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1. 发明专利

TW201032951A 具有發聲線圈線性壓力進料研磨 LINEAR PRESSURE FEED GRINDING WITH VOICE COIL 审中-公开
简体标题：具有发声线圈线性压力进料研磨 LINEAR PRESSURE FEED GRINDING WITH VOICE COIL
公开(公告)号：TW201032951A
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：TW098136606
申请日：2009-10-28
申请人：康寧公司
发明人：包溫詹威連 , 拉巴捌克羅伯
IPC分类号： B24B
CPC分类号： B24B9/102 , B24B9/08 , B24B9/10 , B24B27/0069 , B24B27/0084 , B24B47/10 , B24B47/14 , B24B47/20 , B24B49/16 , B24B55/02
摘要：本發明係關於磨光或拋光玻璃基板至少一個邊緣的裝置。該裝置包含磨光單元配置成在對準位置時由至少一個邊緣去除預先決定數量之材料。空氣軸承滑移系統耦合至磨光單元。空氣軸承滑移系統配置成沿著加壓空氣薄膜上預先決定軸滑移,該空氣提供無磨擦力負載軸承界面。線性促動馬達耦合至空氣軸承滑移系統。線性促動馬達配置成控制空氣軸承滑移系統之移動,使得磨光單元由非對準位置移動至對準位置。
简体摘要：本发明系关于磨光或抛光玻璃基板至少一个边缘的设备。该设备包含磨光单元配置成在对准位置时由至少一个边缘去除预先决定数量之材料。空气轴承滑移系统耦合至磨光单元。空气轴承滑移系统配置成沿着加压空气薄膜上预先决定轴滑移,该空气提供无磨擦力负载轴承界面。线性促动马达耦合至空气轴承滑移系统。线性促动马达配置成控制空气轴承滑移系统之移动,使得磨光单元由非对准位置移动至对准位置。

2. 发明专利

TW201404535A 在化學機械式硏磨期間用於主動基板進動之方法及設備审中-公开
简体标题：在化学机械式研磨期间用于主动基板进动之方法及设备
公开(公告)号：TW201404535A
公开(公告)日：2014-02-01
申请号：TW102113094
申请日：2013-04-12
申请人：應用材料股份有限公司 , APPLIED MATERIALS, INC.
发明人：陳宏 , CHEN, HUNG , 卡盧匹亞雷克須瑪南 , KARUPPIAH, LAKSHMANAN
IPC分类号： B24B41/04 , B24B47/10
CPC分类号： B24B37/32 , B24B47/10
摘要：在某些態樣中，提供一種化學機械式研磨(CMP)設備，該設備包含一研磨頭，該研磨頭擁有一可旋轉心軸，一膜，與該可旋轉心軸連結且適於在一基板研磨期間壓迫該基板緊靠一研磨墊，以及一固定環，可旋轉地與該心軸連結且適於環繞在研磨期間受到壓迫緊靠一研磨墊的基板並限制該基板相對於該研磨頭的橫向移動。該化學機械式研磨設備也包含一驅動機構，其與該固定環連結且適於在研磨期間以與該心軸不同的轉速驅動該固定環。尚提供眾多其他態樣。
简体摘要：在某些态样中，提供一种化学机械式研磨(CMP)设备，该设备包含一研磨头，该研磨头拥有一可旋转心轴，一膜，与该可旋转心轴链接且适于在一基板研磨期间压迫该基板紧靠一研磨垫，以及一固定环，可旋转地与该心轴链接且适于环绕在研磨期间受到压迫紧靠一研磨垫的基板并限制该基板相对于该研磨头的横向移动。该化学机械式研磨设备也包含一驱动机构，其与该固定环链接且适于在研磨期间以与该心轴不同的转速驱动该固定环。尚提供众多其他态样。

3. 发明专利

TWI412430B 具有發聲線圈線性壓力進給磨光有权
简体标题：具有发声线圈线性压力进给磨光
公开(公告)号：TWI412430B
公开(公告)日：2013-10-21
申请号：TW098136606
申请日：2009-10-28
申请人：康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：包溫詹威連 , BROWN, JAMES WILLIAM , 拉巴捌克羅伯 , RAJ, BABAK ROBERT
IPC分类号： B24B9/10 , B24B47/10 , B24B47/20 , B24B49/16
CPC分类号： B24B9/102 , B24B9/08 , B24B9/10 , B24B27/0069 , B24B27/0084 , B24B47/10 , B24B47/14 , B24B47/20 , B24B49/16 , B24B55/02

4. 发明专利

TW201711787A 工具機之夾持裝置审中-公开
简体标题：工具机之夹持设备
公开(公告)号：TW201711787A
公开(公告)日：2017-04-01
申请号：TW104131542
申请日：2015-09-24
申请人：陽鎰機械有限公司 , YANG YI MACHINERY CO., LTD.
发明人：紀大進 , TA-CHIN, CHI , 莊嘉寶 , CHIA-PAO, CHUANG , 紀冠鈺 , KUAN-YU, CHI
IPC分类号： B23Q3/06 , B23Q5/32
CPC分类号： B24B41/067 , B24B47/10
摘要：本發明提供一種工具機之夾持裝置，包括至少三樞轉件及與樞轉件動力連接之一驅動裝置，其主要係藉由使樞轉件夾持待加工之工件，再由驅動裝置驅動樞轉件旋轉，樞轉件並帶動工件旋轉進而使工件能夠於被些樞轉件夾持之同時穩定的旋轉，由於本發明工具機之夾持裝置係由至少三個樞轉件相互配合夾持工件，是以能夠抵銷晃動以達平衡之狀態，使工件於加工時更佳的穩固，藉此達成提供一種能夠降低晃動、減少加工誤差以提升加工品值之工具機之夾持裝置。
简体摘要：本发明提供一种工具机之夹持设备，包括至少三枢转件及与枢转件动力连接之一驱动设备，其主要系借由使枢转件夹持待加工之工件，再由驱动设备驱动枢转件旋转，枢转件并带动工件旋转进而使工件能够于被些枢转件夹持之同时稳定的旋转，由于本发明工具机之夹持设备系由至少三个枢转件相互配合夹持工件，是以能够抵销晃动以达平衡之状态，使工件于加工时更佳的稳固，借此达成提供一种能够降低晃动、减少加工误差以提升加工品值之工具机之夹持设备。

5. 发明专利

TW383262B 晶圓研磨裝置及其研磨方法失效
简体标题：晶圆研磨设备及其研磨方法
公开(公告)号：TW383262B
公开(公告)日：2000-03-01
申请号：TW087120178
申请日：1998-12-04
申请人：日本電氣股份有限公司
发明人：三橋秀男 , 大井聰 , 山森篤 , 稻葉精一
IPC分类号： B24B
CPC分类号： B24B37/32 , B24B47/10
摘要：一種晶圓研磨裝置及其研磨方法，其可由去除研磨量的波動量而增加良率，且可避免由於反應產物的累積而產生刮傷和降低研磨速度。晶圓研磨裝置具有一可回轉研磨盤;一研磨布，設在研磨盤上;磨料供應裝置，用以供應磨料至研磨布的表面;晶圓壓下裝置，用以在所定壓力下壓下晶圓至研磨布上;一環狀保持器，圍繞晶圓設置且設有複數個在與研磨布接觸的表面上的內周緣和外周緣之間延伸的溝槽;回轉驅動裝置，用以在研磨布上驅動晶圓和保持器;以及回轉速度差產生裝置，用以在晶圓和保持器間提供一回轉速度差。
简体摘要：一种晶圆研磨设备及其研磨方法，其可由去除研磨量的波动量而增加良率，且可避免由于反应产物的累积而产生刮伤和降低研磨速度。晶圆研磨设备具有一可回转研磨盘;一研磨布，设在研磨盘上;磨料供应设备，用以供应磨料至研磨布的表面;晶圆压下设备，用以在所定压力下压下晶圆至研磨布上;一环状保持器，围绕晶圆设置且设有复数个在与研磨布接触的表面上的内周缘和外周缘之间延伸的沟槽;回转驱动设备，用以在研磨布上驱动晶圆和保持器;以及回转速度差产生设备，用以在晶圆和保持器间提供一回转速度差。

6. 发明专利

TW200808492A 修飾邊緣之裝置及方法 APPARATUS AND METHOD FOR MODIFYING AN EDGE 审中-公开
简体标题：修饰边缘之设备及方法 APPARATUS AND METHOD FOR MODIFYING AN EDGE
公开(公告)号：TW200808492A
公开(公告)日：2008-02-16
申请号：TW096122326
申请日：2007-06-21
申请人： 3M新設資產公司 3M INNOVATIVE PROPERTIES COMPANY
发明人：菲賓泰勒亨葛貝那 GOBENA, FEBEN TELAHUN , 蓋瑞馬維恩派葛瑞 PALMGREN, GARY MARVEN , 威廉戴爾喬瑟夫 JOSEPH, WILLIAM DALE , 丹尼爾布恩潘德葛瑞斯二世 PENDERGRASS, DANIEL BOONE JR.
IPC分类号： B24B
CPC分类号： B24B9/065 , B24B47/10
摘要：本發明描述一種邊緣修飾裝置,其包含一圓盤夾盤、一具有一研磨物件支撐件之圓盤邊緣修飾單元,及一耦接至該圓盤夾盤及該研磨物件支撐件中之至少一者的均勻速度線性振盪驅動器。該均勻速度線性振盪驅動器在每一半振盪循環之至少80%中提供一大體恆定之速度。本發明亦描述一種使用該等裝置修飾圓盤之邊緣的方法。
简体摘要：本发明描述一种边缘修饰设备,其包含一圆盘夹盘、一具有一研磨对象支撑件之圆盘边缘修饰单元,及一耦接至该圆盘夹盘及该研磨对象支撑件中之至少一者的均匀速度线性振荡驱动器。该均匀速度线性振荡驱动器在每一半振荡循环之至少80%中提供一大体恒定之速度。本发明亦描述一种使用该等设备修饰圆盘之边缘的方法。

7. 发明专利

TW558477B 拋光機之拋光頭失效
简体标题：抛光机之抛光头
公开(公告)号：TW558477B
公开(公告)日：2003-10-21
申请号：TW090101335
申请日：2001-01-30
申请人：卡爾蔡司公司
发明人：克里斯托夫屈伯勒爾
IPC分类号： B24B
CPC分类号： B24B49/006 , B24B13/02 , B24B41/04 , B24B45/00 , B24B47/10 , B24B49/16
摘要： (第一圖)
本發明為一種拋光機之拋光頭，尤其是一種拋光光學表面用的拋光頭，包括一個與一根可作旋轉轉動的傳動軸連接的拋光盤。依據本發明提出的方法，拋光盤(3)與傳動軸(7)係以具抗扭轉性的鉸接方式連接在一起。使用內球窩關節即可形成這種具抗扭轉性的鉸接連接方式。拋光盤可經由鉸接連接與待拋光之工件(39)的光學表面(41)作相同的轉動，使拋光塗層(5)與待拋光光學表面(41)的接觸面積始終保持在最大的程度。
简体摘要： (第一图) 本发明为一种抛光机之抛光头，尤其是一种抛光光学表面用的抛光头，包括一个与一根可作旋转转动的传动轴连接的抛光盘。依据本发明提出的方法，抛光盘(3)与传动轴(7)系以具抗扭转性的铰接方式连接在一起。使用内球窝关节即可形成这种具抗扭转性的铰接连接方式。抛光盘可经由铰接连接与待抛光之工件(39)的光学表面(41)作相同的转动，使抛光涂层(5)与待抛光光学表面(41)的接触面积始终保持在最大的程度。

8. 发明专利

TW516992B 用於化學機械平面化之球形驅動組件失效
简体标题：用于化学机械平面化之球形驱动组件
公开(公告)号：TW516992B
公开(公告)日：2003-01-11
申请号：TW090126409
申请日：2001-10-25
申请人：史特瑞斯貝奇公司
发明人：大衛G 哈利
IPC分类号： B24B , H01L
CPC分类号： B24B9/065 , B24B37/013 , B24B37/04 , B24B37/042 , B24B37/30 , B24B41/04 , B24B47/10 , B24B49/02 , B24B49/12 , B24B53/017 , B24B57/02 , H01L21/68728
摘要：本發明提供一種改良的平面化或拋光裝置，用以進行化學機械平面化以及其他種類的拋光，諸如金屬拋光及光學拋光。於一例示性具體實施例中，用以拋光一物件之裝置包括一襯墊，其具有一拋光表面以置於該欲拋光之物件之一目標表面上。一襯墊驅動構件係與該襯墊連接，以相對於該物件移動該襯墊，以改變該襯墊之拋光表面在該物件之該目標表面上的位置。一驅動支撐係可移動地與該襯墊驅動構件耦合，以支撐該襯墊驅動構件相對於該驅動器支撐繞著一樞軸點轉動，該樞軸點於拋光時係大體上位於該物件之該目標表面上。
简体摘要：本发明提供一种改良的平面化或抛光设备，用以进行化学机械平面化以及其他种类的抛光，诸如金属抛光及光学抛光。于一例示性具体实施例中，用以抛光一对象之设备包括一衬垫，其具有一抛光表面以置于该欲抛光之对象之一目标表面上。一衬垫驱动构件系与该衬垫连接，以相对于该对象移动该衬垫，以改变该衬垫之抛光表面在该对象之该目标表面上的位置。一驱动支撑系可移动地与该衬垫驱动构件耦合，以支撑该衬垫驱动构件相对于该驱动器支撑绕着一枢轴点转动，该枢轴点于抛光时系大体上位于该对象之该目标表面上。

9. 发明专利

TW201004740A 晶圓、晶圓拋光裝置、晶圓拋光方法、製造壓電振動器的方法、壓電振動器、振盪器、電子裝置以及無線電波時計 WAFER, WAFER POLISHING APPARATUS, WAFER POLISHING METHOD, METHOD OF FABRICATING PIEZOELECTRIC VIBRATOR, PIEZOELECTRIC VIBRATOR, OSCILLATOR, ELECTRONIC APPARATUS AND RADIOWAVE TIMEPIECE 审中-公开
简体标题：晶圆、晶圆抛光设备、晶圆抛光方法、制造压电振动器的方法、压电振动器、振荡器、电子设备以及无线电波时计 WAFER, WAFER POLISHING APPARATUS, WAFER POLISHING METHOD, METHOD OF FABRICATING PIEZOELECTRIC VIBRATOR, PIEZOELECTRIC VIBRATOR, OSCILLATOR, ELECTRONIC APPARATUS AND RADIOWAVE TIMEPIECE
公开(公告)号：TW201004740A
公开(公告)日：2010-02-01
申请号：TW098101909
申请日：2009-01-19
申请人：精工電子有限公司
发明人：小林高志
IPC分类号： B24B , H01L
CPC分类号： H03H3/02 , B24B37/08 , B24B47/10 , B24B57/02 , H03H3/04 , H03H9/21 , H03H2003/026
摘要：為了提供一種防止拋光步驟中引發裂痕之斷裂或晶片掉落的晶圓及一種拋光該晶圓之拋光方法，提供一種使用為壓電振動器之原料之實質上有角形狀的平板形狀晶圓。該實質上有角形狀之所有角落部分D1、D2、D3、D4係藉由去角提供曲率(curvatures)而被形成為彎曲面之形狀。彎曲面之形狀的該等角落部分D1、D2、D3、D4至少包括由彼此不同的曲率或相同的曲率所去角的第一彎曲面部分及第二彎曲面部分。該原料之結晶定向的參考面係由該第一彎曲面部分或該第二彎曲面部分所指定。
简体摘要：为了提供一种防止抛光步骤中引发裂痕之断裂或芯片掉落的晶圆及一种抛光该晶圆之抛光方法，提供一种使用为压电振动器之原料之实质上有角形状的平板形状晶圆。该实质上有角形状之所有角落部分D1、D2、D3、D4系借由去角提供曲率(curvatures)而被形成为弯曲面之形状。弯曲面之形状的该等角落部分D1、D2、D3、D4至少包括由彼此不同的曲率或相同的曲率所去角的第一弯曲面部分及第二弯曲面部分。该原料之结晶定向的参考面系由该第一弯曲面部分或该第二弯曲面部分所指定。

10. 实用新型

TW529518U 多功能木工研磨機無段變速裝置失效
简体标题：多功能木工研磨机无段变速设备
公开(公告)号：TW529518U
公开(公告)日：2003-04-21
申请号：TW091208831
申请日：2002-06-13
申请人：廖瑞森 , 江培烈
发明人：廖瑞森 , 江培烈
IPC分类号： B24B
CPC分类号： B24B49/006 , B23Q5/162 , B24B5/50 , B24B27/0076 , B24B47/10 , B27C9/04 , F16H9/18 , F16H63/067
摘要：本創作是在提供一種多功能木工研磨機無段變速裝置，包含有一從動輪組、一主動輪組、一掛連在從動、主動輪組間的皮帶、一可環繞一Z軸擺動的制動件、一與制動件樞接且可環繞Z軸擺動的樞動塊及一螺穿樞動塊的螺栓。該從動、主動輪組分別具有一固定輪及一活動輪。藉此，當使用者旋動螺栓，使樞動塊沿螺栓位移，並牽連制動件擺動時，就可以撥動從動輪組的活動輪，改變與固定輪的間距，任意地調整皮帶與從動輪組、主動輪組的掛連位置，達到無段變速的目的。
简体摘要：本创作是在提供一种多功能木工研磨机无段变速设备，包含有一从动轮组、一主动轮组、一挂连在从动、主动轮组间的皮带、一可环绕一Z轴摆动的制动件、一与制动件枢接且可环绕Z轴摆动的枢动块及一螺穿枢动块的螺栓。该从动、主动轮组分别具有一固定轮及一活动轮。借此，当用户旋动螺栓，使枢动块沿螺栓位移，并牵连制动件摆动时，就可以拨动从动轮组的活动轮，改变与固定轮的间距，任意地调整皮带与从动轮组、主动轮组的挂连位置，达到无段变速的目的。

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