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1. 发明专利

TWI320402B 用於供給高純度流體之系統與方法 METHOD AND SYSTEM FOR SUPPLYING HIGH PURITY FLUID 失效
简体标题：用于供给高纯度流体之系统与方法 METHOD AND SYSTEM FOR SUPPLYING HIGH PURITY FLUID
公开(公告)号：TWI320402B
公开(公告)日：2010-02-11
申请号：TW092136681
申请日：2003-12-24
申请人：曼瑟森三汽油公司
发明人：塔達哈魯瓦塔納比 , 約瑟夫維尼斯奇 , 小羅勃特托瑞斯
IPC分类号： C02F , B01J , B01D
CPC分类号： F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要：一種流體純化裝置，其包括有：一個包括一個第一分支與一個第二分支之歧管、一個連接到該歧管之第一分支的第一止回閥件(check valve)、以及一個包括第一端部與第二端部之純化器單元，其中，該第一端部被耦合到該歧管的第二分支。此外，一種流體純化裝置，其包括有：一個容器與一個可破裂式密封件，該容器包括一個第一內部隔室與一個第二內部隔室，該第一內部隔室用於容納一種純化器材料，而該第二內部隔室用於容納一種含有雜質的流體，其中，該第一內部隔室藉由一個流體可滲透性支撐件以及一個可破裂式密封件而與該第二內部隔室相隔離。 A fluid purifying apparatus that includes a manifold that includes a first branch and a second branch, a first check valve coupled to the first branch of the manifold, and a purifier unit that includes a first end and a second end, wherein the first end is coupled to the second branch of the manifold. Also, a fluid purifying apparatus that includes a vessel that includes a first interior compartment for containing a purifier material and a second interior compartment for containment of a fluid containing impurities, wherein the first interior compartment is separated from the second interior compartment by a fluid permeable support, and a rupturable seal. 【創作特點】本發明的一個實施例包括有：一個流體純化裝置，該流體純化裝置包含一個容器，其中，該容器包含一個第一內部隔室與一個第二內部隔室，該第一內部隔室用於容納一種純化器材料，而該第二內部隔室用於容納含有雜質的流體，其中，該第一內部隔室藉由一個流體可滲透性支撐件與該第二內部隔室相隔離。在另一個實施例中，一個薄膜被提供在該流體與該流體可滲透性支撐件之間，其中，該薄膜防止該流體接觸該純化器直到該薄膜破損為止。
本發明的另一個實施例包括有：一種流體純化裝置，其中，該流體純化裝置包含一個第一容器、一個第二容器以及一個密封構件，該第一容器包括一個第一配件與一個純化器材料，該第二容器包括一個第二配件與預定被純化的流體，而當該第一容器被耦合到該第二容器時，該密封構件被配置在該第一配件與該第二配件之間，其中，該密封構件包括有：一個內部薄膜，該內部薄膜將該預定被純化的流體與該純化器材料隔離，一直到該內部薄膜破損為止。
本發明的另一個實施例包括有：一種流體純化裝置，該流體純化裝置包括一個歧管、一個第一止回閥件以及一個純化器單元，其中，該歧管包括有：一個第一分支與一個第二分支，該第一止回閥件被耦合到該歧管的第一分支，而該純化器單元包括一個第一端部與一個第二端部，其中，該第一端部被耦合到該歧管的第二分支。
本發明的另一個實施例包括有：一種流體純化裝置，該流體純化裝置包含一個流體容器，其中，該流體容器包括有：一個容器閥件、一個純化器單元以及一個溫度控制裝置，該純化器單元被定位在該流體容器之外，其中，該純化器單元包括有：一個第一開口與一個第二開口，該第一開口被耦合到該容器閥件，該第二開口被耦合到一個純化的流體之使用點處，而該溫度控制裝置熱耦合到該流體容器與該純化器單元。
本發明的另一個實施例包括有：一種純化流體的方法，其包括提供一個容器，該容器包括一個第一內部隔室與一個第二內部隔室，其中，該第一內部隔室藉由一個流體滲透性支撐件而與該第二內部隔室隔開；提供一個在該第一內部隔室中之純化器以及在該第二內部隔室中之流體；打破一個妨止該流體與該純化器接觸之薄膜；以及，將該流體流動通過該流體滲透性支撐件與該純化器，用以從該流體中除去雜質。
額外新穎的特徵將被部份揭示在後述的說明中，並且在某種程度上對熟此技藝之人士而言當檢視下列說明書將變得顯明，或藉由本發明的實施而可以獲得教示。本發明的特徵與優點可以藉由申請專利範圍中所特別指出的手段、結合與方法而被瞭解與獲得。
简体摘要：一种流体纯化设备，其包括有：一个包括一个第一分支与一个第二分支之歧管、一个连接到该歧管之第一分支的第一止回阀件(check valve)、以及一个包括第一端部与第二端部之纯化器单元，其中，该第一端部被耦合到该歧管的第二分支。此外，一种流体纯化设备，其包括有：一个容器与一个可破裂式密封件，该容器包括一个第一内部隔室与一个第二内部隔室，该第一内部隔室用于容纳一种纯化器材料，而该第二内部隔室用于容纳一种含有杂质的流体，其中，该第一内部隔室借由一个流体可渗透性支撑件以及一个可破裂式密封件而与该第二内部隔室相隔离。 A fluid purifying apparatus that includes a manifold that includes a first branch and a second branch, a first check valve coupled to the first branch of the manifold, and a purifier unit that includes a first end and a second end, wherein the first end is coupled to the second branch of the manifold. Also, a fluid purifying apparatus that includes a vessel that includes a first interior compartment for containing a purifier material and a second interior compartment for containment of a fluid containing impurities, wherein the first interior compartment is separated from the second interior compartment by a fluid permeable support, and a rupturable seal. 【创作特点】本发明的一个实施例包括有：一个流体纯化设备，该流体纯化设备包含一个容器，其中，该容器包含一个第一内部隔室与一个第二内部隔室，该第一内部隔室用于容纳一种纯化器材料，而该第二内部隔室用于容纳含有杂质的流体，其中，该第一内部隔室借由一个流体可渗透性支撑件与该第二内部隔室相隔离。在另一个实施例中，一个薄膜被提供在该流体与该流体可渗透性支撑件之间，其中，该薄膜防止该流体接触该纯化器直到该薄膜破损为止。本发明的另一个实施例包括有：一种流体纯化设备，其中，该流体纯化设备包含一个第一容器、一个第二容器以及一个密封构件，该第一容器包括一个第一配件与一个纯化器材料，该第二容器包括一个第二配件与预定被纯化的流体，而当该第一容器被耦合到该第二容器时，该密封构件被配置在该第一配件与该第二配件之间，其中，该密封构件包括有：一个内部薄膜，该内部薄膜将该预定被纯化的流体与该纯化器材料隔离，一直到该内部薄膜破损为止。本发明的另一个实施例包括有：一种流体纯化设备，该流体纯化设备包括一个歧管、一个第一止回阀件以及一个纯化器单元，其中，该歧管包括有：一个第一分支与一个第二分支，该第一止回阀件被耦合到该歧管的第一分支，而该纯化器单元包括一个第一端部与一个第二端部，其中，该第一端部被耦合到该歧管的第二分支。本发明的另一个实施例包括有：一种流体纯化设备，该流体纯化设备包含一个流体容器，其中，该流体容器包括有：一个容器阀件、一个纯化器单元以及一个温度控制设备，该纯化器单元被定位在该流体容器之外，其中，该纯化器单元包括有：一个第一开口与一个第二开口，该第一开口被耦合到该容器阀件，该第二开口被耦合到一个纯化的流体之使用点处，而该温度控制设备热耦合到该流体容器与该纯化器单元。本发明的另一个实施例包括有：一种纯化流体的方法，其包括提供一个容器，该容器包括一个第一内部隔室与一个第二内部隔室，其中，该第一内部隔室借由一个流体渗透性支撑件而与该第二内部隔室隔开；提供一个在该第一内部隔室中之纯化器以及在该第二内部隔室中之流体；打破一个妨止该流体与该纯化器接触之薄膜；以及，将该流体流动通过该流体渗透性支撑件与该纯化器，用以从该流体中除去杂质。额外新颖的特征将被部份揭示在后述的说明中，并且在某种程度上对熟此技艺之人士而言当视图下列说明书将变得显明，或借由本发明的实施而可以获得教示。本发明的特征与优点可以借由申请专利范围中所特别指出的手段、结合与方法而被了解与获得。

2. 发明专利

TW200716903A 用以檢測氣體容器之方法與裝置 METHOD AND APPARATUS FOR TESTING A GAS CAPSULE 审中-公开
简体标题：用以检测气体容器之方法与设备 METHOD AND APPARATUS FOR TESTING A GAS CAPSULE
公开(公告)号：TW200716903A
公开(公告)日：2007-05-01
申请号：TW095130924
申请日：2006-08-23
申请人： BOC集團公司 THE BOC GROUP PLC
发明人：彼得里歐波提姆曼 TIMMERMANS, PIETER LEOPOLD
IPC分类号： F17C
CPC分类号： F17C5/00 , F17C2223/0123 , F17C2227/04 , F17C2250/043 , F17C2250/0621 , F17C2250/0626 , F17C2260/021 , F17C2260/036 , F17C2270/02 , F17C2270/05 , F17C2270/0736
摘要：本發明提出一種判斷一容器內之一壓力是否處於或高於一預定値的方法。該受測容器是具有一可動密封元件的類型,該可動密封元件當作一臨時密封以防氣體從該容器之一口部漏洩。將該容器連接到一充氣室,然後升高該充氣室的壓力。當該容器曝露於此升增壓力時,該充氣室內之壓力受監測。由該被監測壓力可判斷該密封元件是否在該升增壓力下與該容器處於密封接觸狀態。這隨後指出該容器內之壓力是否處於或高於該預定値。
简体摘要：本发明提出一种判断一容器内之一压力是否处于或高于一预定値的方法。该受测容器是具有一可动密封组件的类型,该可动密封组件当作一临时密封以防气体从该容器之一口部漏泄。将该容器连接到一充气室,然后升高该充气室的压力。当该容器曝露于此升增压力时,该充气室内之压力受监测。由该被监测压力可判断该密封组件是否在该升增压力下与该容器处于密封接触状态。这随后指出该容器内之压力是否处于或高于该预定値。

3. 发明专利

TW200422265A 用於供給高純度流體之系統與方法 METHOD AND SYSTEM FOR SUPPLYING HIGH PURITY FLUID 失效
简体标题：用于供给高纯度流体之系统与方法 METHOD AND SYSTEM FOR SUPPLYING HIGH PURITY FLUID
公开(公告)号：TW200422265A
公开(公告)日：2004-11-01
申请号：TW092136681
申请日：2003-12-24
申请人：曼瑟森三汽油公司 MATHESON TRI-GAS, INC.
发明人：塔達哈魯瓦塔納比 WATANABE, TADAHARU , 約瑟夫維尼斯奇 VININSKI, JOSEPH , 小羅勃特托瑞斯 TORRES JR., ROBERT
IPC分类号： C02F
CPC分类号： F17C9/00 , B01D53/02 , B01J4/04 , C23C16/4402 , F17C5/00 , F17C6/00 , F17C7/00 , F17C13/026 , F17C2201/0104 , F17C2201/032 , F17C2203/0617 , F17C2205/0149 , F17C2205/0314 , F17C2205/0317 , F17C2205/0323 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2221/05 , F17C2250/0631 , F17C2265/012 , Y02E60/321
摘要：一種流體純化裝置，其包括有：一個包括一個第一分支與一個第二分支之歧管、一個連接到該歧管之第一分支的第一止回閥件(check valve)、以及一個包括第一端部與第二端部之純化器單元，其中，該第一端部被耦合到該歧管的第二分支。此外，一種流體純化裝置，其包括有：一個容器與一個可破裂式密封件，該容器包括一個第一內部隔室與一個第二內部隔室，該第一內部隔室用於容納一種純化器材料，而該第二內部隔室用於容納一種含有雜質的流體，其中，該第一內部隔室藉由一個流體可滲透性支撐件以及一個可破裂式密封件而與該第二內部隔室相隔離。
简体摘要：一种流体纯化设备，其包括有：一个包括一个第一分支与一个第二分支之歧管、一个连接到该歧管之第一分支的第一止回阀件(check valve)、以及一个包括第一端部与第二端部之纯化器单元，其中，该第一端部被耦合到该歧管的第二分支。此外，一种流体纯化设备，其包括有：一个容器与一个可破裂式密封件，该容器包括一个第一内部隔室与一个第二内部隔室，该第一内部隔室用于容纳一种纯化器材料，而该第二内部隔室用于容纳一种含有杂质的流体，其中，该第一内部隔室借由一个流体可渗透性支撑件以及一个可破裂式密封件而与该第二内部隔室相隔离。

4. 发明专利

TWI611492B 氣體注入裝置及輔助構件有权
简体标题：气体注入设备及辅助构件
公开(公告)号：TWI611492B
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：TW104101968
申请日：2015-01-21
申请人：村田機械股份有限公司 , MURATA MACHINERY, LTD.
发明人：村田正直 , MURATA, MASANAO , 山路孝 , YAMAJI, TAKASHI
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/30
CPC分类号： H01L21/67389 , F17C5/00 , F17C2205/0335 , F17C2221/00 , F17C2270/0518 , H01L21/67393 , H01L21/67745

5. 发明专利

TW201716316A 儲氫組成物及其儲氫容器之製造方法审中-公开
简体标题：储氢组成物及其储氢容器之制造方法
公开(公告)号：TW201716316A
公开(公告)日：2017-05-16
申请号：TW105134218
申请日：2016-10-21
申请人：亞太燃料電池科技股份有限公司 , ASIA PACIFIC FUEL CELL TECHNOLOGIES. LTD.
发明人：楊源生 , YANG, YS JEFFERSON , 鄭至凱 , CHENG, CHI KAI , 魏吳耀 , WEI, WU YAO
IPC分类号： C01B3/00 , B01D53/04 , B65B1/02 , F17C1/00 , F17C5/00 , F17C11/00
CPC分类号： F17C11/005 , B01J20/261 , B01J20/262 , B01J20/28011 , C01B3/0078 , F17C5/00 , F17C2201/0104 , F17C2221/012 , F17C2270/01 , Y02E60/321 , Y02E60/324
摘要：本發明係提供一種儲氫組成物及其儲氫容器之製造方法。儲氫組成物係包含有導熱材料、儲氫材料及可選擇的彈性材料。儲氫容器係由前述儲氫組成物與罐體所構成。儲氫容器的製造方法包含下列步驟：提供罐體及儲氫組成物，並將儲氫組成物填入罐體內；對罐體進行抽真空程序，並於完成此程序後，記錄罐體充氫前的重量；對罐體進行活化充氫程序，並於完成此程序後，記錄罐體充氫後的重量；比較罐體充氫前與充氫後的重量，以取得其儲氫量，並判斷該儲氫量是否達到標準值。
简体摘要：本发明系提供一种储氢组成物及其储氢容器之制造方法。储氢组成物系包含有导热材料、储氢材料及可选择的弹性材料。储氢容器系由前述储氢组成物与罐体所构成。储氢容器的制造方法包含下列步骤：提供罐体及储氢组成物，并将储氢组成物填入罐体内；对罐体进行抽真空进程，并于完成此进程后，记录罐体充氢前的重量；对罐体进行活化充氢进程，并于完成此进程后，记录罐体充氢后的重量；比较罐体充氢前与充氢后的重量，以取得其储氢量，并判断该储氢量是否达到标准值。

6. 发明专利

TW201102555A 純化液化氣體之供給方法审中-公开
简体标题：纯化液化气体之供给方法
公开(公告)号：TW201102555A
公开(公告)日：2011-01-16
申请号：TW099115285
申请日：2010-05-13
申请人：大陽日酸股份有限公司
发明人：清水秀治 , 有村忠信
IPC分类号： F17C , C23C
CPC分类号： F17C5/00 , F17C2201/0109 , F17C2201/035 , F17C2205/0323 , F17C2223/0153 , F17C2223/043 , F17C2223/046 , F17C2223/047 , F17C2225/0153 , F17C2225/043 , F17C2250/0452 , F17C2250/0491 , F17C2265/017
摘要：本發明提供當供給儲藏於容器內之液化氣體時，放出並純化預先儲藏容器內氣相部之氣體之純化液化氣體之供給方法。該純化液化氣體之供給方法之特徵在於藉進行以下操作純化包含易揮發性不純物成分之純化槽內的原料液化氣體，供給至供給目的地。(1)測定氣相之各不純物成分之濃度後，由各成分之液相與氣之各成分濃度比(氣液平衡常數(Kn))推定液相中之各不純物成分濃度的操作；(2)藉進行由氣相部放出氣體，進行液相中液化氣體之純化的操作；(3)放出結束後，由氣相採取試料，進行純化液化氣體之品質確認的操作；(4)前述純化液體之品質確認後，由純化槽將純化液化氣體供給至供給目的地的操作。
简体摘要：本发明提供当供给储藏于容器内之液化气体时，放出并纯化预先储藏容器内气相部之气体之纯化液化气体之供给方法。该纯化液化气体之供给方法之特征在于藉进行以下操作纯化包含易挥发性不纯物成分之纯化槽内的原料液化气体，供给至供给目的地。(1)测定气相之各不纯物成分之浓度后，由各成分之液相与气之各成分浓度比(气液平衡常数(Kn))推定液相中之各不纯物成分浓度的操作；(2)藉进行由气相部放出气体，进行液相中液化气体之纯化的操作；(3)放出结束后，由气相采取试料，进行纯化液化气体之品质确认的操作；(4)前述纯化液体之品质确认后，由纯化槽将纯化液化气体供给至供给目的地的操作。

7. 发明专利

TWI279660B 可減低與高壓氣體之儲存及輸送相關風險的壓力調控式氣體輸送系統及方法 PRESSURE-BASED GAS DELIVERY SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING RISKS ASSOCIATED WITH STORAGE AND DELIVERY OF HIGH PRESSURE GASES 有权
简体标题：可减低与高压气体之存储及输送相关风险的压力调控式气体输送系统及方法 PRESSURE-BASED GAS DELIVERY SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING RISKS ASSOCIATED WITH STORAGE AND DELIVERY OF HIGH PRESSURE GASES
公开(公告)号：TWI279660B
公开(公告)日：2007-04-21
申请号：TW092115523
申请日：2003-06-09
申请人：尖端科技材料公司 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人： W.卡爾.奧蘭德 W. KARL OLANDER , 馬休.B.多納持西 MATTHEW B. DONATUCCI , 王錄平 LUPING WANG , 麥克.J.伍德詹斯基 MICHAEL J. WODJENSKI
IPC分类号： G05D , F17D , B08B
CPC分类号： F17C13/04 , F17C5/00 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2205/0111 , F17C2205/0176 , F17C2205/0326 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/038 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2260/036 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0324 , Y10T137/0419 , Y10T137/2569 , Y10T137/4259 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7793 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249
摘要：使用一個與氣體歧管成選擇流動關係耦合之氣體來源來用以分配氣體之裝置及方法。該氣體歧管包括用以釋放氣體至氣體使用區之流動管線，且該氣體來源包括一個壓力調節氣體來源容器其含有處於超大氣壓力之氣體。該壓力調節氣體來源容器係與一個位於容器處或其中之壓力調節器及與該容器成流動關係耦合之流動控制閥被設置，使得從容器分配出之氣體可先流過該調節器後再流過該流動控制閥，並進入該氣體歧管中。本裝置及方法能加強使用於半導體製程中之毒性或其他有害氣體之儲存及分配時之安全性。
简体摘要：使用一个与气体歧管成选择流动关系耦合之气体来源来用以分配气体之设备及方法。该气体歧管包括用以释放气体至气体使用区之流动管线，且该气体来源包括一个压力调节气体来源容器其含有处于超大气压力之气体。该压力调节气体来源容器系与一个位于容器处或其中之压力调节器及与该容器成流动关系耦合之流动控制阀被设置，使得从容器分配出之气体可先流过该调节器后再流过该流动控制阀，并进入该气体歧管中。本设备及方法能加强使用于半导体制程中之毒性或其他有害气体之存储及分配时之安全性。

8. 发明专利

TW200405149A 可減低與高壓氣體之儲存及輸送相關風險的壓力調控式氣體輸送系統及方法 PRESSURE-BASED GAS DELIVERY SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING RISKS ASSOCIATED WITH STORAGE AND DELIVERY OF HIGH PRESSURE GASES 审中-公开
简体标题：可减低与高压气体之存储及输送相关风险的压力调控式气体输送系统及方法 PRESSURE-BASED GAS DELIVERY SYSTEM AND METHOD FOR REDUCING RISKS ASSOCIATED WITH STORAGE AND DELIVERY OF HIGH PRESSURE GASES
公开(公告)号：TW200405149A
公开(公告)日：2004-04-01
申请号：TW092115523
申请日：2003-06-09
申请人：尖端科技材料公司 ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.
发明人： W 卡爾奧蘭德 W. KARL OLANDER , 馬休 B 多納持西 MATTHEW B. DONATUCCI , 王錄平 LUPING WANG , 麥克 J 伍德詹斯基 MICHAEL J. WODJENSKI
IPC分类号： G05D , F17D
CPC分类号： F17C13/04 , F17C5/00 , F17C2201/0109 , F17C2201/0119 , F17C2201/032 , F17C2201/056 , F17C2201/058 , F17C2205/0111 , F17C2205/0176 , F17C2205/0326 , F17C2205/0332 , F17C2205/0335 , F17C2205/0338 , F17C2205/0341 , F17C2205/0391 , F17C2205/0394 , F17C2221/012 , F17C2221/014 , F17C2221/016 , F17C2221/037 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/036 , F17C2225/0123 , F17C2225/033 , F17C2225/035 , F17C2225/038 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/043 , F17C2260/036 , F17C2260/044 , F17C2270/0518 , Y02E60/321 , Y10T137/0324 , Y10T137/0419 , Y10T137/2569 , Y10T137/4259 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/7762 , Y10T137/7793 , Y10T137/8158 , Y10T137/87249
摘要：使用一個與氣體歧管成選擇流動關係耦合之氣體來源來用以分配氣體之裝置及方法。該氣體歧管包括用以釋放氣體至氣體使用區之流動管線，且該氣體來源包括一個壓力調節氣體來源容器其含有處於超大氣壓力之氣體。該壓力調節氣體來源容器係與一個位於容器處或其中之壓力調節器及與該容器成流動關係耦合之流動控制閥被設置，使得從容器分配出之氣體可先流過該調節器後再流過該流動控制閥，並進入該氣體歧管中。本裝置及方法能加強使用於半導體製程中之毒性或其他有害氣體之儲存及分配時之安全性。
简体摘要：使用一个与气体歧管成选择流动关系耦合之气体来源来用以分配气体之设备及方法。该气体歧管包括用以释放气体至气体使用区之流动管线，且该气体来源包括一个压力调节气体来源容器其含有处于超大气压力之气体。该压力调节气体来源容器系与一个位于容器处或其中之压力调节器及与该容器成流动关系耦合之流动控制阀被设置，使得从容器分配出之气体可先流过该调节器后再流过该流动控制阀，并进入该气体歧管中。本设备及方法能加强使用于半导体制程中之毒性或其他有害气体之存储及分配时之安全性。

9. 发明专利

TW201537659A 氣體注入裝置及輔助構件审中-公开
简体标题：气体注入设备及辅助构件
公开(公告)号：TW201537659A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW104101968
申请日：2015-01-21
申请人：村田機械股份有限公司 , MURATA MACHINERY, LTD.
发明人：村田正直 , MURATA, MASANAO , 山路孝 , YAMAJI, TAKASHI
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/30
CPC分类号： H01L21/67389 , F17C5/00 , F17C2205/0335 , F17C2221/00 , F17C2270/0518 , H01L21/67393 , H01L21/67745
摘要：提供一種即使在複數種類的容器具有各容器徑不同的注入口的情況，也可以對於各種容器注入淨化氣體的氣體注入裝置。氣體注入裝置(1)，是具備：第1容器(FOUP10A)或是第2容器被載置的載置部(2)、及被配置於載置部(2)將淨化氣體吐出的吐出部(5)、及將吐出部(5)的周緣包圍的方式從載置部(2)突出設置的密封部(7)。吐出部(5)，是在對於第2容器的注入口注入淨化氣體的狀態與該注入口非接觸，密封部(7)，是在朝FOUP(10A)的注入口(15A)注入淨化氣體的狀態下不會妨害吐出部(5)及注入口(15A)的接觸。
简体摘要：提供一种即使在复数种类的容器具有各容器径不同的注入口的情况，也可以对于各种容器注入净化气体的气体注入设备。气体注入设备(1)，是具备：第1容器(FOUP10A)或是第2容器被载置的载置部(2)、及被配置于载置部(2)将净化气体吐出的吐出部(5)、及将吐出部(5)的周缘包围的方式从载置部(2)突出设置的密封部(7)。吐出部(5)，是在对于第2容器的注入口注入净化气体的状态与该注入口非接触，密封部(7)，是在朝FOUP(10A)的注入口(15A)注入净化气体的状态下不会妨害吐出部(5)及注入口(15A)的接触。

10. 发明专利

TW592827B 超純或污染敏感性化學品之自動再充填系統失效
简体标题：超纯或污染敏感性化学品之自动再充填系统
公开(公告)号：TW592827B
公开(公告)日：2004-06-21
申请号：TW092114824
申请日：2003-05-30
申请人：亞契專業化學公司 ARCH SPECIALTY CHEMICALS, INC.
发明人：克里斯多佛S 布拉特 CHRISTOPHER S. BLATT , 李察H 皮爾斯 RICHARD H. PEARCE , 葛拉漢威廉斯 GRAHAM WILLIAMS , 艾德華H 溫特渥斯三世 EDWARD H. WENTWORTH, III
IPC分类号： B01J
CPC分类号： F17C5/005 , F17C5/00 , F17C13/025 , F17C13/026 , F17C13/028 , F17C13/045 , F17C2205/0146 , F17C2205/0326 , F17C2205/0335 , F17C2205/0364 , F17C2221/014 , F17C2221/05 , F17C2223/0123 , F17C2223/013 , F17C2225/0123 , F17C2227/0114 , F17C2227/04 , F17C2227/044 , F17C2227/045 , F17C2250/032 , F17C2250/0413 , F17C2250/0421 , F17C2250/0426 , F17C2250/043 , F17C2250/0439 , F17C2250/0473 , F17C2250/0636 , F17C2250/072 , F17C2270/0518 , G01F1/667 , G01F15/18 , G01F23/2921 , G01F23/2927 , Y10T137/3127
摘要：一種超高純度趨火有機金屬化學品用之高度可靠而又安全之模組式自動再充填(散裝輸送)系統，該系統採用：一歧管，其可確保無污染地操作；一液面偵測系統具有故障安全性冗餘以及一抽真空系統，讓自動再充填系統之歧管及傳輸管線相對不具有化學品火警風險；讓歧管及傳輸管線不含氧氣污染；以及讓系統之載氣組成於兩次裝填間不受影響。
简体摘要：一种超高纯度趋火有机金属化学品用之高度可靠而又安全之模块式自动再充填(散装输送)系统，该系统采用：一歧管，其可确保无污染地操作；一液面侦测系统具有故障安全性冗余以及一抽真空系统，让自动再充填系统之歧管及传输管线相对不具有化学品火警风险；让歧管及传输管线不含氧气污染；以及让系统之载气组成于两次装填间不受影响。

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