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    • 5. 发明专利
    • 非接觸式流體軸承及其製造方法
    • 非接触式流体轴承及其制造方法
    • TW202018202A
    • 2020-05-16
    • TW107139970
    • 2018-11-09
    • 財團法人金屬工業研究發展中心METAL INDUSTRIES RESEARCH & DEVELOPMENT CENTRE
    • 簡國諭CHIEN, KUO-YU
    • F16C32/06
    • 一種非接觸式流體軸承及其製造方法,其將一流量控制件設置於一載體的一腔室,並使該腔室形成有一壓力室,該流量控制件的一密封層位於該流量控制件的一多孔質層與該壓力室之間,該密封層具有複數個微通孔,該微通孔連通該壓力室及該多孔質層的複數個孔隙,該殼體並顯露出該多孔質層的一表面,由於該密封層位於該壓力室中,且該表面顯露於該殼體,因此可對該多孔質層的該表面進行加工,以使該非接觸式流體軸承的厚度及平整度符合預定的標準值,且可避免該密封層脫離該流體軸承。
    • 一种非接触式流体轴承及其制造方法,其将一流量控制件设置于一载体的一腔室,并使该腔室形成有一压力室,该流量控制件的一密封层位于该流量控制件的一多孔质层与该压力室之间,该密封层具有复数个微通孔,该微通孔连通该压力室及该多孔质层的复数个孔隙,该壳体并显露出该多孔质层的一表面,由于该密封层位于该压力室中,且该表面显露于该壳体,因此可对该多孔质层的该表面进行加工,以使该非接触式流体轴承的厚度及平整度符合预定的标准值,且可避免该密封层脱离该流体轴承。