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1. 发明专利

TW201501948A 用於參考由工件載具所支撐之工件的工件參考系統及方法审中-公开
简体标题：用于参考由工件载具所支撑之工件的工件参考系统及方法
公开(公告)号：TW201501948A
公开(公告)日：2015-01-16
申请号：TW103112816
申请日：2014-04-08
申请人： DTG國際股份有限公司 , DTG INTERNATIONAL GMBH
发明人：哈里斯湯姆 , HARRIS, TOM , 班奈特瑞奇 , BENNETT, RICKY
IPC分类号： B41F15/18 , B41M1/12
CPC分类号： B41F15/18 , H01L21/682
摘要：一種工件參考系統及方法，該系統包含：一工件支撐總成，其用於支撐複數個工件，其中該支撐總成包含一支撐平台及安置至該支撐平台之複數個支撐部件，每一支撐部件經建構以支撐一個別工件；及一工件參考總成，其用於將如由該支撐總成所支撐之該等工件參考至預定位置；其中該等支撐部件各自包含：一本體，該本體包括支撐一工件之一支撐表面；及一彈性耦接件，該彈性耦接件相對於該支撐平台彈性地耦接該本體之至少一上部部分，使得該本體之該至少部分藉由操作該參考總成而相對於該支撐平台自一第一未經偏置位置可位移至一第二經偏置參考位置，且在被釋放時，該本體之該至少部分返回至該第一未經偏置位置。
简体摘要：一种工件参考系统及方法，该系统包含：一工件支撑总成，其用于支撑复数个工件，其中该支撑总成包含一支撑平台及安置至该支撑平台之复数个支撑部件，每一支撑部件经建构以支撑一个别工件；及一工件参考总成，其用于将如由该支撑总成所支撑之该等工件参考至预定位置；其中该等支撑部件各自包含：一本体，该本体包括支撑一工件之一支撑表面；及一弹性耦接件，该弹性耦接件相对于该支撑平台弹性地耦接该本体之至少一上部部分，使得该本体之该至少部分借由操作该参考总成而相对于该支撑平台自一第一未经偏置位置可位移至一第二经偏置参考位置，且在被释放时，该本体之该至少部分返回至该第一未经偏置位置。

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