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    • 8. 发明专利
    • 輻射線感應樹脂組成物
    • 辐射线感应树脂组成物
    • TWI317460B
    • 2009-11-21
    • TW092129933
    • 2003-10-28
    • JSR股份有限公司
    • 西村幸生石井寬之西村功小林英一
    • G03FC08FH01L
    • G03F7/0397G03F7/0046Y10S430/114
    • 本發明之目的在提供一種輻射線感應樹脂組成物,該輻射線感應樹脂組成物可適用於以KrF準分子雷射、ArF準分子雷射等遠紫外光等各種輻射線進行微細加工有用之做為化學增幅型光阻用途。本發明之輻射線感應樹脂組成物含有[A],下列一般式(I-1)所示重複單位(1-1)之樹脂,以及[B],輻射線感應性產酸劑(1-(4-正丁氧基萘基)四氫噻吩鎓九氟-正丁烷磺酸酯等)。更可含有[C]、酸擴散抑制劑(苯基苯駢咪唑等)。
    • 本发明之目的在提供一种辐射线感应树脂组成物,该辐射线感应树脂组成物可适用于以KrF准分子激光、ArF准分子激光等远紫外光等各种辐射线进行微细加工有用之做为化学增幅型光阻用途。本发明之辐射线感应树脂组成物含有[A],下列一般式(I-1)所示重复单位(1-1)之树脂,以及[B],辐射线感应性产酸剂(1-(4-正丁氧基萘基)四氢噻吩鎓九氟-正丁烷磺酸酯等)。更可含有[C]、酸扩散抑制剂(苯基苯骈咪唑等)。