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1. 发明专利

TWI564502B 集成型氣體供應裝置有权
简体标题：集成型气体供应设备
公开(公告)号：TWI564502B
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW102138680
申请日：2013-10-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：小艾睦典 , KOYOMOGI, MUTSUNORI , 廣瀨隆 , HIROSE, TAKASHI , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO
IPC分类号： F17D1/20 , F17D3/01
CPC分类号： G05D7/00 , F15B13/044 , F16K27/003 , G05D7/0652 , G05D7/0682 , Y10T137/87249 , Y10T137/87885

2. 发明专利

TW201432403A 線路控制裝置、其控制方法及程式审中-公开
简体标题：线路控制设备、其控制方法及进程
公开(公告)号：TW201432403A
公开(公告)日：2014-08-16
申请号：TW102140086
申请日：2013-11-05
申请人：歐姆龍股份有限公司 , OMRON CORPORATION
发明人：高市隆一郎 , TAKAICHI, RYUICHIRO , 山田照樹 , YAMADA, TERUKI
IPC分类号： G05D16/20 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0682 , G05D16/2073
摘要： [課題]減低系統中之能源消耗量，該系統為利用消耗能源而被製造的流體者。[解決手段]於控制將流體的供給源與設備加以連接之供給線路的開閉程度之線路控制裝置中，記憶手段，係將界定設備的運轉狀態及非運轉狀態之資訊予以記憶；取得手段，係取得供給線路之內壓；控制手段，係將供給線路之內壓維持於設備的容許範圍內之值之所謂特定壓力以上之同時，使非運轉狀態中的供給線路之開度，降低至低於運轉狀態中之開度。
简体摘要： [课题]减低系统中之能源消耗量，该系统为利用消耗能源而被制造的流体者。[解决手段]于控制将流体的供给源与设备加以连接之供给线路的开闭程度之线路控制设备中，记忆手段，系将界定设备的运转状态及非运转状态之信息予以记忆；取得手段，系取得供给线路之内压；控制手段，系将供给线路之内压维持于设备的容许范围内之值之所谓特定压力以上之同时，使非运转状态中的供给线路之开度，降低至低于运转状态中之开度。

3. 发明专利

TW201433733A 集成型氣體供應裝置审中-公开
简体标题：集成型气体供应设备
公开(公告)号：TW201433733A
公开(公告)日：2014-09-01
申请号：TW102138680
申请日：2013-10-25
申请人：富士金股份有限公司 , FUJIKIN INCORPORATED
发明人：小艾睦典 , KOYOMOGI, MUTSUNORI , 廣瀨隆 , HIROSE, TAKASHI , 山路道雄 , YAMAJI, MICHIO , 松田隆博 , MATSUDA, TAKAHIRO
IPC分类号： F17D1/20 , F17D3/01
CPC分类号： G05D7/00 , F15B13/044 , F16K27/003 , G05D7/0652 , G05D7/0682 , Y10T137/87249 , Y10T137/87885
摘要：本發明為謀求半導體製造裝置用集成型氣體供應裝置之氣體供應管路的增加和裝置的小型化及裝置內部之氣體流路內容積的減少，並在謀求提高裝置之氣體置換性的同時，使設置空間削減及各機器類的維修保養容易化。從平面看在隔著間隔並置的氣體入口側塊(12)及氣體出口側塊(13)，以相向狀態組合固定已設有複數流量控制部的2台流量控制器(3)，並且於各流量控制器(3)設有入口開關閥(1)及出口開關閥(5)，藉此形成至少具備有四個氣體供應管路(S)的氣體供應單元(U)，且將該氣體供應單元(U)複數座堆疊固定。
简体摘要：本发明为谋求半导体制造设备用集成型气体供应设备之气体供应管路的增加和设备的小型化及设备内部之气体流路内容积的减少，并在谋求提高设备之气体置换性的同时，使设置空间削减及各机器类的维修保养容易化。从平面看在隔着间隔并置的气体入口侧块(12)及气体出口侧块(13)，以相向状态组合固定已设有复数流量控制部的2台流量控制器(3)，并且于各流量控制器(3)设有入口开关阀(1)及出口开关阀(5)，借此形成至少具备有四个气体供应管路(S)的气体供应单元(U)，且将该气体供应单元(U)复数座堆栈固定。

4. 发明专利

TW201636753A 用來設定可預先決定的體積流的流量調節器及方法审中-公开
简体标题：用来设置可预先决定的体积流的流量调节器及方法
公开(公告)号：TW201636753A
公开(公告)日：2016-10-16
申请号：TW104141535
申请日：2015-12-10
申请人：力威磁浮技術有限公司 , LEVITRONIX GMBH
发明人：史達克力賽門 , STOCKLI, SIMON , 卡拉安德利亞 , KALAPOS, ANDREAS , 珊特納派翠克 , ZENTNER, PATRICK , 柏卡特喬格 , BURKART, JURG
IPC分类号： G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0635 , F04B49/065 , G05D7/0676 , G05D7/0682
摘要：本發明係關於一種用來設定一流體(F)之可預先決定的體積流(VS)的流量調節器(1)，其包含一第一感測器(SF1，SP1)，用來決定該流體(F)的一第一流動參數(KF1，KP1)的第一實際數值(IW1)、一預壓力調節器(pre-pressure regulator)(2)，用來設定在該預壓力調節器(2)的一預壓力出口(22)處的一可預先決定的預壓力(PV)、以及一迴轉泵形式的調節泵(3)。就此而言，該流體(F)可在設備壓力(PA)的操作狀態下經由一流入管線(20)及一預壓力入口(21)而被引導至該預壓力調節器(2)且可在該預壓力(PV)下經由一設置在該預壓力出口(22)和該調節泵(3)之間的流動連接管線(4)而被進一步引導至該調節泵(3)。它的特徵在於，該預壓力出口(22)以流動連通的方式經由該流動連接管線(4)被連接至該調節泵(3)的一高壓連接管線(31)，該連接的方式讓該流體(F)可從該預壓力調節器(2)被供應至該調節泵(3)而且可再被引導離開該調節泵(3)經由一低壓連接管線(32)進入一流出管線(5)，其中該調節泵(3)的轉速可在使用一取決於該第一流動參數(KF1，KP1)的該第一實際數值(IW1)的第一所想要的數值(SW1)之下以一種一抵抗該預壓力(PV)的限制壓力(PB)可被該調節泵(3)產生的方式用一調節控制器(6)來加以設定，該設定的方式讓該流體(F)的該可預先決定的體積流(VS)可被設定於該流出管線(5)內。此外，本發明亦關於一種設定一可預先決定的體積流(VS)的方法。
简体摘要：本发明系关于一种用来设置一流体(F)之可预先决定的体积流(VS)的流量调节器(1)，其包含一第一传感器(SF1，SP1)，用来决定该流体(F)的一第一流动参数(KF1，KP1)的第一实际数值(IW1)、一预压力调节器(pre-pressure regulator)(2)，用来设置在该预压力调节器(2)的一预压力出口(22)处的一可预先决定的预压力(PV)、以及一掉头泵形式的调节泵(3)。就此而言，该流体(F)可在设备压力(PA)的操作状态下经由一流入管线(20)及一预压力入口(21)而被引导至该预压力调节器(2)且可在该预压力(PV)下经由一设置在该预压力出口(22)和该调节泵(3)之间的流动连接管线(4)而被进一步引导至该调节泵(3)。它的特征在于，该预压力出口(22)以流动连通的方式经由该流动连接管线(4)被连接至该调节泵(3)的一高压连接管线(31)，该连接的方式让该流体(F)可从该预压力调节器(2)被供应至该调节泵(3)而且可再被引导离开该调节泵(3)经由一低压连接管线(32)进入一流出管线(5)，其中该调节泵(3)的转速可在使用一取决于该第一流动参数(KF1，KP1)的该第一实际数值(IW1)的第一所想要的数值(SW1)之下以一种一抵抗该预压力(PV)的限制压力(PB)可被该调节泵(3)产生的方式用一调节控制器(6)来加以设置，该设置的方式让该流体(F)的该可预先决定的体积流(VS)可被设置于该流出管线(5)内。此外，本发明亦关于一种设置一可预先决定的体积流(VS)的方法。

5. 发明专利

TWI486735B 線路控制裝置、其控制方法及程式有权
简体标题：线路控制设备、其控制方法及进程
公开(公告)号：TWI486735B
公开(公告)日：2015-06-01
申请号：TW102140086
申请日：2013-11-05
申请人：歐姆龍股份有限公司 , OMRON CORPORATION
发明人：高市隆一郎 , TAKAICHI, RYUICHIRO , 山田照樹 , YAMADA, TERUKI
IPC分类号： G05D16/20 , G05D7/06
CPC分类号： G05D7/0682 , G05D16/2073

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