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1. 发明专利

TWI276612B 製造極高紫外線光石版印刷基質之方法 METHOD FOR PRODUCING EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY SUBSTRATES 失效
简体标题：制造极高紫外线光石版印刷基质之方法 METHOD FOR PRODUCING EXTREME ULTRAVIOLET LITHOGRAPHY SUBSTRATES
公开(公告)号：TWI276612B
公开(公告)日：2007-03-21
申请号：TW091109111
申请日：2002-04-27
申请人：康寧公司 CORNING INCORPORATED
发明人：肯尼埃德哈迪納 KENNETH EDWARD HRDINA , 尼基喬魯色 NIKKI JO RUSSO , 米其亨力瓦來司基 MICHAEL HENRY WASILEWSKI
IPC分类号： C03B
CPC分类号： C03B19/1453 , C03B19/1407 , C03B19/1484 , C03B2201/04 , C03B2201/075 , C03B2201/42 , C03B2207/32
摘要：一種形成極高紫外線光石版印刷大尺寸均勻玻璃物體之方法，該方法包含傳輸矽石前身產物至燃燒器以及傳送矽石前身產物經由燃燒器火焰以形成矽石顆粒，沉積矽石顆粒於平面性表面上以形成平坦多孔性極高紫外線光石版印刷大尺寸之預製件以及將多孔性極高紫外線光石版印刷大尺寸之預製件固結為平坦密實極高紫外線光石版印刷大尺寸均勻之玻璃物體。
简体摘要：一种形成极高紫外线光石版印刷大尺寸均匀玻璃物体之方法，该方法包含传输硅石前身产物至燃烧器以及发送硅石前身产物经由燃烧器火焰以形成硅石颗粒，沉积硅石颗粒于平面性表面上以形成平坦多孔性极高紫外线光石版印刷大尺寸之预制件以及将多孔性极高紫外线光石版印刷大尺寸之预制件固结为平坦密实极高紫外线光石版印刷大尺寸均匀之玻璃物体。

2. 发明专利

TW568889B 製造摻雜鈦熔融矽石玻璃之方法失效
简体标题：制造掺杂钛熔融硅石玻璃之方法
公开(公告)号：TW568889B
公开(公告)日：2004-01-01
申请号：TW091109108
申请日：2002-04-29
申请人：康寧公司 CORNING INCORPORATED
发明人：貝福特吉耳亞克曼 BRADFORD GILES ACKERMAN , 肯尼埃德哈迪納 KENNETH E. HRDINA , 里薩安莫 LISA ANNE MOORE , 尼基喬魯色 NIKKI JO RUSSO , 余振希 C. CHARES YU
IPC分类号： C03B
CPC分类号： C03C4/0085 , C03B19/1415 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/12 , C03B2201/42 , C03B2207/32 , C03B2207/62 , C03B2207/70 , C03C3/06 , C03C3/076 , C03C2201/12 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , Y02P40/57
摘要：一種製造極高紫外線光石版印刷玻璃基質之方法，該方法包括藉由傳輸矽石前身產物以及二氧化鈦前身產物之混合物至燃燒器以合成矽石和二氧化鈦之顆粒；藉由連續性地沉積顆粒至沉積表面同時旋轉以及平移相對於燃燒器的沉積表面以成長多孔性預製件；以及固結多孔性預製件成為密實極高紫外線光石版印刷的玻璃以及將固結密實極高紫外線光石版印刷玻璃形成為均勻的極高紫外線光石版印刷玻璃基質。
简体摘要：一种制造极高紫外线光石版印刷玻璃基质之方法，该方法包括借由传输硅石前身产物以及二氧化钛前身产物之混合物至燃烧器以合成硅石和二氧化钛之颗粒；借由连续性地沉积颗粒至沉积表面同时旋转以及平移相对于燃烧器的沉积表面以成长多孔性预制件；以及固结多孔性预制件成为密实极高紫外线光石版印刷的玻璃以及将固结密实极高紫外线光石版印刷玻璃形成为均匀的极高紫外线光石版印刷玻璃基质。

3. 发明专利

TW200938502A 具有低膨漲梯度之低膨漲性玻璃材料 LOW EXPANSION GLASS MATERIAL HAVING LOW EXPANSIVITY GRADIEN 审中-公开
简体标题：具有低膨涨梯度之低膨涨性玻璃材料 LOW EXPANSION GLASS MATERIAL HAVING LOW EXPANSIVITY GRADIEN
公开(公告)号：TW200938502A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：TW097146540
申请日：2008-11-28
申请人：康寧公司 CORNING INCORPORATED
发明人：肯尼埃德哈迪納 KENNETH EDWARD HRDINA , 羅伯沙巴 ROBERT SABIA
IPC分类号： C03C
CPC分类号： C03C3/06 , C03B19/1407 , C03B19/143 , C03B19/1484 , C03B2201/42 , C03C2201/42 , C03C2203/40
摘要：本發明揭示出一種低膨脹玻璃基板,其包含氧化鈦和氧化矽,低膨脹玻璃基板在19℃至25℃溫度範圍內具有平均梯度小於1ppb/℃/℃的熱膨脹性。
简体摘要：本发明揭示出一种低膨胀玻璃基板,其包含氧化钛和氧化硅,低膨胀玻璃基板在19℃至25℃温度范围内具有平均梯度小于1ppb/℃/℃的热膨胀性。

4. 发明专利

TW200736183A 摻雜二氧化鈦之石英玻璃,EUV微影用構件,EUV微影用光罩基板及摻雜二氧化鈦之石英玻璃的製造方法审中-公开
简体标题：掺杂二氧化钛之石英玻璃,EUV微影用构件,EUV微影用光罩基板及掺杂二氧化钛之石英玻璃的制造方法
公开(公告)号：TW200736183A
公开(公告)日：2007-10-01
申请号：TW095145693
申请日：2006-12-07
申请人：信越化學工業股份有限公司 SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
发明人：每田繁 MAIDA, SHIGERU , 山田素行 YAMADA, MOTOYUKI
IPC分类号： C03C , G03F , C03B
CPC分类号： C03B19/1407 , B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1415 , C03B19/1446 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/42 , C03C3/06 , C03C2201/11 , C03C2201/21 , C03C2201/23 , C03C2201/42 , G03F1/24 , G03F1/60 , G21K2201/067
摘要：【解決手段】含有3~12質量%之二氧化鈦,該二氧化鈦之濃度梯度為0.01質量%/��m以下,且厚度為6.35mm之於波長440nm中的表觀穿透率為30%以上為其特徵之摻雜二氧化鈦之石英玻璃。【效果】可提供予以EUV微影用光罩基板等之EUV微影用構件所要求之高表面精細度之均質性高之摻雜二氧化鈦之石英玻璃,由摻雜二氧化鈦之石英玻璃所構成之EUV微影用光罩基板等之EUV微影用構件為平坦度和熱膨脹特性優良者。
简体摘要：【解决手段】含有3~12质量%之二氧化钛,该二氧化钛之浓度梯度为0.01质量%/��m以下,且厚度为6.35mm之于波长440nm中的表观穿透率为30%以上为其特征之掺杂二氧化钛之石英玻璃。【效果】可提供予以EUV微影用光罩基板等之EUV微影用构件所要求之高表面精细度之均质性高之掺杂二氧化钛之石英玻璃,由掺杂二氧化钛之石英玻璃所构成之EUV微影用光罩基板等之EUV微影用构件为平坦度和热膨胀特性优良者。

5. 发明专利

TWI247196B 減小條紋極紫外線元件 REDUCED STRIAE EXTREME ULTRAVIOLET ELEMENTS 有权
简体标题：减小条纹极紫外线组件 REDUCED STRIAE EXTREME ULTRAVIOLET ELEMENTS
公开(公告)号：TWI247196B
公开(公告)日：2006-01-11
申请号：TW092105046
申请日：2003-03-04
申请人：康寧公司 CORNING INCORPORATED
发明人：肯尼埃德哈迪納 KENNETH E. HRDINA , 貝耐特里昂麥林 BRENT RYAN MCLEAN , 詹埃得馬克松 JOHN EDWARD MAXON
IPC分类号： G03F
CPC分类号： B82Y10/00 , B82Y40/00 , C03B19/1446 , C03B19/1484 , C03B2201/42 , C03B2207/62 , C03B2207/66 , C03C3/06 , C03C4/0085 , C03C2201/42 , C03C2203/40 , G03F1/24 , G03F7/70958
摘要：本發明揭示出含有具有低條紋值之氧化鈦矽石玻璃物體以及極紫外線元件。本發明亦揭示出製造以及在玻璃元件以及極紫外線元件中量測條紋之方法以及裝置。
简体摘要：本发明揭示出含有具有低条纹值之氧化钛硅石玻璃物体以及极紫外线组件。本发明亦揭示出制造以及在玻璃组件以及极紫外线组件中量测条纹之方法以及设备。

6. 发明专利

TW515782B 石英玻璃及其製造方法失效
简体标题：石英玻璃及其制造方法
公开(公告)号：TW515782B
公开(公告)日：2003-01-01
申请号：TW087110342
申请日：1998-06-26
申请人：尼康股份有限公司
发明人：小典男 , 藤原誠志 , 神保宏樹
IPC分类号： C03C , C03B
CPC分类号： C03B19/1484 , C03B19/1423 , C03B2201/07 , C03B2201/12 , C03B2201/23 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/20 , C03B2207/30 , C03B2207/36 , C03B2207/66 , C03C3/06 , C03C2201/12 , C03C2201/23 , C03C2203/46
摘要： [課題]提供一種同時具備優異的耐紫外線特性及折射率的均質性之石英玻璃的製造方法。[解決方法]提供一種幾乎不含氯(C1)的石英玻璃之製造方法，係包含：從石英玻璃製噴嘴將四氟化矽(SiF4)氣體、氧氣、氫氣分別噴出之步驟，令前述四氟化矽(SiF4)氣體、和氧氣及氫氣的反應生成物之水反應以產生石英玻璃微粒子之步驟，令該石英玻璃微粒予堆積於靶上之步驟，將堆積於靶上之石英玻璃微粒子溶融‧玻璃化成石英玻璃之步驟；且，四氟化矽(SiF4)氣體之噴出速度在9~20s1m/cm2之範圍內。使用有機矽化合物之石英玻璃的合成中，因有機矽化合物所含之碳會殘留於玻璃中，使用四氯化矽之合成中，因玻璃中會含有氯，故皆無法得出具優異紫外線耐性及透過率之石英玻璃。在原料中使用有機矽化合物和矽的氟化合物之混合物以得出可同時滿足紫外線耐性及透過率之石英玻璃，特別是在混合比95：5~85：15的範圍，不管是對氯或鈉或碳皆可得最佳的效果。
简体摘要： [课题]提供一种同时具备优异的耐紫外线特性及折射率的均质性之石英玻璃的制造方法。[解决方法]提供一种几乎不含氯(C1)的石英玻璃之制造方法，系包含：从石英玻璃制喷嘴将四氟化硅(SiF4)气体、氧气、氢气分别喷出之步骤，令前述四氟化硅(SiF4)气体、和氧气及氢气的反应生成物之水反应以产生石英玻璃微粒子之步骤，令该石英玻璃微粒予堆积于靶上之步骤，将堆积于靶上之石英玻璃微粒子溶融‧玻璃化成石英玻璃之步骤；且，四氟化硅(SiF4)气体之喷出速度在9~20s1m/cm2之范围内。使用有机硅化合物之石英玻璃的合成中，因有机硅化合物所含之碳会残留于玻璃中，使用四氯化硅之合成中，因玻璃中会含有氯，故皆无法得出具优异紫外线耐性及透过率之石英玻璃。在原料中使用有机硅化合物和硅的氟化合物之混合物以得出可同时满足紫外线耐性及透过率之石英玻璃，特别是在混合比95：5~85：15的范围，不管是对氯或钠或碳皆可得最佳的效果。

7. 发明专利

TW527329B 製造石英玻璃體之方法失效
简体标题：制造石英玻璃体之方法
公开(公告)号：TW527329B
公开(公告)日：2003-04-11
申请号：TW090105947
申请日：2001-03-14
申请人：何瑞斯廊格拉斯公司 , 信越石英股份有限公司
发明人：沃夫岡克羅克 , 克雷門史密特 , 卓格沃諾 , 傑哈柯圖拉
IPC分类号： C03B
CPC分类号： C03B19/1484
摘要：本發明係關於製造石英玻璃體之步驟，該方法包含在具有內孔洞之基本上為圓柱體之多孔胚料形成過程中，將 SiO2顆粒沉積在繞著縱軸旋轉之圓柱體軸心之外表面，且移除軸心及燒結胚料，其特徵為連續形成胚料之一端之區域中之軸心以與軸心旋轉速度相同之成形元件環繞，該成形元件具有面向胚料之中心部分，其至少部分可移除的埋在連續成形胚料之前面，且在燒結前及與中心部分搭配之胚料內部孔洞擴張後移除。
简体摘要：本发明系关于制造石英玻璃体之步骤，该方法包含在具有内孔洞之基本上为圆柱体之多孔胚料形成过程中，将 SiO2颗粒沉积在绕着纵轴旋转之圆柱体轴心之外表面，且移除轴心及烧结胚料，其特征为连续形成胚料之一端之区域中之轴心以与轴心旋转速度相同之成形组件环绕，该成形组件具有面向胚料之中心部分，其至少部分可移除的埋在连续成形胚料之前面，且在烧结前及与中心部分搭配之胚料内部孔洞扩张后移除。

8. 发明专利

TW490313B 收集熔融物粉塵之方法及裝置失效
简体标题：收集熔融物粉尘之方法及设备
公开(公告)号：TW490313B
公开(公告)日：2002-06-11
申请号：TW090105468
申请日：2001-03-06
申请人：康寧公司
发明人：帶尼華倫賀特 , 約色馬克滑連
IPC分类号： B01D
CPC分类号： C03B19/14 , C03B19/01 , C03B19/06 , C03B19/106 , C03B19/1407 , C03B19/1415 , C03B19/1423 , C03B19/1453 , C03B19/1484 , C03B2201/12 , C03B2201/28 , C03B2201/30 , C03B2201/31 , C03B2201/32 , C03B2201/34 , C03B2201/36 , C03B2201/40 , C03B2201/42 , C03B2201/50 , C03B2207/06 , C03B2207/12 , C03B2207/14 , C03B2207/32 , C03B2207/34 , C03B2207/46 , C03B2207/62
摘要：一種製造光學組件之方法以及裝置。燃燒器產生粉塵，以及表面積收集器收集粉塵。燃燒器放置將使得收集於表面積收集器內之粉塵並不會受到後續沉積粉塵再加熱。磁力導引表面積收集器內粉塵至所需要之位置。表面積收集器操作於相當低溫度足以保持相當揮發性物質例如氟於粉塵中。
简体摘要：一种制造光学组件之方法以及设备。燃烧器产生粉尘，以及表面积收集器收集粉尘。燃烧器放置将使得收集于表面积收集器内之粉尘并不会受到后续沉积粉尘再加热。磁力导引表面积收集器内粉尘至所需要之位置。表面积收集器操作于相当低温度足以保持相当挥发性物质例如氟于粉尘中。

9. 发明专利

TW477777B 製造石英玻璃體之方法及石英玻璃夾座元件失效
简体标题：制造石英玻璃体之方法及石英玻璃夹座组件
公开(公告)号：TW477777B
公开(公告)日：2002-03-01
申请号：TW089122677
申请日：2000-10-27
申请人：何瑞斯廓格拉斯公司 , 信越石英股份有限公司
发明人：克勞斯狄蒙 , 漢斯法畢安 , 蘇山尼爾森舍
IPC分类号： C03B
CPC分类号： C03B19/1484 , C03B2201/03
摘要：在一石英玻璃體之已知製法中將SiO2粒子澱積於繞其縱軸旋轉的洗缸套表面上形成一本質上圓筒素燒坯料有一夾座元件石英玻璃設在拯料之一端區內。以此為基礎欲改進由石英玻璃體所製產物特徵的復現性起見，根據本發明主張用一低於30wtppm亞穩OH濃度之夾座元件，其夾座元件經受加熱預處理。夾持素燒石英玻璃的適當夾座元件特徵在其含30wtppm以下亞穩OH濃度之石英玻璃(圖1)。
简体摘要：在一石英玻璃体之已知制法中将SiO2粒子淀积于绕其纵轴旋转的洗缸套表面上形成一本质上圆筒素烧坯料有一夹座组件石英玻璃设在拯料之一端区内。以此为基础欲改进由石英玻璃体所制产物特征的复现性起见，根据本发明主张用一低于30wtppm亚稳OH浓度之夹座组件，其夹座组件经受加热预处理。夹持素烧石英玻璃的适当夹座组件特征在其含30wtppm以下亚稳OH浓度之石英玻璃(图1)。

10. 发明专利

TW466217B 自多孔SiO2胚體移除心軸之方法及裝置失效
简体标题：自多孔SiO2胚体移除心轴之方法及设备
公开(公告)号：TW466217B
公开(公告)日：2001-12-01
申请号：TW088118663
申请日：1999-10-28
申请人：何瑞斯廓格拉斯公司 , 信越石英股份有限公司
发明人：安竹斯基霍滋 , 玉克里斯汀森
IPC分类号： C03B
CPC分类号： C03B37/01466 , C03B19/1469 , C03B19/1484 , C03B37/01486
摘要：合成石英玻璃管之製造已知有許多方法，其製係由Si02粒子沉澱於繞其縱長軸轉動之心軸之圓筒外殼表面形成多孔Si02胚體，接著移除心軸並將胚體燒結而成。為在此一基礎上能明確說明一種便於利用低價圓筒心軸之製造石英玻璃管之便宜方法，本發明建議-為移除心軸(22)，將胚體(6)之一前側端(25)固定於包含通路(15)及固定支座(13)，由延性物質製成之拾取器(ll)中，並對準以致心軸(22)延伸通過通路(15)，而拉力或推力則以心軸縱長軸(23)之方向作用於心軸(22)，藉此拉力或推力將胚體(6)之末端(25)壓在支座(13)上，該力量係持續增加直至心軸(22)與胚體(6)分離。而且，明確說明一種自胚體移除心軸之適當裝置，其用於胚體(6)固定及對準之固定裝置(11;17)包含胚體(6)一端(25)之拾取器(ll)，該拾取器附有延性物質製成之支座(13)且具有供心軸(22)延伸通過之通路(15);及其作用於心軸(22)且在心軸縱長軸(23)有效之拉及推裝置(5)，藉由該拉及推裝置，與心軸(22)連接之胚體(6)一端(25)即可對著支座(13)移動。
简体摘要：合成石英玻璃管之制造已知有许多方法，其制系由Si02粒子沉淀于绕其纵长轴转动之心轴之圆筒外壳表面形成多孔Si02胚体，接着移除心轴并将胚体烧结而成。为在此一基础上能明确说明一种便于利用低价圆筒心轴之制造石英玻璃管之便宜方法，本发明建议-为移除心轴(22)，将胚体(6)之一前侧端(25)固定于包含通路(15)及固定支座(13)，由延性物质制成之十取器(ll)中，并对准以致心轴(22)延伸通过通路(15)，而拉力或推力则以心轴纵长轴(23)之方向作用于心轴(22)，借此拉力或推力将胚体(6)之末端(25)压在支座(13)上，该力量系持续增加直至心轴(22)与胚体(6)分离。而且，明确说明一种自胚体移除心轴之适当设备，其用于胚体(6)固定及对准之固定设备(11;17)包含胚体(6)一端(25)之十取器(ll)，该十取器附有延性物质制成之支座(13)且具有供心轴(22)延伸通过之通路(15);及其作用于心轴(22)且在心轴纵长轴(23)有效之拉及推设备(5)，借由该拉及推设备，与心轴(22)连接之胚体(6)一端(25)即可对着支座(13)移动。

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