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    • 4. 发明专利
    • 合成石英玻璃基板之製造方法
    • 合成石英玻璃基板之制造方法
    • TW201612501A
    • 2016-04-01
    • TW104119080
    • 2015-06-12
    • 信越化學工業股份有限公司SHIN-ETSU CHEMICAL CO., LTD.
    • 原田大実HARADA, DAIJITSU代田和雄SHIROTA, KAZUO八木寿YAGI, HISASHI竹內正樹TAKEUCHI, MASAKI
    • G01N21/23C03B20/00G03F1/60
    • C03C17/00B28D1/00C03C19/00G01N21/23G01N21/958
    • [解決手段]一種合成石英玻璃基板之製造方法,其係包括:準備合成石英玻璃塊之步驟;將複折射的測定波長下透射率為99.0%/mm以上的液體塗佈在前述合成石英玻璃塊的任意面和與其對向的面之這兩面之步驟;藉由從一個塗佈面入射且從另一個塗佈面出射的光線測定合成石英玻璃塊的複折射之步驟;依據所獲得的複折射率進行合成石英玻璃塊好壞的篩選之步驟。 [效果]依據本發明,在合成石英玻璃基板之製造步驟中,可在較早階段的研磨步驟等的加工步驟之前,篩選出作為準分子雷射照射,尤其ArF準分子雷射照射,甚至ArF液浸技術等所使用的標線片、光罩用合成石英玻璃基板用等的適合各種等級的基板,因此可提供一種能夠提高合成石英玻璃基板的生產性,有經濟效益的製造方法。
    • [解决手段]一种合成石英玻璃基板之制造方法,其系包括:准备合成石英玻璃块之步骤;将复折射的测定波长下透射率为99.0%/mm以上的液体涂布在前述合成石英玻璃块的任意面和与其对向的面之这两面之步骤;借由从一个涂布面入射且从另一个涂布面出射的光线测定合成石英玻璃块的复折射之步骤;依据所获得的复折射率进行合成石英玻璃块好坏的筛选之步骤。 [效果]依据本发明,在合成石英玻璃基板之制造步骤中,可在较早阶段的研磨步骤等的加工步骤之前,筛选出作为准分子激光照射,尤其ArF准分子激光照射,甚至ArF液浸技术等所使用的标线片、光罩用合成石英玻璃基板用等的适合各种等级的基板,因此可提供一种能够提高合成石英玻璃基板的生产性,有经济效益的制造方法。
    • 5. 发明专利
    • 石材表面之加工處理方法及該裝置
    • 石材表面之加工处理方法及该设备
    • TW206941B
    • 1993-06-01
    • TW081103952
    • 1992-05-19
    • 噴射剷花工程股份有限公司
    • 中野宣夫細谷福年
    • B28D
    • B28D1/00B24C1/06
    • 本發明係有關於一種石材表面之加工處理方法及該裝置,其主要會使得自然石的狀態容易再現,除了外觀優越且具有凹凸,充分適合步行外,又可表現由凹凸感所造成之厚重感,更者可減低加工處理成本,其主要特徵係對石材之由排鋸(gang saw)所造成之切斷面、由圓鋸裁斷機所造成之切斷面、將該些切斷面更加以實施鑿石錘( bushhammering)敲打之面或是直接對各切斷面實施輕敲的面,在實施鑿石錘敲打後進行輕敲之面,或是在進行鑿石錘敲打後進行燃燒器加工(flame finishing)之面或是不實施鑿石錘敲打而直接進行燃燒器加工之面,以200㎏/c㎡以上的壓力投射處理液,藉以使表面粗面化以及使結晶粒子露出。
    • 本发明系有关于一种石材表面之加工处理方法及该设备,其主要会使得自然石的状态容易再现,除了外观优越且具有凹凸,充分适合步行外,又可表现由凹凸感所造成之厚重感,更者可减低加工处理成本,其主要特征系对石材之由排锯(gang saw)所造成之切断面、由圆锯裁断机所造成之切断面、将该些切断面更加以实施凿石锤( bushhammering)敲打之面或是直接对各切断面实施轻敲的面,在实施凿石锤敲打后进行轻敲之面,或是在进行凿石锤敲打后进行燃烧器加工(flame finishing)之面或是不实施凿石锤敲打而直接进行燃烧器加工之面,以200㎏/c㎡以上的压力投射处理液,借以使表面粗面化以及使结晶粒子露出。