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1. 发明专利

TWI381258B 氣體供應單元有权
简体标题：气体供应单元
公开(公告)号：TWI381258B
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW097106227
申请日：2008-02-22
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION , 東芝股份有限公司 , KABUSHIKI KAISHA TOSHIBA
发明人：福原成太 , FUKUHARA, JOTA , 石塚穗高 , ISHIZUKA, HOTAKA , 杉本佳夫 , SUGIMOTO, YOSHIO , 西村康典 , NISHIMURA, YASUNORI , 伊藤一壽 , ITOH, KAZUTOSHI , 杉野彰仁 , SUGINO, AKIHITO , 冨田洋 , TOMITA, HIROSHI
IPC分类号： G05D7/00 , H01L21/205 , H01L21/67
CPC分类号： C23C16/45557 , C23C16/45561 , Y10T137/7762 , Y10T137/86485

2. 发明专利

TWI381421B 流量檢定故障診斷裝置、流量檢定故障診斷系統、流量檢定故障診斷方法以及電腦可讀取媒體產品有权
简体标题：流量检定故障诊断设备、流量检定故障诊断系统、流量检定故障诊断方法以及电脑可读取媒体产品
公开(公告)号：TWI381421B
公开(公告)日：2013-01-01
申请号：TW097139400
申请日：2008-10-14
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：中田明子 , NAKADA, AKIKO , 加藤啟介 , KATO, KEISUKE , 杉野彰仁 , SUGINO, AKIHITO , 土居広樹 , DOI, HIROKI
IPC分类号： H01L21/02 , G05D7/06
CPC分类号： G01F25/0038 , G01F25/0053

3. 发明专利

TWI607201B 流量校驗單元有权
简体标题：流量校验单元
公开(公告)号：TWI607201B
公开(公告)日：2017-12-01
申请号：TW104136452
申请日：2015-11-05
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：城山直也 , SHIROYAMA, NAOYA , 杉野彰仁 , SUGINO, AKIHITO , 伊藤稔 , ITO, MINORU
IPC分类号： G01F25/00 , G05D7/06
CPC分类号： G01F25/0007 , G01F25/00 , G01F25/0084 , G01N7/14

4. 发明专利

TW201629440A 流量校驗單元审中-公开
简体标题：流量校验单元
公开(公告)号：TW201629440A
公开(公告)日：2016-08-16
申请号：TW104136452
申请日：2015-11-05
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：城山直也 , SHIROYAMA, NAOYA , 杉野彰仁 , SUGINO, AKIHITO , 伊藤稔 , ITO, MINORU
IPC分类号： G01F25/00 , G05D7/06
CPC分类号： G01F25/0007 , G01F25/00 , G01F25/0084 , G01N7/14
摘要：在使用在將第2關閉閥設定成閉閥之狀態壓力計所測量之壓力量測值之每單位時間的壓力變動值與溫度計所測量之溫度量測值，算出流量控制閥與第2關閉閥之間的容積，逐個校驗質量流量控制器之流量的流量校驗單元，將與氣體累積單元拆裝自如地連接的第1校驗側連接部2設置於壓力計之上游側，並對第2關閉閥並列地設置串列地連接之校驗氣體輸入閥、校驗側質量流量控制器以及校驗側流量控制閥。
简体摘要：在使用在将第2关闭阀设置成闭阀之状态压力计所测量之压力量测值之每单位时间的压力变动值与温度计所测量之温度量测值，算出流量控制阀与第2关闭阀之间的容积，逐个校验质量流量控制器之流量的流量校验单元，将与气体累积单元拆装自如地连接的第1校验侧连接部2设置于压力计之上游侧，并对第2关闭阀并列地设置串行地连接之校验气体输入阀、校验侧质量流量控制器以及校验侧流量控制阀。

5. 发明专利

TWI368935B 流量檢測系統及流量檢測方法 FLOW VERIFICATION SYSTEM AND FLOW VERIFICATION METHOD 有权
简体标题：流量检测系统及流量检测方法 FLOW VERIFICATION SYSTEM AND FLOW VERIFICATION METHOD
公开(公告)号：TWI368935B
公开(公告)日：2012-07-21
申请号：TW097127112
申请日：2008-07-17
申请人： CKD股份有限公司
发明人：中田明子 , 伊藤一寿 , 杉野彰仁
IPC分类号： H01L , G05D
CPC分类号： G01F1/34 , G05D7/0635
摘要：本發明提供一種流量檢測系統，用以檢測一氣體管路系統之流量，包括：一第一阻斷閥；一流量控制閥，設置於一第一阻斷閥下游端；一壓力感測器，用以量測由流量控制閥下游端之壓力，且流量檢測系統依據壓力感測器所量得之壓力以量測流量。此流量檢測系統更包括：一基準儲存裝置，於流量控制閥正常運作下，應用藉由總和由壓力感測器量得之壓力值所計算得出用以儲存之一基準值及一異常偵測裝置，當製程氣體供至流量控制裝置過程中，流經第一阻斷閥並受流量控制閥控制流量以供應至壓力感測器，藉由總和壓力感測器量得之壓力值以計算一總和壓力值且比較總和壓力值與基準值，用以偵測製程氣體的異常流量。
简体摘要：本发明提供一种流量检测系统，用以检测一气体管路系统之流量，包括：一第一阻断阀；一流量控制阀，设置于一第一阻断阀下游端；一压力传感器，用以量测由流量控制阀下游端之压力，且流量检测系统依据压力传感器所量得之压力以量测流量。此流量检测系统更包括：一基准存储设备，于流量控制阀正常运作下，应用借由总和由压力传感器量得之压力值所计算得出用以存储之一基准值及一异常侦测设备，当制程气体供至流量控制设备过程中，流经第一阻断阀并受流量控制阀控制流量以供应至压力传感器，借由总和压力传感器量得之压力值以计算一总和压力值且比较总和压力值与基准值，用以侦测制程气体的异常流量。

6. 发明专利

TWI338761B 清洗氣體單元及清洗氣體供給集合單元 PURGE GAS UNIT AND PURGE GAS SUPPLY INTEGRATED UNIT 失效
简体标题：清洗气体单元及清洗气体供给集合单元 PURGE GAS UNIT AND PURGE GAS SUPPLY INTEGRATED UNIT
公开(公告)号：TWI338761B
公开(公告)日：2011-03-11
申请号：TW096123742
申请日：2007-06-29
申请人： CKD股份有限公司 , 東京電子股份有限公司
发明人：岡部庸之 , 森洋司 , 稻垣竹矢 , 杉野彰仁
IPC分类号： F17D , C23C , H01L
CPC分类号： F16K27/003 , F15B13/0821 , Y10T137/87885
摘要：為了提供能減少足部空間之清洗空氣單元及清洗氣體供給集合單元，清洗空氣單元(1)，係具有：輸入塊(4)，包括貫穿形成之清洗流路(11)及自前述清洗流路(11)分歧形成之輸入路徑(12)，將清洗氣體加以輸入；輸出塊(6)，將清洗氣體加以輸出；連通塊(5)，被安裝於前述輸入塊(4)與前述輸出塊(6)，使前述輸入塊(4)與前述輸出塊(6)連通；以及使前述清洗流路(11)連接到另一清洗氣體單元(1)的清洗流路(11)，使前述輸入塊(4)以面接觸狀態連結到前述另一清洗氣體單元(1)輸入塊(4)的連結構件(51,52)。
简体摘要：为了提供能减少足部空间之清洗空气单元及清洗气体供给集合单元，清洗空气单元(1)，系具有：输入块(4)，包括贯穿形成之清洗流路(11)及自前述清洗流路(11)分歧形成之输入路径(12)，将清洗气体加以输入；输出块(6)，将清洗气体加以输出；连通块(5)，被安装于前述输入块(4)与前述输出块(6)，使前述输入块(4)与前述输出块(6)连通；以及使前述清洗流路(11)连接到另一清洗气体单元(1)的清洗流路(11)，使前述输入块(4)以面接触状态链接到前述另一清洗气体单元(1)输入块(4)的链接构件(51,52)。

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