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1. 发明专利

TW284735B 供執行船殼外表面工作之方法及裝置失效
简体标题：供运行船壳外表面工作之方法及设备
公开(公告)号：TW284735B
公开(公告)日：1996-09-01
申请号：TW082107362
申请日：1993-09-08
申请人： MMC康普萊斯工程公司
发明人：威廉.A.華格納 , 理查.A.高登貝奇
IPC分类号： B63B
CPC分类号： E04G5/12 , B05B16/80 , B24C3/062 , B63B59/06 , B63C5/02
摘要：當船10在乾塢或浮於水上時，對船殼之外表進行塗層工作，其以廣範圍之階台通道來產生一用於所需工作中之空室44，將空室在158，198，201，202，203等位置封合，以容置塗裝程序中在周圍出現之不可用副產品；為了使水流不致流過乾塢或駁船甲板上之使用後研粉及噴漆，以及為了隔阻可能會延誤與降低此塗裝程序品質之氣候狀況，可使用若干設備162，164，166，168，170，172，174，來對空室44做通水及排放，保持空室內仍為周遭溫度狀況，以保持者工作之安全及高塗裝品質，並使導入空室內之外部條件能符合清淨空氣與水之法規上要求，同時減少整個塗裝工作之成本。
简体摘要：当船10在干坞或浮于水上时，对船壳之外表进行涂层工作，其以广范围之阶台信道来产生一用于所需工作中之空室44，将空室在158，198，201，202，203等位置封合，以容置涂装进程中在周围出现之不可用副产品；为了使水流不致流过干坞或驳船甲板上之使用后研粉及喷漆，以及为了隔阻可能会延误与降低此涂装进程品质之气候状况，可使用若干设备162，164，166，168，170，172，174，来对空室44做通水及排放，保持空室内仍为周遭温度状况，以保持者工作之安全及高涂装品质，并使导入空室内之外部条件能符合清净空气与水之法规上要求，同时减少整个涂装工作之成本。

2. 发明专利

TWI407497B 多區域處理系統及處理頭失效
简体标题：多区域处理系统及处理头
公开(公告)号：TWI407497B
公开(公告)日：2013-09-01
申请号：TW097134166
申请日：2008-09-05
申请人：分子間股份有限公司 , INTERMOLECULAR, INC.
发明人：理查恩竇 , ENDO, RICK , 寇特偉那 , WEINER, KURT , 英卓尼迪 , DE, INDRANIL , 詹姆士曾 , TSUNG, JAMES , 趙茂聲 , ZHAO, MAOSHENG
IPC分类号： H01L21/30 , H01L21/20 , H01L21/67
CPC分类号： C23C16/45565 , B05B14/30 , B05B16/80 , B05D1/10 , B05D1/62 , C23C16/4412 , C23C16/45589 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/4587 , C23C16/50 , Y10S438/942

3. 发明专利

TW201138976A 塗布方法及裝置审中-公开
简体标题：涂布方法及设备
公开(公告)号：TW201138976A
公开(公告)日：2011-11-16
申请号：TW099146502
申请日：2010-12-29
申请人：瑪太克司馬特股份有限公司
发明人：松永正文
IPC分类号： B05B , B05C
CPC分类号： B05B13/0221 , B05B13/041 , B05B14/43 , B05B16/80 , B05D1/005 , H01L21/6715 , H01L21/6719 , H01L2933/0041
摘要：在具備頂板、底板及側板之塗布室內，藉由塗布器將塗布劑塗布於被塗物之方法及裝置，於塗布室上部及下部分別形成空氣吸入口及排出口；使塗布器之至少吐出孔露出於塗布室之上部內；以從底板側露出於塗布室內之方式設置被塗物載置單元，將塗布器與被塗物載置單元之至少一者構成為能直線移動；藉由設於塗布室外之驅動機構使塗布器與被塗物載置單元之至少一者移動以將塗布器相對被塗物定位，藉由塗布器將塗布劑塗布於被塗物。
简体摘要：在具备顶板、底板及侧板之涂布室内，借由涂布器将涂布剂涂布于被涂物之方法及设备，于涂布室上部及下部分别形成空气吸入口及排出口；使涂布器之至少吐出孔露出于涂布室之上部内；以从底板侧露出于涂布室内之方式设置被涂物载置单元，将涂布器与被涂物载置单元之至少一者构成为能直线移动；借由设于涂布室外之驱动机构使涂布器与被涂物载置单元之至少一者移动以将涂布器相对被涂物定位，借由涂布器将涂布剂涂布于被涂物。

4. 发明专利

TW200939323A 多區域處理系統及處理頭 MULTI-REGION PROCESSING SYSTEM AND HEADS 失效
简体标题：多区域处理系统及处理头 MULTI-REGION PROCESSING SYSTEM AND HEADS
公开(公告)号：TW200939323A
公开(公告)日：2009-09-16
申请号：TW097134166
申请日：2008-09-05
申请人：分子間股份有限公司 INTERMOLECULAR, INC.
发明人：理查恩竇 ENDO, RICK , 寇特偉那 WEINER, KURT , 英卓尼迪 DE, INDRANIL , 詹姆士曾 TSUNG, JAMES , 趙茂聲 ZHAO, MAOSHENG
IPC分类号： H01L
CPC分类号： C23C16/45565 , B05B14/30 , B05B16/80 , B05D1/10 , B05D1/62 , C23C16/4412 , C23C16/45589 , C23C16/4584 , C23C16/4585 , C23C16/4587 , C23C16/50 , Y10S438/942
摘要：本發明之各個實施例提供了基板與處理頭的相對移動,以在最小空間內接近整個晶圓而在基板各區域上執行組合式處理。處理頭能夠在所述之處理室中進行位置隔離處理。本發明亦提供處理頭在處理室中進行位置隔離處理的說明。
简体摘要：本发明之各个实施例提供了基板与处理头的相对移动,以在最小空间内接近整个晶圆而在基板各区域上运行组合式处理。处理头能够在所述之处理室中进行位置隔离处理。本发明亦提供处理头在处理室中进行位置隔离处理的说明。

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