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1. 发明专利

TWI674180B 切削裝置有权
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TWI674180B
公开(公告)日：2019-10-11
申请号：TW105107381
申请日：2016-03-10
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：大河原聡 , OHKAWARA, SATOSHI , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 寺師健太郎 , TERASHI, KENTARO , 赤瀬勝彦 , AKASE, KATSUHIKO , 松岡伸太郎 , MATSUOKA, SHINTARO , 田中万平 , TANAKA, KAZUNARI
IPC分类号： B26D7/06 , H01L21/677

2. 发明专利

TW201536476A 切削裝置审中-公开
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TW201536476A
公开(公告)日：2015-10-01
申请号：TW104101102
申请日：2015-01-13
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：田中万平 , TANAKA, KAZUNARI , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 松岡伸太郎 , MATSUOKA, SHINTARO , 大和愛實 , YAMATO, AIMI , 潘鈴竹 , PHAN, LINH TRUC
IPC分类号： B24B47/22 , H01L21/304
摘要：本發明的課題為提供一種切削裝置，其可減少發生忘記更換保持台等，伴隨著作業人員的疏失的設置時的不良狀況。解決手段為切削裝置，其具備用於保持晶圓的保持台、檢測其尺寸的尺寸檢測機構、含有具導電性之切削刀的切削機構，以及控制機構，該控制機構具有儲存保持台之尺寸的尺寸儲存部、使切削刀朝高度位置檢測用上表面接近移動的刀片移動部，及用於檢測切削刀與保持台之保持面的相對位置之相對位置檢測部。可以藉由尺寸檢測機構來檢測載置在台座上的保持台的尺寸，並根據該檢測出的保持台的尺寸完成切削刀的設置。據此，可以防止保持台或裝置本身發生破損之情形。
简体摘要：本发明的课题为提供一种切削设备，其可减少发生忘记更换保持台等，伴随着作业人员的疏失的设置时的不良状况。解决手段为切削设备，其具备用于保持晶圆的保持台、检测其尺寸的尺寸检测机构、含有具导电性之切削刀的切削机构，以及控制机构，该控制机构具有存储保持台之尺寸的尺寸存储部、使切削刀朝高度位置检测用上表面接近移动的刀片移动部，及用于检测切削刀与保持台之保持面的相对位置之相对位置检测部。可以借由尺寸检测机构来检测载置在台座上的保持台的尺寸，并根据该检测出的保持台的尺寸完成切削刀的设置。据此，可以防止保持台或设备本身发生破损之情形。

3. 发明专利

TWI633967B 切削裝置有权
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TWI633967B
公开(公告)日：2018-09-01
申请号：TW104101102
申请日：2015-01-13
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：田中万平 , TANAKA, KAZUNARI , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 松岡伸太郎 , MATSUOKA, SHINTARO , 大和愛實 , YAMATO, AIMI , 潘鈴竹 , PHAN, LINH TRUC
IPC分类号： B24B27/06 , B24B47/22 , B24B49/12 , H01L21/301

4. 发明专利

TWI681485B 工作夾台及洗淨裝置有权
简体标题：工作夹台及洗净设备
公开(公告)号：TWI681485B
公开(公告)日：2020-01-01
申请号：TW105117412
申请日：2016-06-02
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI , 瓜田直功 , URITA, NAOKATSU , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 江角和也 , ESUMI, KAZUYA
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , B26D7/01

5. 发明专利

TW201703173A 工作夾台及洗淨裝置审中-公开
简体标题：工作夹台及洗净设备
公开(公告)号：TW201703173A
公开(公告)日：2017-01-16
申请号：TW105117412
申请日：2016-06-02
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：新田秀次 , NITTA, SHUJI , 瓜田直功 , URITA, NAOKATSU , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 江角和也 , ESUMI, KAZUYA
IPC分类号： H01L21/67 , H01L21/683 , B26D7/01
摘要：本發明的課題為提供一種即使在非常薄的晶圓的情況下，也可將晶圓在沒有破損之情形下吸引保持的工作夾台。解決手段是一種保持晶圓單元的工作夾台，該晶圓單元是藉由以覆蓋環狀框架的開口的方式貼附到該環狀框架的黏著膠帶而支持有晶圓，該工作夾台的特徵在於其具備凹部、複數個吸引孔及吸引路。該凹部是形成為小於該環狀框架的開口且大於晶圓的直徑、並具有平坦的底面。該等複數個吸引孔是形成於將隔著該黏著膠帶所保持的晶圓圍繞的區域的該凹部之該底面或內周面上。該吸引路是將該複數個吸引孔連通於吸引源。在保持該晶圓單元之時，是使其對被該黏著膠帶覆蓋的該凹部產生負壓，以隔著該黏著膠帶將晶圓吸引保持在該底面。
简体摘要：本发明的课题为提供一种即使在非常薄的晶圆的情况下，也可将晶圆在没有破损之情形下吸引保持的工作夹台。解决手段是一种保持晶圆单元的工作夹台，该晶圆单元是借由以覆盖环状框架的开口的方式贴附到该环状框架的黏着胶带而支持有晶圆，该工作夹台的特征在于其具备凹部、复数个吸引孔及吸引路。该凹部是形成为小于该环状框架的开口且大于晶圆的直径、并具有平坦的底面。该等复数个吸引孔是形成于将隔着该黏着胶带所保持的晶圆围绕的区域的该凹部之该底面或内周面上。该吸引路是将该复数个吸引孔连通于吸引源。在保持该晶圆单元之时，是使其对被该黏着胶带覆盖的该凹部产生负压，以隔着该黏着胶带将晶圆吸引保持在该底面。

6. 发明专利

TWI699265B 切削裝置有权
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TWI699265B
公开(公告)日：2020-07-21
申请号：TW105107380
申请日：2016-03-10
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：大河原聡 , OHKAWARA, SATOSHI , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 寺師健太郎 , TERASHI, KENTARO , 赤瀬勝彦 , AKASE, KATSUHIKO , 松岡伸太郎 , MATSUOKA, SHINTARO , 田中万平 , TANAKA, KAZUNARI
IPC分类号： B26D5/08 , B26D5/26 , H01L21/304

7. 发明专利

TW201703957A 切削裝置审中-公开
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TW201703957A
公开(公告)日：2017-02-01
申请号：TW105107381
申请日：2016-03-10
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：大河原聡 , OHKAWARA, SATOSHI , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 寺師健太郎 , TERASHI, KENTARO , 赤瀬勝彦 , AKASE, KATSUHIKO , 松岡伸太郎 , MATSUOKA, SHINTARO , 田中万平 , TANAKA, KAZUNARI
IPC分类号： B26D7/06 , H01L21/677
摘要：提供使裝置全體之構成單純而小型化，同時可以減少零件數量而降低製造成本的切削裝置。為一種切削裝置，具備：卡匣載置機構，和從被載置在卡匣載置機構之卡匣搬岀及搬入被加工物之搬岀、搬入機構，和暫時放置藉由搬岀、搬入機構被搬岀之被加工物的暫時放置機構，和保持被暫時放置在暫時放置機構之被加工物的保持台，和切削被保持在保持台之被加工物的切削機構，和使保持台在加工進給方向(X軸方向)進行加工進給的加工進給機構，加工進給機構具備：X軸導軌，其係用以支撐成使該保持台在配設有暫時放置機構之被加工物拆裝區域，和配設有切削機構之加工區域之間於X軸方向能夠移動；和加工進給手段，其係沿著該X軸導軌而使該保持台移動，搬岀、搬入機構具備支撐基台；被配設在支撐基台，把持被收容在卡匣之被加工物的把持構件；將被加工物限制在規定之位置的一對限制銷；及使支撐基台在Y軸方向移動之搬運移動手段，暫時放置機構具備：在Y軸方向延伸並具有支撐被加工物之兩側部的底部和側部，且底部被構成能夠開關之一對支撐軌道；和開關一對支撐軌道之該底部的開關手段；和使一對支撐軌道在上下方向移動之升降手段。
简体摘要：提供使设备全体之构成单纯而小型化，同时可以减少零件数量而降低制造成本的切削设备。为一种切削设备，具备：卡匣载置机构，和从被载置在卡匣载置机构之卡匣搬岀及搬入被加工物之搬岀、搬入机构，和暂时放置借由搬岀、搬入机构被搬岀之被加工物的暂时放置机构，和保持被暂时放置在暂时放置机构之被加工物的保持台，和切削被保持在保持台之被加工物的切削机构，和使保持台在加工进给方向(X轴方向)进行加工进给的加工进给机构，加工进给机构具备：X轴导轨，其系用以支撑成使该保持台在配设有暂时放置机构之被加工物拆装区域，和配设有切削机构之加工区域之间于X轴方向能够移动；和加工进给手段，其系沿着该X轴导轨而使该保持台移动，搬岀、搬入机构具备支撑基台；被配设在支撑基台，把持被收容在卡匣之被加工物的把持构件；将被加工物限制在规定之位置的一对限制销；及使支撑基台在Y轴方向移动之搬运移动手段，暂时放置机构具备：在Y轴方向延伸并具有支撑被加工物之两侧部的底部和侧部，且底部被构成能够开关之一对支撑轨道；和开关一对支撑轨道之该底部的开关手段；和使一对支撑轨道在上下方向移动之升降手段。

8. 发明专利

TW201700244A 切削裝置审中-公开
简体标题：切削设备
公开(公告)号：TW201700244A
公开(公告)日：2017-01-01
申请号：TW105107380
申请日：2016-03-10
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：大河原聡 , OHKAWARA, SATOSHI , 八木原惇 , YAGIHARA, MAKOTO , 寺師健太郎 , TERASHI, KENTARO , 赤瀬勝彦 , AKASE, KATSUHIKO , 松岡伸太郎 , MATSUOKA, SHINTARO , 田中万平 , TANAKA, KAZUNARI
IPC分类号： B26D5/08 , B26D5/26 , H01L21/304
摘要：提供使裝置全體之構成單純而小型化，同時可以減少零件數量而降低製造成本的切削裝置。為一種切削裝置，具備：載置收容有複數之被加工物的卡匣之卡匣載置機構，和從被載置在卡匣載置機構之卡匣搬出及搬入被加工物之搬出、搬入機構，和暫時放置藉由搬出、搬入機構被搬出之被加工物的暫時放置機構，和保持被暫時放置在暫時放置機構之被加工物的保持台，和使保持台在加工進給方向移動的加工進給機構，和對被保持在保持台之被加工物施予切削加工之第一切削手段及第二切削手段，和使第一切削手段及第二切削手段分別在分度進給方向移動之分度進給機構，第一切削手段及第二切削手段分別具備：移動基台，和分別被配設在移動基台且互相被配設在相同軸線上之切削刀，第一切削手段之移動基台及第二切削手段之移動基台被支撐成能夠在沿著Y軸方向而配設的Y軸導軌上移動，分度進給手段係由沿著Y軸導軌而配設之共同之Y軸線性軌道，和以能夠移動之方式被嵌插於Y軸線性軌道之且被安裝在第一切削手段之移動基台的第一線圈可動件，和以能夠移動之方式被嵌插於Y軸線性軌道且被安裝於第二切削手段之移動基台的第二線圈可動件所構成。
简体摘要：提供使设备全体之构成单纯而小型化，同时可以减少零件数量而降低制造成本的切削设备。为一种切削设备，具备：载置收容有复数之被加工物的卡匣之卡匣载置机构，和从被载置在卡匣载置机构之卡匣搬出及搬入被加工物之搬出、搬入机构，和暂时放置借由搬出、搬入机构被搬出之被加工物的暂时放置机构，和保持被暂时放置在暂时放置机构之被加工物的保持台，和使保持台在加工进给方向移动的加工进给机构，和对被保持在保持台之被加工物施予切削加工之第一切削手段及第二切削手段，和使第一切削手段及第二切削手段分别在分度进给方向移动之分度进给机构，第一切削手段及第二切削手段分别具备：移动基台，和分别被配设在移动基台且互相被配设在相同轴在线之切削刀，第一切削手段之移动基台及第二切削手段之移动基台被支撑成能够在沿着Y轴方向而配设的Y轴导轨上移动，分度进给手段系由沿着Y轴导轨而配设之共同之Y轴线性轨道，和以能够移动之方式被嵌插于Y轴线性轨道之且被安装在第一切削手段之移动基台的第一线圈可动件，和以能够移动之方式被嵌插于Y轴线性轨道且被安装于第二切削手段之移动基台的第二线圈可动件所构成。

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