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1. 发明专利

TW201743038A 微加工體聲波諧振器壓力傳感器审中-公开
简体标题：微加工体声波谐振器压力传感器
公开(公告)号：TW201743038A
公开(公告)日：2017-12-16
申请号：TW106118184
申请日：2017-06-02
申请人： MSK儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：塔迪加達帕史里尼瓦斯 , TADIGADAPA, SRINIVAS , 果爾尼雪特 , GOEL, NISHIT , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN
IPC分类号： G01L23/10 , G01L9/02
CPC分类号： G01L9/008 , G01L9/0022 , G01L9/0047
摘要：一種壓力傳感器包含：一壓電基板，其具有一大致平面結構；及一錨位置，其在該壓電基板之該平面結構之周邊處固定該壓電基板。該壓電基板之該平面結構具有：一第一區域，其鄰近該錨位置而具有一第一特性厚度；及一第二區域，其處於該基板之一中間區域而具有一第二特性厚度。該第二特性厚度小於該第一特性厚度使得該第二區域中之該平面結構相對於該平面結構之中性軸移位，使得當經歷彎曲時，該第二區域具有的大多係壓縮應力抑或大多係拉伸應力。
简体摘要：一种压力传感器包含：一压电基板，其具有一大致平面结构；及一锚位置，其在该压电基板之该平面结构之周边处固定该压电基板。该压电基板之该平面结构具有：一第一区域，其邻近该锚位置而具有一第一特性厚度；及一第二区域，其处于该基板之一中间区域而具有一第二特性厚度。该第二特性厚度小于该第一特性厚度使得该第二区域中之该平面结构相对于该平面结构之中性轴移位，使得当经历弯曲时，该第二区域具有的大多系压缩应力抑或大多系拉伸应力。

2. 发明专利

TW201835535A 具有即時健康監測及補償的壓力感測器审中-公开
简体标题：具有实时健康监测及补偿的压力传感器
公开(公告)号：TW201835535A
公开(公告)日：2018-10-01
申请号：TW106113797
申请日：2014-02-26
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 盧卡斯保羅 , LUCAS, PAUL D. , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F. , 蘇利文菲利浦 , SULLIVAN, PHILIP W.
IPC分类号： G01L7/08
摘要：本發明揭露一種壓力感測器，其係可測量氣體或液體壓力。一腔室具有接收該氣體或液體的一入口。一彈性膜係在該腔室內，該腔室具有一表面暴露到該氣體或液體，在它流經該入口以後。一壓力感測器系統可感測由該氣體或液體之壓力變化所導致之在該彈性膜中的變化。一壓力不敏感感測器系統，可感測在不由該氣體或液體之壓力變化所造成之該彈性膜的變化。該壓力不敏感感測器系統係對該氣體或液體之壓力變化所造成的該彈性膜變化不敏感。
简体摘要：本发明揭露一种压力传感器，其系可测量气体或液体压力。一腔室具有接收该气体或液体的一入口。一弹性膜系在该腔室内，该腔室具有一表面暴露到该气体或液体，在它流经该入口以后。一压力传感器系统可传感由该气体或液体之压力变化所导致之在该弹性膜中的变化。一压力不敏感传感器系统，可传感在不由该气体或液体之压力变化所造成之该弹性膜的变化。该压力不敏感传感器系统系对该气体或液体之压力变化所造成的该弹性膜变化不敏感。

3. 发明专利

TWI666432B 微加工體聲波諧振器壓力傳感器有权
简体标题：微加工体声波谐振器压力传感器
公开(公告)号：TWI666432B
公开(公告)日：2019-07-21
申请号：TW106118184
申请日：2017-06-02
申请人： MKS儀器公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：塔迪加達帕史里尼瓦斯 , TADIGADAPA, SRINIVAS , 果爾尼雪特 , GOEL, NISHIT , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN
IPC分类号： G01L23/10 , G01L9/02

4. 发明专利

TW201512637A 具有整合式檔板的微機電系統（ＭＥＭＳ）壓力感測器审中-公开
简体标题：具有集成式档板的微机电系统（ＭＥＭＳ）压力传感器
公开(公告)号：TW201512637A
公开(公告)日：2015-04-01
申请号：TW103115693
申请日：2014-04-30
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F.
IPC分类号： G01L7/08 , G01L9/00 , B81B7/02
CPC分类号： F15D1/0005 , G01L19/0007 , G01L19/0627 , G01L19/0636 , Y10T29/49
摘要：一種壓力感測器系統可感測一氣體或液體之壓力。此系統可包含：一收容部，其具有一供氣體或液體用之進入埠；一壓力感測器，在收容部之內；以及一檔板，安置在進入埠與壓力感測器之間。檔板可具有：一個或多個入口，被配向以接收進入進入埠之氣體或液體；一個或多個出口，被配向以將接收的氣體或液體傳送至壓力感測器；以及一個或多個密封流體通道，其避免氣體或液體從檔板而非經由一個或多個出口漏出。這些出口之至少一者可被設置在一壓力感測器上之位置之只有1公厘之內。壓力感測器及檔板可在藉由使用微電機系統(MEMS)技術之沈積、圖案化、蝕刻、晶圓接合及/或晶圓薄化一系列的層之一製程期間同時被製成。
简体摘要：一种压力传感器系统可传感一气体或液体之压力。此系统可包含：一收容部，其具有一供气体或液体用之进入端口；一压力传感器，在收容部之内；以及一档板，安置在进入端口与压力传感器之间。档板可具有：一个或多个入口，被配向以接收进入进入端口之气体或液体；一个或多个出口，被配向以将接收的气体或液体发送至压力传感器；以及一个或多个密封流体信道，其避免气体或液体从档板而非经由一个或多个出口漏出。这些出口之至少一者可被设置在一压力传感器上之位置之只有1公厘之内。压力传感器及档板可在借由使用微电机系统(MEMS)技术之沉积、图案化、蚀刻、晶圆接合及/或晶圆薄化一系列的层之一制程期间同时被制成。

5. 发明专利

TW201502481A 具有即時健康監測及補償的壓力感測器审中-公开
简体标题：具有实时健康监测及补偿的压力传感器
公开(公告)号：TW201502481A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103106391
申请日：2014-02-26
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 盧卡斯保羅 , LUCAS, PAUL D. , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F. , 蘇利文菲利浦 , SULLIVAN, PHILIP W.
IPC分类号： G01L7/08
CPC分类号： G01L19/0092 , G01L9/0072
摘要：本發明揭露一種壓力感測器，其係可測量氣體或液體壓力。一腔室具有接收該氣體或液體的一入口。一彈性膜係在該腔室內，該腔室具有一表面暴露到該氣體或液體，在它流經該入口以後。一壓力感測器系統可感測由該氣體或液體之壓力變化所導致之在該彈性膜中的變化。一壓力不敏感感測器系統，可感測在不由該氣體或液體之壓力變化所造成之該彈性膜的變化。該壓力不敏感感測器系統係對該氣體或液體之壓力變化所造成的該彈性膜變化不敏感。
简体摘要：本发明揭露一种压力传感器，其系可测量气体或液体压力。一腔室具有接收该气体或液体的一入口。一弹性膜系在该腔室内，该腔室具有一表面暴露到该气体或液体，在它流经该入口以后。一压力传感器系统可传感由该气体或液体之压力变化所导致之在该弹性膜中的变化。一压力不敏感传感器系统，可传感在不由该气体或液体之压力变化所造成之该弹性膜的变化。该压力不敏感传感器系统系对该气体或液体之压力变化所造成的该弹性膜变化不敏感。

6. 发明专利

TWI651522B 具有即時健康監測及補償的壓力感測器有权
简体标题：具有实时健康监测及补偿的压力传感器
公开(公告)号：TWI651522B
公开(公告)日：2019-02-21
申请号：TW106113797
申请日：2014-02-26
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 盧卡斯保羅 , LUCAS, PAUL D. , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F. , 蘇利文菲利浦 , SULLIVAN, PHILIP W.
IPC分类号： G01L7/08

7. 发明专利

TWI534419B 微型皮冉尼真空計有权
简体标题：微型皮冉尼真空计
公开(公告)号：TWI534419B
公开(公告)日：2016-05-21
申请号：TW104106152
申请日：2015-02-26
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F. , 溫佐歐利 , WENZEL, OLE
IPC分类号： G01L21/12
CPC分类号： G01L21/12 , G01L21/10

8. 发明专利

TWI592641B 具有即時健康監測及補償的壓力感測器有权
简体标题：具有实时健康监测及补偿的压力传感器
公开(公告)号：TWI592641B
公开(公告)日：2017-07-21
申请号：TW103106391
申请日：2014-02-26
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 盧卡斯保羅 , LUCAS, PAUL D. , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F. , 蘇利文菲利浦 , SULLIVAN, PHILIP W.
IPC分类号： G01L7/08
CPC分类号： G01L19/0092 , G01L9/0072

9. 发明专利

TW201546430A 微型皮冉尼真空計审中-公开
简体标题：微型皮冉尼真空计
公开(公告)号：TW201546430A
公开(公告)日：2015-12-16
申请号：TW104106152
申请日：2015-02-26
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F. , 溫佐歐利 , WENZEL, OLE
IPC分类号： G01L21/12
CPC分类号： G01L21/12 , G01L21/10
摘要：本發明說明使用低導熱支撐元件的微型皮冉尼計真空計。微型皮冉尼計或真空感應器包括一加熱元件，其對加熱一氣體以及對產生對應該氣體之壓力的一訊號；一平台，其被組態以接收該加熱元件，該平台具有一第一導熱係數；以及一支撐元件，其被連接到一基板並且被組態以支撐具有該加熱元件的該平台於配置在該基板中的一孔徑內，該支撐元件具有一第二導熱係數，在此該第二導熱係數小於該第一導熱係數。包括微型皮冉尼計的多模壓力感應亦可被說明。
简体摘要：本发明说明使用低导热支撑组件的微型皮冉尼计真空计。微型皮冉尼计或真空感应器包括一加热组件，其对加热一气体以及对产生对应该气体之压力的一信号；一平台，其被组态以接收该加热组件，该平台具有一第一导热系数；以及一支撑组件，其被连接到一基板并且被组态以支撑具有该加热组件的该平台于配置在该基板中的一孔径内，该支撑组件具有一第二导热系数，在此该第二导热系数小于该第一导热系数。包括微型皮冉尼计的多模压力感应亦可被说明。

10. 发明专利

TWI490462B 具有整合式擋板的微機電系統（ＭＥＭＳ）壓力感測器有权
简体标题：具有集成式挡板的微机电系统（ＭＥＭＳ）压力传感器
公开(公告)号：TWI490462B
公开(公告)日：2015-07-01
申请号：TW103115693
申请日：2014-04-30
申请人： MKS公司 , MKS INSTRUMENTS, INC.
发明人：顧磊 , GU, LEI , 巴特史蒂芬 , BART, STEPHEN F.
IPC分类号： G01L7/08 , G01L9/00 , B81B7/02
CPC分类号： F15D1/0005 , G01L19/0007 , G01L19/0627 , G01L19/0636 , Y10T29/49

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