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    • 4. 发明专利
    • 被加工物之分割方法
    • TW201403693A
    • 2014-01-16
    • TW102111888
    • 2013-04-02
    • 迪思科股份有限公司DISCO CORPORATION
    • 熊澤哲KUMAZAWA, SATOSHI
    • H01L21/301
    • B26D9/00B23K26/0093B23K26/364B23K26/40B23K26/60B23K2203/50H01L33/0095Y10T83/0215
    • 本發明之課題在於提供一種可減低分割被加工物之加工寬度的被加工物之分割方法。本發明之被加工物之分割方法,是將板狀之被加工物分割成各個晶片之方法,並包含有:被加工物準備步驟,準備至少一面形成為毛面的板狀被加工物;保持步驟,使被加工物之毛面露出,以夾盤台之保持面來保持該被加工物;切削溝形成步驟,從夾盤台所保持之被加工物的毛面側,藉由切削刀進行切削,留下殘存部而形成切削溝;及雷射切斷步驟,沿著切削溝,對被加工物照射雷射光線,切斷殘存部者,又,藉由毛面來抑制因切削刀之切削所產生的被加工物表面之碎裂,在雷射切斷步驟所產生的殘材會被收容於切削溝內,而抑制其露出被加工物的表面。
    • 本发明之课题在于提供一种可减低分割被加工物之加工宽度的被加工物之分割方法。本发明之被加工物之分割方法,是将板状之被加工物分割成各个芯片之方法,并包含有:被加工物准备步骤,准备至少一面形成为毛面的板状被加工物;保持步骤,使被加工物之毛面露出,以夹盘台之保持面来保持该被加工物;切削沟形成步骤,从夹盘台所保持之被加工物的毛面侧,借由切削刀进行切削,留下残存部而形成切削沟;及激光切断步骤,沿着切削沟,对被加工物照射激光光线,切断残存部者,又,借由毛面来抑制因切削刀之切削所产生的被加工物表面之碎裂,在激光切断步骤所产生的残材会被收容于切削沟内,而抑制其露出被加工物的表面。