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1. 发明专利

TW577988B 具有共平面子卡之探針卡失效
简体标题：具有共平面子卡之探针卡
公开(公告)号：TW577988B
公开(公告)日：2004-03-01
申请号：TW091107229
申请日：2002-04-10
申请人：鋒法特股份有限公司 FORMFACTOR, INC.
发明人：艾史柏克 SPORCK, A. NICHOLAS , 麥卡瑞德尚德 SHINDE, MAKARAND S.
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R1/07342
摘要：一探針卡總成包含一印刷電路板，該印刷電路板設有若干接點，用以在電氣上連接到一半導體測試器。該探針卡總成亦包含一探針頭總成，該探針頭總成設有若干探針，用以接觸一接受測試的半導體裝置。一個或多個子卡係安裝到該印刷電路板，因而該等子卡大致係與該印刷電路板共平面。該等子卡可包含一用來處理測試資料之電路，該測試資料包含要輸入到該半導體之測試信號、及(或)該半導體裝置回應該等測試信號而產生之回應信號。
简体摘要：一探针卡总成包含一印刷电路板，该印刷电路板设有若干接点，用以在电气上连接到一半导体测试器。该探针卡总成亦包含一探针头总成，该探针头总成设有若干探针，用以接触一接受测试的半导体设备。一个或多个子卡系安装到该印刷电路板，因而该等子卡大致系与该印刷电路板共平面。该等子卡可包含一用来处理测试数据之电路，该测试数据报含要输入到该半导体之测试信号、及(或)该半导体设备回应该等测试信号而产生之回应信号。

2. 发明专利

TW200825426A 用以調整探針方位的設備和方法 APPARATUS AND METHOD FOR ADJUSTING AN ORIENTATION OF PROBES 失效
简体标题：用以调整探针方位的设备和方法 APPARATUS AND METHOD FOR ADJUSTING AN ORIENTATION OF PROBES
公开(公告)号：TW200825426A
公开(公告)日：2008-06-16
申请号：TW095145211
申请日：2006-12-05
申请人：鋒法特股份有限公司 FORMFACTOR, INC.
发明人：班傑明艾德理吉 ELDRIDGE, BENJAMIN N. , 艾瑞克哈柏 HOBBS, ERIC D. , 基頓馬修 MATHIEU, GAETAN L. , 麥卡瑞德尚德 SHINDE, MAKARAND S. , 亞歷山大斯洛克 SLOCUM, ALEXANDER H.
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R31/31905
摘要：一探針卡總成之探針可關於該探針卡總成的一元件作調整,該元件可為探針卡總成的一有利於該探針卡總成安裝至測試設備之元件。該探針卡總成可接著被安裝在一測試設備中,且該探針卡總成之方位可關於該測試設備、諸如該測試設備的一結構部份、或一附接至該測試設備之結構元件作調整。
简体摘要：一探针卡总成之探针可关于该探针卡总成的一组件作调整,该组件可为探针卡总成的一有利于该探针卡总成安装至测试设备之组件。该探针卡总成可接着被安装在一测试设备中,且该探针卡总成之方位可关于该测试设备、诸如该测试设备的一结构部份、或一附接至该测试设备之结构组件作调整。

3. 发明专利

TW200300278A 探針卡之熱感應運動的補償方法及系統 METHOD AND SYSTEM FOR COMPENSATING THERMALLY INDUCED MOTION OF PROBE CARDS 审中-公开
简体标题：探针卡之热感应运动的补偿方法及系统 METHOD AND SYSTEM FOR COMPENSATING THERMALLY INDUCED MOTION OF PROBE CARDS
公开(公告)号：TW200300278A
公开(公告)日：2003-05-16
申请号：TW091132441
申请日：2002-11-01
申请人：鋒法特股份有限公司 FORMFACTOR, INC.
发明人：班傑明艾德理吉 ELDRIDGE, BENJAMIN N. , 蓋瑞古魯柏 GRUBE, GARY W. , 肯松林 MATSUBAYASHI, KEN S. , 理查拉德 LARDER RICHARD A , 麥卡瑞德尚德 SHINDE, MAKARAND S. , 基頓馬修 MATHIEU, GAETAN L. , 羅德馬頓斯 MARTENS, ROD
IPC分类号： H01L
CPC分类号： G01R31/2891 , G01R1/07342 , G01R1/44 , G01R31/2886
摘要：本發明公開用以測試晶圓上的小晶片之探針卡的熱感應運動之補償方法及系統。揭示探針卡結合溫度控制裝置，以維持遍及探針卡厚度的統一溫度。揭示探針卡結合對溫度改變有反應之雙材料加強元件，以此種方式抵消探針卡的熱感應運動，包括滾動元件、槽、及潤滑。亦揭示種種不同機構，用以使探針卡的徑向膨脹可防止探針卡的熱感應運動。也揭示偵測探針卡的熱感應運動及移動晶圓的補償方法。
简体摘要：本发明公开用以测试晶圆上的小芯片之探针卡的热感应运动之补偿方法及系统。揭示探针卡结合温度控制设备，以维持遍及探针卡厚度的统一温度。揭示探针卡结合对温度改变有反应之双材料加强组件，以此种方式抵消探针卡的热感应运动，包括滚动组件、槽、及润滑。亦揭示种种不同机构，用以使探针卡的径向膨胀可防止探针卡的热感应运动。也揭示侦测探针卡的热感应运动及移动晶圆的补偿方法。

4. 发明专利

TW200716986A 調整多基板探針結構的方法與設備 METHOD AND APPARATUS FOR ADJUSTING A MULTI-SUBSTRATE PROBE STRUCTURE 审中-公开
简体标题：调整多基板探针结构的方法与设备 METHOD AND APPARATUS FOR ADJUSTING A MULTI-SUBSTRATE PROBE STRUCTURE
公开(公告)号：TW200716986A
公开(公告)日：2007-05-01
申请号：TW095122789
申请日：2006-06-23
申请人：鋒法特股份有限公司 FORMFACTOR, INC.
发明人：艾瑞克哈柏 HOBBS, ERIC D. , 班傑明艾德理吉 ELDRIDGE, BENJAMIN N. , 馬綸宇 MA, LUNYU , 嘉頓馬修 MATHEIU, GAETAN L. , 史帝文墨非 MURPHY, STEVEN T. , 麥卡瑞德尚德 SHINDE, MAKARAND S. , 亞歷山大斯洛克 SLOCUM, ALEXANDER H.
IPC分类号： G01R
CPC分类号： G01R31/2886 , G01R1/073 , G01R31/31905 , Y10T29/49128 , Y10T29/4913 , Y10T29/49133 , Y10T29/49147 , Y10T29/49208 , Y10T29/49222
摘要：一種探針卡組件,包括裝附於安裝組件之多個探針基板。各個探針基板包括一組探針,且同時,各個探針基板上的探針組係組成探針陣列,用以接觸待測裝置。調整機構係組構以施力予各個探針基板,以個別地相對該安裝組件移動各個基板。該等調整機構可在“x"、“y"、及/或“z"方向平移各個探針基板且可進一步繞著任一或多個前述方向轉動各個探針基板。該調整機構可進一步改變一或多個該等探針基板的形狀。該等探針因此能相對待測裝置之接點而對準及/或平坦化。
简体摘要：一种探针卡组件,包括装附于安装组件之多个探针基板。各个探针基板包括一组探针,且同时,各个探针基板上的探针组系组成探针数组,用以接触待测设备。调整机构系组构以施力予各个探针基板,以个别地相对该安装组件移动各个基板。该等调整机构可在“x"、“y"、及/或“z"方向平移各个探针基板且可进一步绕着任一或多个前述方向转动各个探针基板。该调整机构可进一步改变一或多个该等探针基板的形状。该等探针因此能相对待测设备之接点而对准及/或平坦化。

5. 发明专利

TW200706888A 用於控制探針卡組件之熱誘發的移動之設備與方法 APPARATUS AND METHOD FOR MANAGING THERMALLY INDUCED MOTION OF A PROBE CARD ASSEMBLY 审中-公开
简体标题：用于控制探针卡组件之热诱发的移动之设备与方法 APPARATUS AND METHOD FOR MANAGING THERMALLY INDUCED MOTION OF A PROBE CARD ASSEMBLY
公开(公告)号：TW200706888A
公开(公告)日：2007-02-16
申请号：TW095113808
申请日：2006-04-18
申请人：鋒法特股份有限公司 FORMFACTOR, INC.
发明人：班傑明艾德理吉 ELDRIDGE, BENJAMIN N. , 蓋瑞古魯柏 GRUBE, GARY W. , 艾瑞克哈柏 HOBBS, ERIC D. , 基頓馬修 MATHIEU, GAETAN L. , 麥卡瑞德尚德 SHINDE, MAKARAND S. , 艾史柏克 SPORCK, A. NICHOLAS , 湯馬士瓦森 WATSON, THOMAS N. , 亞歷山大斯洛克 SLOCUM, ALEXANDER H.
IPC分类号： G01R , H01L
CPC分类号： G01R31/2874 , G01R31/2863 , G01R31/2889 , Y10T29/5313
摘要：一種探針卡組件可包括一探針頭組件其具有電性地連接至一接線基板並機械性地裝附於一加固板(stiffener plate)上的探針。該接線基板可提供電氣連接至一測試設備,且該加固板可提供將該探針卡組件裝附至該測試設備的結構。該加固板具有比該接線基板大之機械强度且與該接線基板相比較不會有熱誘發的移動。該接線基板可在其中心位置處被裝附至該加固板上。空間可被提供在該接線基板被裝附到加固板上的其它位置處,使得該接線基板可相對於該加固板膨脹及接觸。
简体摘要：一种探针卡组件可包括一探针头组件其具有电性地连接至一接线基板并机械性地装附于一加固板(stiffener plate)上的探针。该接线基板可提供电气连接至一测试设备,且该加固板可提供将该探针卡组件装附至该测试设备的结构。该加固板具有比该接线基板大之机械强度且与该接线基板相比较不会有热诱发的移动。该接线基板可在其中心位置处被装附至该加固板上。空间可被提供在该接线基板被装附到加固板上的其它位置处,使得该接线基板可相对于该加固板膨胀及接触。

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