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    • 2. 发明专利
    • 從基材去除聚矽氧樹脂的方法
    • 从基材去除聚硅氧树脂的方法
    • TW201510005A
    • 2015-03-16
    • TW103121162
    • 2014-06-19
    • 道康寧公司DOW CORNING CORPORATION
    • 傅 鵬飛FU, PENG-FEI王聖WANG, SHENG金智娜KIM, GINAM
    • C08J11/10B08B3/08B32B38/10
    • C09D9/005C08K2003/309C09K13/06C11D7/08C11D7/5004C11D11/0047H01L21/31111
    • 在各個實施例中提供的是藉由以下步驟從塗佈樹脂的基材去除固化樹脂塗層的方法,該塗佈樹脂的基材係由其上具有該固化樹脂塗層的基材所形成:將該塗佈樹脂的基材浸泡在以濃硫酸為主的試劑((i)含水的濃硫酸或(ii)濃硫酸與一種或更多種有機化合物混合的混合物)中,其中該固化樹脂塗層之樹脂為含Si-O-Si聚矽氧樹脂;使用選擇的有機溶劑從該塗佈樹脂的基材洗去該降解的樹脂塗層;以及用水洗滌所得到的基材,以去除該有機溶劑及/或污染物及形成實質上沒有該固化樹脂塗層或其反應產物且實質上沒有該降解的樹脂塗層或其反應產物的潔淨基材,其中在該塗佈樹脂的基材被浸泡在(i)濃硫酸的方法之實施例中,該潔淨基材上殘留的任何殘餘物量係從0至低於0.20重量百分比,而在該塗佈樹脂的基材被浸泡在(ii)濃硫酸與一種或更多種有機化合物混合的混合物的方法之實施例中,該潔淨基材上殘留的任何殘餘物量係從0至低於0.26重量百分比。本發明提供高處理量及高速去除樹脂塗層的方法,特別適用於微電子產業,而且也不會損壞基材。
    • 在各个实施例中提供的是借由以下步骤从涂布树脂的基材去除固化树脂涂层的方法,该涂布树脂的基材系由其上具有该固化树脂涂层的基材所形成:将该涂布树脂的基材浸泡在以浓硫酸为主的试剂((i)含水的浓硫酸或(ii)浓硫酸与一种或更多种有机化合物混合的混合物)中,其中该固化树脂涂层之树脂为含Si-O-Si聚硅氧树脂;使用选择的有机溶剂从该涂布树脂的基材洗去该降解的树脂涂层;以及用水洗涤所得到的基材,以去除该有机溶剂及/或污染物及形成实质上没有该固化树脂涂层或其反应产物且实质上没有该降解的树脂涂层或其反应产物的洁净基材,其中在该涂布树脂的基材被浸泡在(i)浓硫酸的方法之实施例中,该洁净基材上残留的任何残余物量系从0至低于0.20重量百分比,而在该涂布树脂的基材被浸泡在(ii)浓硫酸与一种或更多种有机化合物混合的混合物的方法之实施例中,该洁净基材上残留的任何残余物量系从0至低于0.26重量百分比。本发明提供高处理量及高速去除树脂涂层的方法,特别适用于微电子产业,而且也不会损坏基材。