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    • 1. 发明专利
    • 晶圓厚度量測裝置
    • 晶圆厚度量测设备
    • TW359746B
    • 1999-06-01
    • TW087116584
    • 1998-10-07
    • 台灣茂矽電子股份有限公司
    • 蔡東泰
    • G01B
    • G01B5/06
    • 本發明係有關於一種晶圓厚度量測裝置,該晶圓厚度量測裝置係設於晶背研磨機之冷卻水導管下方,包括一量測箱、一量測桿、L形連桿以及一彈性元件,該量測箱內部設有一訊號感應器用以量測晶圓之厚度;其中量測桿之兩端係分別與訊號感應器和L形連桿相連接,又該L形連桿上更設有一探針;該彈性元件係設於L形連桿和冷卻水導管之間,在量測晶圓厚度時,L形連桿之探針必須先上升使晶圓置於探針下方,再利用彈性元件之回復力使探針下壓接觸晶圓以進行晶圓量測,因此彈性元件很容易發生疲乏或斷裂時,本發明之晶圓厚度量測裝置可直接更換彈性元件不必將量測箱打開,因此可以節省時間和維修成本。
    • 本发明系有关于一种晶圆厚度量测设备,该晶圆厚度量测设备系设于晶背研磨机之冷却水导管下方,包括一量测箱、一量测杆、L形连杆以及一弹性组件,该量测箱内部设有一信号感应器用以量测晶圆之厚度;其中量测杆之两端系分别与信号感应器和L形连杆相连接,又该L形连杆上更设有一探针;该弹性组件系设于L形连杆和冷却水导管之间,在量测晶圆厚度时,L形连杆之探针必须先上升使晶圆置于探针下方,再利用弹性组件之回复力使探针下压接触晶圆以进行晶圆量测,因此弹性组件很容易发生疲乏或断裂时,本发明之晶圆厚度量测设备可直接更换弹性组件不必将量测箱打开,因此可以节省时间和维修成本。