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热词
    • 1. 发明专利
    • 接合裝置
    • 接合设备
    • TW201523758A
    • 2015-06-16
    • TW103132822
    • 2014-09-23
    • 澁谷工業股份有限公司SHIBUYA KOGYO CO., LTD.
    • 安吉裕之YASUYOSHI, HIROYUKI田中榮次TANAKA, EIJI
    • H01L21/60B23K26/20
    • H01L24/75B23K3/02B23K26/06B23K2201/36B29C65/1664H01L24/16H01L24/81H01L2224/16225H01L2224/75263H01L2224/78745H01L2224/81224H01L2924/00014H01L2924/4035H01L2224/13099
    • 本發明提供一種接合裝置1,具備複數個雷射振盪器7、以及雷射光入射口與複數個雷射振盪器中之任一連接的作為複數個導光手段之光纖f1~f36。各光纖之雷射光射出口與電子零件3之加熱區域S光學性地對向,上述加熱區域S至少區隔為成為電子零件的角部之角部區域S1、以及成為內側之內側區域S2。而後將雷射光射出口與角部區域對應之雷射振盪器,設定為雷射輸出較雷射光射出口與內側區域對應之雷射振盪器更高,進一步在上述複數個加熱區域S1與S2之間形成作為絕熱手段的絕熱溝41,抑制各區域間的傳熱。 本發明例如在四角形之電子零件可將熱能容易溢散之4處的角部區域S1對內側區域S2絕熱,並以高雷射輸出加熱,故可將全體均一地加熱。
    • 本发明提供一种接合设备1,具备复数个激光振荡器7、以及激光光入射口与复数个激光振荡器中之任一连接的作为复数个导光手段之光纤f1~f36。各光纤之激光光射出口与电子零件3之加热区域S光学性地对向,上述加热区域S至少区隔为成为电子零件的角部之角部区域S1、以及成为内侧之内侧区域S2。而后将激光光射出口与角部区域对应之激光振荡器,设置为激光输出较激光光射出口与内侧区域对应之激光振荡器更高,进一步在上述复数个加热区域S1与S2之间形成作为绝热手段的绝热沟41,抑制各区域间的传热。 本发明例如在四角形之电子零件可将热能容易溢散之4处的角部区域S1对内侧区域S2绝热,并以高激光输出加热,故可将全体均一地加热。