会员体验
专利管家(专利管理)
工作空间(专利管理)
风险监控(情报监控)
数据分析(专利分析)
侵权分析(诉讼无效)
联系我们
交流群
官方交流:
QQ群: 891211   
微信请扫码    >>>
现在联系顾问~
热词
    • 2. 发明专利
    • 處理液過濾裝置、藥液供給裝置及處理液過濾方法和記憶媒體
    • 处理液过滤设备、药液供给设备及处理液过滤方法和记忆媒体
    • TW201641150A
    • 2016-12-01
    • TW104144257
    • 2015-12-29
    • 東京威力科創股份有限公司TOKYO ELECTRON LIMITED
    • 大幸信OTSUKA, YUKINOBU
    • B01D29/60B01D29/90B05C11/10H01L21/027
    • 在過濾藥液供給裝置所使用的處理液時,可實現作業時間之縮短化,該藥液供給裝置,係從藥液供給源經由藥液流路及噴嘴,對被處理體供給藥液。 藥液供給裝置,係具備有各別儲存有處理液的第1密閉容器(31)及第2密閉容器(32),在從第1及第2密閉容器(31、32)之一方對另一方輸送處理液的流路中,設置有過濾部(4)。由於在從第1及第2密閉容器(31、32)之一方對另一方輸送處理液時,處理液會通過過濾部(4),因此,處理液中的異物會被予以去除。又,由於第1及第2密閉容器(31、32)間之處理液的輸送,係藉由對移動目的地之密閉容器進行減壓的方式進行,因此,相較於使用泵來輸送處理液的情形,處理液之每單位時間的移動量更多,從而縮短處理液之過濾處理所需的作業時間。
    • 在过滤药液供给设备所使用的处理液时,可实现作业时间之缩短化,该药液供给设备,系从药液供给源经由药液流路及喷嘴,对被处理体供给药液。 药液供给设备,系具备有各别存储有处理液的第1密闭容器(31)及第2密闭容器(32),在从第1及第2密闭容器(31、32)之一方对另一方输送处理液的流路中,设置有过滤部(4)。由于在从第1及第2密闭容器(31、32)之一方对另一方输送处理液时,处理液会通过过滤部(4),因此,处理液中的异物会被予以去除。又,由于第1及第2密闭容器(31、32)间之处理液的输送,系借由对移动目的地之密闭容器进行减压的方式进行,因此,相较于使用泵来输送处理液的情形,处理液之每单位时间的移动量更多,从而缩短处理液之过滤处理所需的作业时间。