸盘一侧,且与所述静电吸盘具有间距;所述激光发射设备用于发射水平激光光束;透镜位于所述静电吸盘与所述激光发射设备之间,且与所述静电吸盘及所述激光发射设备均具有间距;所述透镜用于将所述激光发射设备发射的水平激光光束水平会聚于所述待减薄晶圆的边缘以对所述待减薄晶圆进行减薄。本发明的基于水平激光照射的晶圆减薄设备透过使用激光光束对待减薄晶圆进行减薄,操作简单、减薄速度较快、耗时较短、效率更高,透过设置厚度侦测设备及控制设备可以更精确地控制减薄厚度。