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1. 发明专利

TWI611132B 不斷流裝置及不斷流工法有权
简体标题：不断流设备及不断流工法
公开(公告)号：TWI611132B
公开(公告)日：2018-01-11
申请号：TW103135686
申请日：2014-10-15
申请人：水研股份有限公司 , SUIKEN CO., LTD.
发明人：佐藤康成 , SATO, YASUNARI , 清水俊彦 , SHIMIZU, TOSHIHIKO
IPC分类号： F16L41/06 , F16L55/00
CPC分类号： F16L55/10 , F16K3/02 , F16L41/06 , F16L41/16

2. 发明专利

TW201522831A 不斷流裝置及不斷流工法审中-公开
简体标题：不断流设备及不断流工法
公开(公告)号：TW201522831A
公开(公告)日：2015-06-16
申请号：TW103135686
申请日：2014-10-15
申请人：水研股份有限公司 , SUIKEN CO., LTD.
发明人：佐藤康成 , SATO, YASUNARI , 清水俊彦 , SHIMIZU, TOSHIHIKO
IPC分类号： F16L41/06 , F16L55/00
CPC分类号： F16L55/10 , F16K3/02 , F16L41/06 , F16L41/16
摘要：本發明具備：具有「形成於第1分割殼，且延伸於既設管的徑向之分歧狀的分歧孔」的密閉殼、及「將密閉殼與既設管之間予以密封」的橡膠墊圈，在第1分割殼設有用來裝卸穿孔機的凸緣，密閉殼可朝管軸方向往復移動，橡膠墊圈形成：「包圍著密閉殼之設有分歧孔的部位，並封閉分歧孔」的第1密封區域、及「鄰接於第1密封區域，並且對第1密封區域形成密封，從第1密封區域朝管軸方向偏移，且用來暫時地封閉利用切刃形成穿孔之開孔」的第2密封區域，在墊圈安裝溝與第2密封環之間，形成有可供第2密封環脫逃的容許空間。
简体摘要：本发明具备：具有“形成于第1分割壳，且延伸于既设管的径向之分歧状的分歧孔”的密闭壳、及“将密闭壳与既设管之间予以密封”的橡胶垫圈，在第1分割壳设有用来装卸穿孔机的凸缘，密闭壳可朝管轴方向往复移动，橡胶垫圈形成：“包围着密闭壳之设有分歧孔的部位，并封闭分歧孔”的第1密封区域、及“邻接于第1密封区域，并且对第1密封区域形成密封，从第1密封区域朝管轴方向偏移，且用来暂时地封闭利用切刃形成穿孔之开孔”的第2密封区域，在垫圈安装沟与第2密封环之间，形成有可供第2密封环脱逃的容许空间。

3. 发明专利

TW201044458A 活動遮蔽之閘閥 SHUTTERED GATE VALVE 审中-公开
简体标题：活动屏蔽之闸阀 SHUTTERED GATE VALVE
公开(公告)号：TW201044458A
公开(公告)日：2010-12-16
申请号：TW099114555
申请日：2010-05-06
申请人：應用材料股份有限公司
发明人：北村伸 , 深田光俊
IPC分类号： H01L , F16K
CPC分类号： H01L21/67126 , C23C16/4412 , F16K3/02 , F16K51/02 , H01L21/3065
摘要：在此提供閘閥及其使用方法的實施例。在某些實施例中,一種用於一製程腔室之閘閥係包含:一主體,具有一開口,該開口係設置成從該主體之一第一表面穿過該主體到該主體之一相對第二表面;一凹穴,從該開口之一側壁延伸到該主體內;一閘,可移動地設置在該凹穴內,而介於一密封該開口的關閉位置與一顯露該開口且將該閘完全地設置在該凹穴內的開啓位置之間;及一活動遮蔽件,用以在該閘處於該開啓位置時可選擇性地密封該凹穴。在某些實施例中,一或多個加熱器可以耦接到該主體或該活動遮蔽件之至少一者。
简体摘要：在此提供闸阀及其使用方法的实施例。在某些实施例中,一种用于一制程腔室之闸阀系包含:一主体,具有一开口,该开口系设置成从该主体之一第一表面穿过该主体到该主体之一相对第二表面;一凹穴,从该开口之一侧壁延伸到该主体内;一闸,可移动地设置在该凹穴内,而介于一密封该开口的关闭位置与一显露该开口且将该闸完全地设置在该凹穴内的开启位置之间;及一活动屏蔽件,用以在该闸处于该开启位置时可选择性地密封该凹穴。在某些实施例中,一或多个加热器可以耦接到该主体或该活动屏蔽件之至少一者。

4. 发明专利

TWI237680B 閘閥裝置 SLUICING VALVE DEVICE 有权
简体标题：闸阀设备 SLUICING VALVE DEVICE
公开(公告)号：TWI237680B
公开(公告)日：2005-08-11
申请号：TW093123215
申请日：2004-08-03
申请人：水道技術開發機構股份有限公司 WATERWORKS TECHNOLOGY DEVELOPMENT ORGANIZATION CO., LTD.
发明人：森充弘 MORI, MITSUHIRO
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K3/02 , F16K27/00 , F16L55/105 , F16L55/124
摘要：一種閘閥裝置，其中一閥元件配置於可附著於一管體上之殼體構件內，且該閥元件包括一閥元件中心金屬配件、一覆蓋該閥元件中心金屬配件的彈性密封構件，及一升降桿，其呈一沿其插入方向之桿形，以沿此插入方向於該管體內移動該閥構件中心金屬配件，其中該閥元件中心金屬配件支撐插入於該管體內之該彈性密封構件，且從插入方向推壓該彈性密封構件以彈性變形，且一導部，其形成於插入方向的尖端側上，可防止該彈性密封構件於該管體的軸向中心方向凸伸。
简体摘要：一种闸阀设备，其中一阀组件配置于可附着于一管体上之壳体构件内，且该阀组件包括一阀组件中心金属配件、一覆盖该阀组件中心金属配件的弹性密封构件，及一升降杆，其呈一沿其插入方向之杆形，以沿此插入方向于该管体内移动该阀构件中心金属配件，其中该阀组件中心金属配件支撑插入于该管体内之该弹性密封构件，且从插入方向推压该弹性密封构件以弹性变形，且一导部，其形成于插入方向的尖端侧上，可防止该弹性密封构件于该管体的轴向中心方向凸伸。

5. 发明专利

TWI500080B 活動遮蔽之閘閥有权
简体标题：活动屏蔽之闸阀
公开(公告)号：TWI500080B
公开(公告)日：2015-09-11
申请号：TW099114555
申请日：2010-05-06
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：北村伸 , KITAMURA, SHIN , 深田光俊 , FUKADA, MITSUTOSHI
IPC分类号： H01L21/3065 , F16K3/00
CPC分类号： H01L21/67126 , C23C16/4412 , F16K3/02 , F16K51/02 , H01L21/3065

6. 发明专利

TW201448034A 透過節流閘門閥清洗之粒子減少审中-公开
简体标题：透过节流闸门阀清洗之粒子减少
公开(公告)号：TW201448034A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW103119229
申请日：2014-06-03
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：李傑瑞阿瑪 , LEE, JARED AHMAD , 路布米斯基德米崔 , LUBOMIRSKY, DMITRY , 薩理納斯馬丁傑夫 , SALINAS, MARTIN JEFF , 恩蓋葉安德魯 , NGUYEN, ANDREW , 邱湯姆K , CHO, TOM K. , 英格哈德特艾力克A , ENGLHARDT, ERIC A. , 席門瑞費南多 , SILVEIRA, FERNANDO
IPC分类号： H01L21/3065
CPC分类号： B08B9/0325 , F16K3/02 , F16K51/02 , H01L21/67017 , H01L21/67253 , Y10T137/0419 , Y10T137/4259
摘要：在此提供用於基材製程腔室中的節流閘門閥中的粒子減少的方法與設備。在一些實施例中，一種用於一製程腔室中的閘門閥包括：一主體，該主體具有一開口設置成穿過該主體，該開口設置成從該主體的一第一表面穿過到該主體的一相對第二表面；一囊穴，該囊穴從該開口的一側壁延伸到該主體內；一閘門，該閘門可移動地設置在該囊穴內而介於一關閉位置與一開啟位置之間，該關閉位置係密封住該開口，該開啟位置係顯露出該開口且將該閘門完全地設置在該囊穴內；及複數個氣體埠，該複數個氣體埠設置在該閘門閥中且設以引導一氣體流到該閘門閥的一部分內，該閘門閥流體地耦接到該開口。
简体摘要：在此提供用于基材制程腔室中的节流闸门阀中的粒子减少的方法与设备。在一些实施例中，一种用于一制程腔室中的闸门阀包括：一主体，该主体具有一开口设置成穿过该主体，该开口设置成从该主体的一第一表面穿过到该主体的一相对第二表面；一囊穴，该囊穴从该开口的一侧壁延伸到该主体内；一闸门，该闸门可移动地设置在该囊穴内而介于一关闭位置与一打开位置之间，该关闭位置系密封住该开口，该打开位置系显露出该开口且将该闸门完全地设置在该囊穴内；及复数个气体端口，该复数个气体端口设置在该闸门阀中且设以引导一气体流到该闸门阀的一部分内，该闸门阀流体地耦接到该开口。

7. 发明专利

TW200848647A 控制狹縫門密封壓力的方法和設備 CONTROL OF SLIT VALVE DOOR SEAL PRESSURE 审中-公开
简体标题：控制狭缝门密封压力的方法和设备 CONTROL OF SLIT VALVE DOOR SEAL PRESSURE
公开(公告)号：TW200848647A
公开(公告)日：2008-12-16
申请号：TW097107169
申请日：2008-02-29
申请人：應用材料股份有限公司 APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：松本貴之 MATSUMOTO, TAKAYUKI , 栗田真一 KURITA, SHINICHI
IPC分类号： F16K , H01L
CPC分类号： F16K3/188 , F16K3/02 , F16K51/02 , Y10T137/0396
摘要：本發明提供用於密封兩個基板處理室之間之一狹縫閥通道之裝置及方法。一體係容納一被組態成延伸及縮回以阻塞或開啓該通道之密封構件,其中該體具有兩個開口及其之間之一通道,該等兩個開口對準該等處理室之該等壁中之開口。該密封構件包括在一面上覆蓋一開口之一密封件,及在另一面上支撐另一開口之一可移動橫向延伸件。該延伸件被致動以接觸該體之壁,提供一支撐或密封力至在該密封構件之另一面上之該密封件。該密封力可藉由根據該等處理室中之壓力條件以改變作用至該密封構件之該氣體壓力來調整。
简体摘要：本发明提供用于密封两个基板处理室之间之一狭缝阀信道之设备及方法。一体系容纳一被组态成延伸及缩回以阻塞或开启该信道之密封构件,其中该体具有两个开口及其之间之一信道,该等两个开口对准该等处理室之该等壁中之开口。该密封构件包括在一面上覆盖一开口之一密封件,及在另一面上支撑另一开口之一可移动横向延伸件。该延伸件被致动以接触该体之壁,提供一支撑或密封力至在该密封构件之另一面上之该密封件。该密封力可借由根据该等处理室中之压力条件以改变作用至该密封构件之该气体压力来调整。

8. 发明专利

TW200606362A 閘閥裝置 SLUICING VALVE DEVICE 审中-公开
简体标题：闸阀设备 SLUICING VALVE DEVICE
公开(公告)号：TW200606362A
公开(公告)日：2006-02-16
申请号：TW093123215
申请日：2004-08-03
申请人：水道技術開發機構股份有限公司 WATERWORKS TECHNOLOGY DEVELOPMENT ORGANIZATION CO., LTD.
发明人：森充弘 MORI, MITSUHIRO
IPC分类号： F16K
CPC分类号： F16K3/02 , F16K27/00 , F16L55/105 , F16L55/124
摘要：一種閘閥裝置，其中一閥元件配置於可附著於一管體上之殼體構件內，且該閥元件包括一閥元件中心金屬配件、一覆蓋該閥元件中心金屬配件的彈性密封構件，及一升降桿，其呈一沿其插入方向之桿形，以沿此插入方向於該管體內移動該閥構件中心金屬配件，其中該閥元件中心金屬配件支撐插入於該管體內之該彈性密封構件，且從插入方向推壓該彈性密封構件以彈性變形，且一導部，其形成於插入方向的尖端側上，可防止該彈性密封構件於該管體的軸向中心方向凸伸。
简体摘要：一种闸阀设备，其中一阀组件配置于可附着于一管体上之壳体构件内，且该阀组件包括一阀组件中心金属配件、一覆盖该阀组件中心金属配件的弹性密封构件，及一升降杆，其呈一沿其插入方向之杆形，以沿此插入方向于该管体内移动该阀构件中心金属配件，其中该阀组件中心金属配件支撑插入于该管体内之该弹性密封构件，且从插入方向推压该弹性密封构件以弹性变形，且一导部，其形成于插入方向的尖端侧上，可防止该弹性密封构件于该管体的轴向中心方向凸伸。

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