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1. 发明专利

TW201620028A 被加工物的磨削方法审中-公开
公开(公告)号：TW201620028A
公开(公告)日：2016-06-01
申请号：TW104133535
申请日：2015-10-13
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：不破德人 , FUWA, NARUTO , 松井秀樹 , MATSUI, HIDEKI , 山下真司 , YAMASHITA, SHINJI
IPC分类号： H01L21/304 , B24B45/00 , B28D5/02
CPC分类号： B24B5/00 , B24B7/16 , B24B7/228
摘要：本發明的課題為提供一種被加工物的磨削方法，其可將複數個被加工物之整體恰當地平坦化。解決手段為同時磨削加工複數個被加工物之被加工物的磨削方法，其具備：被加工物貼附步驟，將複數個該被加工物貼附於保持構件；保持步驟，將已貼附於保持構件上之複數個被加工物以工作夾台保持；以及磨削步驟，使磨削輪接觸複數個被加工物來將複數個被加工物同時磨削加工。磨削輪包含圓盤狀的輪基台、複數個於輪基台之第1面上排列成環狀的第1磨削磨石、以及複數個在複數個第1磨削磨石的半徑方向內側與複數個第1磨削磨石排列成同心圓狀之第2磨削磨石，且做成複數個第1磨削磨石與複數個第2磨削磨石之半徑方向的間隔比相鄰之被加工物的最小間隔還要寬之構成。
简体摘要：本发明的课题为提供一种被加工物的磨削方法，其可将复数个被加工物之整体恰当地平坦化。解决手段为同时磨削加工复数个被加工物之被加工物的磨削方法，其具备：被加工物贴附步骤，将复数个该被加工物贴附于保持构件；保持步骤，将已贴附于保持构件上之复数个被加工物以工作夹台保持；以及磨削步骤，使磨削轮接触复数个被加工物来将复数个被加工物同时磨削加工。磨削轮包含圆盘状的轮基台、复数个于轮基台之第1面上排列成环状的第1磨削磨石、以及复数个在复数个第1磨削磨石的半径方向内侧与复数个第1磨削磨石排列成同心圆状之第2磨削磨石，且做成复数个第1磨削磨石与复数个第2磨削磨石之半径方向的间隔比相邻之被加工物的最小间隔还要宽之构成。

2. 发明专利

TWI668751B 被加工物的磨削方法有权
公开(公告)号：TWI668751B
公开(公告)日：2019-08-11
申请号：TW104133535
申请日：2015-10-13
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：不破德人 , FUWA, NARUTO , 松井秀樹 , MATSUI, HIDEKI , 山下真司 , YAMASHITA, SHINJI
IPC分类号： H01L21/304 , B24B45/00 , B28D5/02

3. 发明专利

TW201834048A 吸盤座之阻塞檢測方法及加工裝置审中-公开
简体标题：吸盘座之阻塞检测方法及加工设备
公开(公告)号：TW201834048A
公开(公告)日：2018-09-16
申请号：TW106142324
申请日：2017-12-04
申请人：日商迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：松井秀樹 , MATSUI, HIDEKI , 原田成規 , HARADA, SHIGENORI
IPC分类号： H01L21/304 , H01L21/68
摘要： [課題] 檢測吸盤座的阻塞時，不會耗費時間，而且，不會耗費作業者的勞力。　　[解決手段] 本發明之吸盤座之阻塞檢測方法係檢測吸盤座(30A)之阻塞的檢測方法，其包含：在使空氣與水噴出至吸盤座(30A)的保持面(300a)的狀態下，對吸盤座(30A)的保持面(300a)進行攝像的攝像步驟；將所攝像的畫像進行二值化處理的畫像處理步驟；及藉由在畫像處理步驟中經二值化處理的畫像，判斷吸盤座(30A)之阻塞量的判斷步驟。
简体摘要： [课题] 检测吸盘座的阻塞时，不会耗费时间，而且，不会耗费作业者的劳力。　　[解决手段] 本发明之吸盘座之阻塞检测方法系检测吸盘座(30A)之阻塞的检测方法，其包含：在使空气与水喷出至吸盘座(30A)的保持面(300a)的状态下，对吸盘座(30A)的保持面(300a)进行摄像的摄像步骤；将所摄像的画像进行二值化处理的画像处理步骤；及借由在画像处理步骤中经二值化处理的画像，判断吸盘座(30A)之阻塞量的判断步骤。

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