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1. 发明专利

TW201544895A 基板處理方法、程式、電腦記憶媒體及基板處理系統审中-公开
简体标题：基板处理方法、进程、电脑记忆媒体及基板处理系统
公开(公告)号：TW201544895A
公开(公告)日：2015-12-01
申请号：TW104104813
申请日：2015-02-12
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：八重樫英民 , YAEGASHI, HIDETAMI
IPC分类号： G03B27/52 , G03D13/00 , G03F7/36
CPC分类号： G03D13/00 , G03F7/039 , G03F7/3021 , G03F7/405 , H01L21/67115 , H01L21/6715 , H01L21/67178
摘要：本發明不使抗蝕圖案之耐蝕刻性降低而改善該抗蝕圖案之線邊緣粗糙度。對晶圓進行光微影處理，而於該晶圓上形成抗蝕圖案402。對抗蝕圖案402照射紫外線，而將該抗蝕圖案402之支鏈切斷，並且改善抗蝕圖案402之線邊緣粗糙度。使處理劑進入至抗蝕圖案402，且使金屬404經由處理劑浸潤於該抗蝕圖案402。其後，將晶圓加熱而使處理劑自抗蝕圖案402揮發，從而形成硬化抗蝕圖案。
简体摘要：本发明不使抗蚀图案之耐蚀刻性降低而改善该抗蚀图案之线边缘粗糙度。对晶圆进行光微影处理，而于该晶圆上形成抗蚀图案402。对抗蚀图案402照射紫外线，而将该抗蚀图案402之支链切断，并且改善抗蚀图案402之线边缘粗糙度。使处理剂进入至抗蚀图案402，且使金属404经由处理剂浸润于该抗蚀图案402。其后，将晶圆加热而使处理剂自抗蚀图案402挥发，从而形成硬化抗蚀图案。

2. 发明专利

TWI627489B 基板處理方法、程式、電腦記憶媒體及基板處理系統有权
简体标题：基板处理方法、进程、电脑记忆媒体及基板处理系统
公开(公告)号：TWI627489B
公开(公告)日：2018-06-21
申请号：TW104104813
申请日：2015-02-12
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：八重樫英民 , YAEGASHI, HIDETAMI
IPC分类号： G03B27/52 , G03D13/00 , G03F7/36

3. 发明专利

TWI666690B 水平設置裝置及被設置物之水平設置方法有权
简体标题：水平设置设备及被设置物之水平设置方法
公开(公告)号：TWI666690B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW105132287
申请日：2016-10-06
申请人：日商東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：園田主稅 , SONODA, CHIKARA , 赤田光 , AKADA, HIKARU , 長谷部和久 , HASEBE, KAZUHISA , 宇都宮由典 , UTSUNOMIYA, YOSHINORI
IPC分类号： H01L21/08 , H01L21/027 , G03F7/32 , G03F7/004 , G03D13/00 , B05D3/00 , G01C9/00

4. 发明专利

TW201725608A 水平設置裝置及被設置物之水平設置方法审中-公开
简体标题：水平设置设备及被设置物之水平设置方法
公开(公告)号：TW201725608A
公开(公告)日：2017-07-16
申请号：TW105132287
申请日：2016-10-06
申请人：東京威力科創股份有限公司 , TOKYO ELECTRON LIMITED
发明人：園田主稅 , SONODA, CHIKARA , 赤田光 , AKADA, HIKARU , 長谷部和久 , HASEBE, KAZUHISA , 宇都宮由典 , UTSUNOMIYA, YOSHINORI
IPC分类号： H01L21/08 , H01L21/027 , G03F7/32 , G03F7/004 , G03D13/00 , B05D3/00 , G01C9/00
摘要：本發明之課題，係縮短將被設置物水平地設置於承載面所需之作業時間。為解決課題而提出之水平設置裝置8，係用以將被設置物D1，以設置於下部的複數之高度調整機構31加以調整，而水平地設置於承載面；該水平設置裝置8包括：水準計測器41，分別設置於該被設置物D1的複數之測定處所；運算部91，基於各水準計測器41的測定值以及適當水準範圍，運算至少一個高度調整機構31的調整量，以使各水準計測器41的測定值之中，偏離適當水準範圍之測定值達到該適當水準範圍；以及對應處置部81，基於所運算出之該調整量，進行對應處置動作，以使該被設置物水平地設置於承載面。藉此而可減輕操作者之負擔、縮短作業時間。
简体摘要：本发明之课题，系缩短将被设置物水平地设置于承载面所需之作业时间。为解决课题而提出之水平设置设备8，系用以将被设置物D1，以设置于下部的复数之高度调整机构31加以调整，而水平地设置于承载面；该水平设置设备8包括：水准计测器41，分别设置于该被设置物D1的复数之测定处所；运算部91，基于各水准计测器41的测定值以及适当水准范围，运算至少一个高度调整机构31的调整量，以使各水准计测器41的测定值之中，偏离适当水准范围之测定值达到该适当水准范围；以及对应处置部81，基于所运算出之该调整量，进行对应处置动作，以使该被设置物水平地设置于承载面。借此而可减轻操作者之负担、缩短作业时间。

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