专利快速检索-快速检索全球专利，免费商用专利数据库-IPRDB

1. 发明专利

TW201718180A 加工裝置审中-公开
简体标题：加工设备
公开(公告)号：TW201718180A
公开(公告)日：2017-06-01
申请号：TW105132907
申请日：2016-10-12
申请人：迪思科股份有限公司 , DISCO CORPORATION
发明人：諏訪野純 , SUWANO, JUN , 杉山聡 , SUGIYAMA, SATOSHI
IPC分类号： B24B55/03 , B24B55/02
摘要：提供可以由較低的成本確認由小的流量被供給液體的加工裝置。加工裝置(2)，具備：朝被加工物(11)供給液體(31)的供給噴嘴(40a、42a、46a、48a)；及包含第1流路(50a)及第2流路(50b)的供給流路(50)；及調整被供給的液體的流量的流量調整閥(54)；及被設在第1流路及第2流路之間，檢出液體的流動的檢出手段(52)；及依據檢出手段的檢出結果，判別規定的流量的液體是否朝供給流路流動的判別手段(58)；檢出手段，具有：第1流路的下游端與上部連接，並且第2流路的上游端與下部連接，內徑比第1流路的下游端及第2流路的上游端更大的檢出管部(72)；及由發光部(74a)及受光部(74b)所構成，檢出在檢出管部內落下的液體的檢出部(74)。
简体摘要：提供可以由较低的成本确认由小的流量被供给液体的加工设备。加工设备(2)，具备：朝被加工物(11)供给液体(31)的供给喷嘴(40a、42a、46a、48a)；及包含第1流路(50a)及第2流路(50b)的供给流路(50)；及调整被供给的液体的流量的流量调整阀(54)；及被设在第1流路及第2流路之间，检出液体的流动的检出手段(52)；及依据检出手段的检出结果，判别规定的流量的液体是否朝供给流路流动的判别手段(58)；检出手段，具有：第1流路的下游端与上部连接，并且第2流路的上游端与下部连接，内径比第1流路的下游端及第2流路的上游端更大的检出管部(72)；及由发光部(74a)及受光部(74b)所构成，检出在检出管部内落下的液体的检出部(74)。

IPRDB

热门服务

关于我们

友情链接

联系方式