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1. 发明专利

TW544896B 校正晶片尺寸標示器中標示位置的方法及裝置有权
简体标题：校正芯片尺寸标示器中标示位置的方法及设备
公开(公告)号：TW544896B
公开(公告)日：2003-08-01
申请号：TW091111645
申请日：2002-05-31
申请人： EO科技股份有限公司
发明人：韓裕熙 , 李忠信 , 閔涼基 , 安炳敏 , 張赫俊
IPC分类号： H01L
CPC分类号： H01L21/67282 , H01L21/681
摘要：一種校正晶片尺寸標示器中標示位置的方法及裝置，該方法包括：(a)將與晶圓同形之一螢幕置於一用以支持該晶圓之晶圓支持元件；(b)對螢幕上的一個預定目標點發射一雷射光束，並藉在該目標點上移動的攝相機測量該雷射光束的位置；(c)該測量的位置資料傳送至一控制器；(d)對複數個預定點重覆步驟(b)及(c)；(e)比較傳送之位置資料及目標點；以及(f)當位置資料與目標點之偏差大於一預定值時，藉著調整電流掃描計之面鏡，以校正雷射光束輻射於晶圓上的位置。
简体摘要：一种校正芯片尺寸标示器中标示位置的方法及设备，该方法包括：(a)将与晶圆同形之一屏幕置于一用以支持该晶圆之晶圆支持组件；(b)对屏幕上的一个预定目标点发射一激光光束，并藉在该目标点上移动的摄相机测量该激光光束的位置；(c)该测量的位置数据发送至一控制器；(d)对复数个预定点重复步骤(b)及(c)；(e)比较发送之位置数据及目标点；以及(f)当位置数据与目标点之偏差大于一预定值时，借着调整电流扫描计之面镜，以校正激光光束辐射于晶圆上的位置。

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