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    • 9. 发明专利
    • 多層基板的製造方法、去膠渣處理方法 METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER SUBSTRATE, DESMEAR TREATMENT METHOD
    • 多层基板的制造方法、去胶渣处理方法 METHOD FOR MANUFACTURING MULTILAYER SUBSTRATE, DESMEAR TREATMENT METHOD
    • TW201247073A
    • 2012-11-16
    • TW101102892
    • 2012-01-30
    • 富士軟片股份有限公司
    • 植木志貴濱威史加納丈嘉
    • H05K
    • H05K3/4685H05K3/108H05K3/421H05K3/423H05K3/4652Y10T29/49128Y10T29/49147Y10T29/49155Y10T29/49165
    • 一種所形成的金屬層的密接性及圖案的高精細性佳,且經由孔的金屬層間的連接可靠性高、良率佳的多層基板的製造方法,包括:基材預處理步驟,其按不同順序進行孔形成步驟及金屬附著步驟的2個步驟,其中孔形成步驟是對至少具有絕緣層與第1金屬層的核心基材實施開孔加工,以在絕緣層中設置從絕緣層的另一面到第1金屬層的孔,金屬附著步驟則是在絕緣層的另一面附著特定的金屬或金屬離子;基材預處理步驟後的去膠渣步驟,以電漿蝕刻作去膠渣處理;去膠渣步驟後的清洗步驟,使用酸性溶液清洗核心基材;鍍敷步驟,其對絕緣層供給鍍敷觸媒或其前驅物,並進行鍍敷處理,以在絕緣層上形成經由孔與第1金屬層導通的第2金屬層。
    • 一种所形成的金属层的密接性及图案的高精细性佳,且经由孔的金属层间的连接可靠性高、良率佳的多层基板的制造方法,包括:基材预处理步骤,其按不同顺序进行孔形成步骤及金属附着步骤的2个步骤,其中孔形成步骤是对至少具有绝缘层与第1金属层的内核基材实施开孔加工,以在绝缘层中设置从绝缘层的另一面到第1金属层的孔,金属附着步骤则是在绝缘层的另一面附着特定的金属或金属离子;基材预处理步骤后的去胶渣步骤,以等离子蚀刻作去胶渣处理;去胶渣步骤后的清洗步骤,使用酸性溶液清洗内核基材;镀敷步骤,其对绝缘层供给镀敷触媒或其前驱物,并进行镀敷处理,以在绝缘层上形成经由孔与第1金属层导通的第2金属层。