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1. 发明专利

TW201630667A 用於基板表面清理的方法及設備审中-公开
简体标题：用于基板表面清理的方法及设备
公开(公告)号：TW201630667A
公开(公告)日：2016-09-01
申请号：TW104138989
申请日：2015-11-24
申请人：康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：郭鎭坤 , KUO, CHEN KUN , 劉建麟 , LIU, CHIEN LIN , 潘國松 , PAN, KUO SUNG
IPC分类号： B08B1/02 , B08B1/04 , B08B11/00 , B08B11/04 , B08B3/02 , B08B3/08
CPC分类号： B08B3/022 , B08B11/04
摘要：本案介紹用於諸如玻璃基板之基板的表面清理之方法及設備，該設備包括一或更多個噴嘴，以向基板之一或更多個邊緣輸送清理流體；及包括軋輥，該軋輥在軋輥之外表面上包括複數個傾斜通道。該軋輥經配置以接觸基板之表面，且傾斜通道經配置以使流體及粒子向該軋輥之相對軸端側向取道。
简体摘要：本案介绍用于诸如玻璃基板之基板的表面清理之方法及设备，该设备包括一或更多个喷嘴，以向基板之一或更多个边缘输送清理流体；及包括轧辊，该轧辊在轧辊之外表面上包括复数个倾斜信道。该轧辊经配置以接触基板之表面，且倾斜信道经配置以使流体及粒子向该轧辊之相对轴端侧向取道。

2. 发明专利

TW201446348A 超音波清潔方法及其設備审中-公开
简体标题：超音波清洁方法及其设备
公开(公告)号：TW201446348A
公开(公告)日：2014-12-16
申请号：TW102145637
申请日：2013-12-11
申请人：蘭姆研究公司 , LAM RESEARCH CORPORATION
发明人：史派洛普洛斯伊凡傑洛斯T , SPYROPOULOS, EVANGELOS T. , 雪瑞夫依柏A , SHAREEF, IQBAL A. , 拉庫克斯克里夫特艾瑞克 , LA CROIX, CLIFFORD ERIK
IPC分类号： B08B3/12 , H01L21/302 , H01L21/3065
CPC分类号： B08B3/12 , A47L2601/17 , B08B1/00 , B08B3/00 , B08B3/044 , B08B3/045 , B08B3/047 , B08B3/048 , B08B3/10 , B08B3/108 , B08B11/00 , B08B11/02 , B08B11/04 , B08B2209/005 , G02B27/0006 , H01J37/32862
摘要：清潔實質上平面物件的超音波清潔設備及方法。一種設備包含(i)實質上圓形的儲槽；(ii)多個用於將清潔流體傳送至儲槽的清潔流體入口；(iii)用於接收待清潔物件的中間支撐物；及(iv)耦合至儲槽的超音波產生器，其用於在儲槽及容納於其中的清潔流體中產生超音波。此設備被配置為將微粒由實質上平面物件移除，並使其被清潔流體的流動運離此物件且運出儲槽。使用此種設備的一種清潔方法包含將待清潔的實質上平面物件引入至儲槽中；經由多個清潔流體入口將清潔流體引入至儲槽中；及以超音波激發清潔流體。
简体摘要：清洁实质上平面对象的超音波清洁设备及方法。一种设备包含(i)实质上圆形的储槽；(ii)多个用于将清洁流体发送至储槽的清洁流体入口；(iii)用于接收待清洁对象的中间支撑物；及(iv)耦合至储槽的超音波产生器，其用于在储槽及容纳于其中的清洁流体中产生超音波。此设备被配置为将微粒由实质上平面对象移除，并使其被清洁流体的流动运离此对象且运出储槽。使用此种设备的一种清洁方法包含将待清洁的实质上平面对象引入至储槽中；经由多个清洁流体入口将清洁流体引入至储槽中；及以超音波激发清洁流体。

3. 发明专利

TWI603790B 清潔玻璃基板之方法有权
简体标题：清洁玻璃基板之方法
公开(公告)号：TWI603790B
公开(公告)日：2017-11-01
申请号：TW103115199
申请日：2014-04-28
申请人：康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：艾尼克達溫吉恩 , ENICKS, DARWIN GENE , 中村嘉宏 , NAKAMURA, YOSHIHIRO , 汎卡塔加蘭希發 , VENKATACHALAM, SIVA , 華柴克汪妲賈妮娜 , WALCZAK, WANDA JANINA , 王力明 , WANG, LIMING
IPC分类号： B08B3/08
CPC分类号： C03C23/0075 , B08B3/08 , B08B3/12 , B08B11/04 , H01L21/02041

4. 发明专利

TW201811640A 用於清潔玻璃基板之方法及設備审中-公开
简体标题：用于清洁玻璃基板之方法及设备
公开(公告)号：TW201811640A
公开(公告)日：2018-04-01
申请号：TW106128682
申请日：2017-08-24
申请人：美商康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：傅學弘 , FU, HSUEH HUNG , 侯鈞元 , HOU, JUN YUAN , 徐子恆 , HSU, TZU-HEN , 穆曉楓 , MU, XIAOFENG , 瑞茲提斯奇威廉保羅 , RYSZYTIWSKYJ, WILLIAM PAUL , 周乃越 , ZHOU, NAIYUE
IPC分类号： B65G47/24 , B65G49/06 , C03C19/00 , B32B38/16
CPC分类号： B08B1/02 , B08B5/02 , B08B11/04
摘要：揭露了一種用於清潔玻璃基板的設備和方法，設備包括沿著玻璃基板的輸送路徑而佈置的護罩組件，使得護罩組件的護罩部分的開口與玻璃基板相鄰。容納在護罩組件的中空內部空間內的噴嘴組件在將氣體射流引導到玻璃基板的同時旋轉，從而逐出顆粒。將真空施加到由圍繞護罩而延伸的裙部所界定的第二內部中空空間，從而移除經逐出的顆粒。施加第二真空到護罩的後部以移除積聚在護罩中的顆粒。設備可進一步包括鄰近護罩組件而佈置的氣刀和佈置在護罩組件之下方的真空通道。
简体摘要：揭露了一种用于清洁玻璃基板的设备和方法，设备包括沿着玻璃基板的输送路径而布置的护罩组件，使得护罩组件的护罩部分的开口与玻璃基板相邻。容纳在护罩组件的中空内部空间内的喷嘴组件在将气体射流引导到玻璃基板的同时旋转，从而逐出颗粒。将真空施加到由围绕护罩而延伸的裙部所界定的第二内部中空空间，从而移除经逐出的颗粒。施加第二真空到护罩的后部以移除积聚在护罩中的颗粒。设备可进一步包括邻近护罩组件而布置的气刀和布置在护罩组件之下方的真空信道。

5. 发明专利

TW201240742A 玻璃基板表面清洗裝置及玻璃基板表面清洗方法 GLASS SUBSTRATE SURFACE CLEANING APPARATUS AND GLASS SUBSTRATE SURFACE CLEANING METHOD 审中-公开
简体标题：玻璃基板表面清洗设备及玻璃基板表面清洗方法 GLASS SUBSTRATE SURFACE CLEANING APPARATUS AND GLASS SUBSTRATE SURFACE CLEANING METHOD
公开(公告)号：TW201240742A
公开(公告)日：2012-10-16
申请号：TW101106571
申请日：2012-02-29
申请人： 3M新設資產公司
发明人：大石道廣
IPC分类号： B08B , G02F
CPC分类号： B08B11/04 , B08B1/008 , B08B1/02 , C03C23/0075
摘要：本發明提供一種玻璃基板表面清洗裝置及方法，其具有可應用於存在於玻璃基板上之雜質之一清洗功能。玻璃基板表面清洗裝置100包含一玻璃基板支撐件及運輸機構20，其支撐且在一第一方向(圖3中之M)中運輸一玻璃基板50。該裝置亦包含一玻璃基板表面清洗機構10，其具有一清洗帶11，該清洗帶11將黏附至該玻璃基板之該表面之雜質300移除且在該玻璃基板之該表面上在與該第一方向交叉之一第二方向(圖3中之N)中滑動。該清洗帶包含複數個三維結構研磨突起70及位於該等三維結構研磨突起之間之凹槽60。該等凹槽之寬度62寬於黏附至該玻璃基板之該雜質之寬度。
简体摘要：本发明提供一种玻璃基板表面清洗设备及方法，其具有可应用于存在于玻璃基板上之杂质之一清洗功能。玻璃基板表面清洗设备100包含一玻璃基板支撑件及运输机构20，其支撑且在一第一方向(图3中之M)中运输一玻璃基板50。该设备亦包含一玻璃基板表面清洗机构10，其具有一清洗带11，该清洗带11将黏附至该玻璃基板之该表面之杂质300移除且在该玻璃基板之该表面上在与该第一方向交叉之一第二方向(图3中之N)中滑动。该清洗带包含复数个三维结构研磨突起70及位于该等三维结构研磨突起之间之凹槽60。该等凹槽之宽度62宽于黏附至该玻璃基板之该杂质之宽度。

6. 发明专利

TW201700187A 用於清洗玻璃片的設備及方法审中-公开
简体标题：用于清洗玻璃片的设备及方法
公开(公告)号：TW201700187A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105113395
申请日：2016-04-29
申请人：康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：陳憲輝 , CHEN, HSIEN HUI , 陳柏華 , CHEN, PO HUA , 陳文嘉 , CHEN, WEN JIA , 傅學弘 , FU, HSUEH HUNG , 黃正豐 , HUANG, CHENG FENG , 周乃越 , ZHOU, NAIYUE
IPC分类号： B08B3/02
CPC分类号： B08B3/022 , B05B13/0278 , B08B11/04 , C03C23/0075
摘要：本文揭示用於清洗沿著搬運方向移動的玻璃片之設備。該設備包括第一複數個噴灑裝置及控制單元，該第一複數個噴灑裝置耦接至水源且放置於離該玻璃片之第一表面、從該玻璃片之第一表面測量呈第一角度處，該控制單元經配置以將來自水源的水供應至該第一複數個噴灑裝置中，使得該第一複數個噴灑裝置於該第一角度下以第一複數個噴灑切面將來自水源的水噴灑越過該玻璃片之邊緣，藉此在該玻璃片之第一表面上形成第一清洗區域。
简体摘要：本文揭示用于清洗沿着搬运方向移动的玻璃片之设备。该设备包括第一复数个喷洒设备及控制单元，该第一复数个喷洒设备耦接至水源且放置于离该玻璃片之第一表面、从该玻璃片之第一表面测量呈第一角度处，该控制单元经配置以将来自水源的水供应至该第一复数个喷洒设备中，使得该第一复数个喷洒设备于该第一角度下以第一复数个喷洒切面将来自水源的水喷洒越过该玻璃片之边缘，借此在该玻璃片之第一表面上形成第一清洗区域。

7. 发明专利

TW201501821A 清潔玻璃基板之方法审中-公开
简体标题：清洁玻璃基板之方法
公开(公告)号：TW201501821A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103115199
申请日：2014-04-28
申请人：康寧公司 , CORNING INCORPORATED
发明人：艾尼克達溫吉恩 , ENICKS, DARWIN GENE , 中村嘉宏 , NAKAMURA, YOSHIHIRO , 汎卡塔加蘭希發 , VENKATACHALAM, SIVA , 華柴克汪妲賈妮娜 , WALCZAK, WANDA JANINA , 王力明 , WANG, LIMING
IPC分类号： B08B3/08
CPC分类号： C03C23/0075 , B08B3/08 , B08B3/12 , B08B11/04 , H01L21/02041
摘要：本發明揭示一種清潔薄玻璃基板之方法，該方法包含：當在傳送方向上傳送薄玻璃基板時，應用一系列化學清洗步驟。此外，玻璃基板之表面可經處理以增強玻璃基板之靜電放電特性。
简体摘要：本发明揭示一种清洁薄玻璃基板之方法，该方法包含：当在发送方向上载送薄玻璃基板时，应用一系列化学清洗步骤。此外，玻璃基板之表面可经处理以增强玻璃基板之静电放电特性。

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