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    • 8. 发明专利
    • 晶圓殘膠清潔方法及裝置
    • 晶圆残胶清洁方法及设备
    • TW201739524A
    • 2017-11-16
    • TW105114522
    • 2016-05-11
    • 萬潤科技股份有限公司ALL RING TECH CO.,LTD.
    • 鄭偉呈許耀廷薛全萌
    • B08B1/00B08B11/00H01L21/67G01N21/94
    • 本發明提供一種晶圓殘膠清潔方法及裝置,包括:一機台上設有一移載區間;一龍門軌架將機台分隔出一第一工作區以及一第二工作區;一檢測機構,設於該龍門軌架一側;一取放機構,設於機台該第一工作區,包括相隔間距設置的二夾座;一載台,可受驅動而位移於第一工作區、第二工作區間,並自取放機構承接待施作工件或將待施作工件交付取放機構;一擦拭機構,設於該龍門軌架另一側,設有一壓抵座架及一拭材組件;該壓抵座架設有一第一壓抵組件,該拭材組件提供一拭材繞經其上;該第一壓抵組件可受驅動壓抵拭材對載台上的待施作工件進行殘膠清潔。
    • 本发明提供一种晶圆残胶清洁方法及设备,包括:一机台上设有一移载区间;一龙门轨架将机台分隔出一第一工作区以及一第二工作区;一检测机构,设于该龙门轨架一侧;一取放机构,设于机台该第一工作区,包括相隔间距设置的二夹座;一载台,可受驱动而位移于第一工作区、第二工作区间,并自取放机构承接待施作工件或将待施作工件交付取放机构;一擦拭机构,设于该龙门轨架另一侧,设有一压抵座架及一拭材组件;该压抵座架设有一第一压抵组件,该拭材组件提供一拭材绕经其上;该第一压抵组件可受驱动压抵拭材对载台上的待施作工件进行残胶清洁。