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1. 发明专利

TWI383104B 真空閥有权
简体标题：真空阀
公开(公告)号：TWI383104B
公开(公告)日：2013-01-21
申请号：TW098135049
申请日：2009-10-16
申请人： CKD股份有限公司 , CKD CORPORATION
发明人：渡邊雅之 , WATANABE, MASAYUKI , 吉安一智 , YOSHIYASU, KAZUTOMO
IPC分类号： F16K51/02

2. 发明专利

TW552490B 脈衝式流量調整裝置及脈衝式流量調整方法有权
简体标题：脉冲式流量调整设备及脉冲式流量调整方法
公开(公告)号：TW552490B
公开(公告)日：2003-09-11
申请号：TW091123809
申请日：2002-10-16
申请人： CKD股份有限公司
发明人：繩田德秀 , 須藤良久 , 纈雅之 , 渡邊雅之 , 土居廣樹
IPC分类号： G05D
CPC分类号： G05D7/0647 , G05D7/0635 , Y10T137/0379 , Y10T137/7759 , Y10T137/7761 , Y10T137/86421
摘要：一種流量調整裝置及流量調整方法，其中，藉由使用所謂脈衝式之新穎方式，以解除習知裝置之限制。在將脈衝(在實施第1遮斷閥(12)之開閉動作後，實施第2遮斷閥(17)之開閉動作)加以反覆之同時，以利用壓力偵知器(14)所測得的氣體充填容積(13)之製程氣體充填後壓力和排出後壓力P等為基礎，計算出每單位時間，自第2遮斷閥(17)排出之製程氣體體積流量Q；更有甚者，藉由改變脈衝之形態，以調整每單位時間，自第2遮斷閥(17)排出之製程氣體體積流量Q。伍、(一)、本案代表圖為：第 1 圖
(二)、本案代表圖之元件代表符號簡單說明：
11~手動閥； 12~第1遮斷閥；
13~氣體充填容積； 14~壓力偵知器；
15~溫度偵知器； 17~第2遮斷閥；
19~控制器。
简体摘要：一种流量调整设备及流量调整方法，其中，借由使用所谓脉冲式之新颖方式，以解除习知设备之限制。在将脉冲(在实施第1遮断阀(12)之开闭动作后，实施第2遮断阀(17)之开闭动作)加以反复之同时，以利用压力侦知器(14)所测得的气体充填容积(13)之制程气体充填后压力和排出后压力P等为基础，计算出每单位时间，自第2遮断阀(17)排出之制程气体体积流量Q；更有甚者，借由改变脉冲之形态，以调整每单位时间，自第2遮断阀(17)排出之制程气体体积流量Q。伍、(一)、本案代表图为：第 1 图 (二)、本案代表图之组件代表符号简单说明： 11~手动阀； 12~第1遮断阀； 13~气体充填容积； 14~压力侦知器； 15~温度侦知器； 17~第2遮断阀； 19~控制器。

3. 发明专利

TW201033505A 真空閥审中-公开
简体标题：真空阀
公开(公告)号：TW201033505A
公开(公告)日：2010-09-16
申请号：TW098135049
申请日：2009-10-16
申请人： CKD股份有限公司
发明人：渡邊雅之 , 吉安一智
IPC分类号： F16K
摘要： [課題]提供活塞的迴轉停止構造簡單、分解作業容易的真空閥。[解決手段]真空閥1包括：具備閥座44的本體40、與閥座44抵接或分離的閥體19、以及賦予驅動力於閥體19的驅動部2，其中驅動部2包括：連結至閥體19的驅動軸17、連結至驅動軸17且與閥體19相反側的活塞14、具備收納活塞14的活塞室13的汽缸10、以及被保持於活塞14而將活塞室13區分的無摩擦件（bellofram）15；活塞14係，具有突出於移動方向的突起部21a；汽缸10係，在與突起部21a相對的面，在分解時與突起部21a嵌合而進行活塞14的迴轉停止的迴轉停止部12a被形成。
简体摘要： [课题]提供活塞的掉头停止构造简单、分解作业容易的真空阀。[解决手段]真空阀1包括：具备阀座44的本体40、与阀座44抵接或分离的阀体19、以及赋予驱动力于阀体19的驱动部2，其中驱动部2包括：链接至阀体19的驱动轴17、链接至驱动轴17且与阀体19相反侧的活塞14、具备收纳活塞14的活塞室13的汽缸10、以及被保持于活塞14而将活塞室13区分的无摩擦件（bellofram）15；活塞14系，具有突出于移动方向的突起部21a；汽缸10系，在与突起部21a相对的面，在分解时与突起部21a嵌合而进行活塞14的掉头停止的掉头停止部12a被形成。

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