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1. 发明专利

TWI595252B 測距裝置及其測距方法有权
简体标题：测距设备及其测距方法
公开(公告)号：TWI595252B
公开(公告)日：2017-08-11
申请号：TW105114460
申请日：2016-05-10
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：劉子安 , LIU, TZE AN , 李浩瑋 , LEE, HAU WEI , 劉惠中 , LIOU, HUAY CHUNG , 潘善鵬 , PAN, SHAN PENG , 許博爾 , HSU, PO ER
IPC分类号： G01S17/06 , G01S7/48 , G01S3/785
CPC分类号： G01S17/08 , G01B11/14 , G01S3/786 , G01S7/4811 , G01S7/4818 , G01S7/4913 , G01S7/499 , G01S17/66

2. 发明专利

TW201740132A 測距裝置及其測距方法审中-公开
简体标题：测距设备及其测距方法
公开(公告)号：TW201740132A
公开(公告)日：2017-11-16
申请号：TW105114460
申请日：2016-05-10
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：劉子安 , LIU, TZE AN , 李浩瑋 , LEE, HAU WEI , 劉惠中 , LIOU, HUAY CHUNG , 潘善鵬 , PAN, SHAN PENG , 許博爾 , HSU, PO ER
IPC分类号： G01S17/06 , G01S7/48 , G01S3/785
CPC分类号： G01S17/08 , G01B11/14 , G01S3/786 , G01S7/4811 , G01S7/4818 , G01S7/4913 , G01S7/499 , G01S17/66
摘要：一種測距裝置及其測距方法。測距裝置用以追蹤目標物並量測與目標物之間的距離。測距裝置包含絕對測距模組、追蹤模組、兩軸旋轉機構及控制與信號處理模組。絕對測距模組用以測量目標物與測距裝置之間的絕對距離，絕對測距模組與追蹤模組利用二向分光鏡結合，結合後的模組再設於兩軸旋轉機構。當目標物移動時因追蹤光路產生變化，為了不讓絕對測距模組的光路中斷，利用追蹤模組的一四象限感測器量測光路變化，再將其電信號傳遞至控制與信號處理模組，以控制兩軸旋轉機構的角度位移，而達追蹤之目的。
简体摘要：一种测距设备及其测距方法。测距设备用以追踪目标物并量测与目标物之间的距离。测距设备包含绝对测距模块、追踪模块、两轴旋转机构及控制与信号处理模块。绝对测距模块用以测量目标物与测距设备之间的绝对距离，绝对测距模块与追踪模块利用二向分光镜结合，结合后的模块再设于两轴旋转机构。当目标物移动时因追踪光路产生变化，为了不让绝对测距模块的光路中断，利用追踪模块的一四象限传感器量测光路变化，再将其电信号传递至控制与信号处理模块，以控制两轴旋转机构的角度位移，而达追踪之目的。

3. 发明专利

TWI392845B 垂直度量測方法及其系統有权
简体标题：垂直度量测方法及其系统
公开(公告)号：TWI392845B
公开(公告)日：2013-04-11
申请号：TW098142250
申请日：2009-12-10
申请人：財團法人工業技術研究院 , INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：唐忠基 , TANG, CHUNG CHI , 劉惠中 , LIOU, HUAY CHUNG
IPC分类号： G01B11/26

4. 发明专利

TW581856B 雙弦波訊號之計數有权
简体标题：双弦波信号之计数
公开(公告)号：TW581856B
公开(公告)日：2004-04-01
申请号：TW090133360
申请日：2001-12-31
申请人：財團法人工業技術研究院 INDUSTRIAL TECHNOLOGY RESEARCH INSTITUTE
发明人：劉惠中 , 呂明峰 , 黃少琦 , 張國明
IPC分类号： G01D
摘要：一種分析雙弦波訊號角度的方法，其中雙弦波分別為第一弦波與第二弦波，包括下列步驟：轉換第一弦波與第二弦波的類比訊號值為數位訊號值；將第一弦波與第二弦波的數位訊號值做歸一化(Normalization)處理，並取得第一歸一值與第二歸一值；取第一歸一值與第二歸一值的反餘弦值得到第一角度值與第二角度值，並計算出第一角度值與第二角度值於單位週期內之變化量；將第一弦波與第二弦波轉換為第一方波與第二方波，並計算第一方波與第二方波的週期數目；以及加上週期數目於單位週期內之變化量。
简体摘要：一种分析双弦波信号角度的方法，其中双弦波分别为第一弦波与第二弦波，包括下列步骤：转换第一弦波与第二弦波的模拟信号值为数码信号值；将第一弦波与第二弦波的数码信号值做归一化(Normalization)处理，并取得第一归一值与第二归一值；取第一归一值与第二归一值的反余弦值得到第一角度值与第二角度值，并计算出第一角度值与第二角度值於单位周期内之变化量；将第一弦波与第二弦波转换为第一方波与第二方波，并计算第一方波与第二方波的周期数目；以及加上周期数目於单位周期内之变化量。

5. 发明专利

TW201120404A 垂直度量測方法及其系統 METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING SQUARENESS 审中-公开
简体标题：垂直度量测方法及其系统 METHOD AND SYSTEM FOR MEASURING SQUARENESS
公开(公告)号：TW201120404A
公开(公告)日：2011-06-16
申请号：TW098142250
申请日：2009-12-10
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：唐忠基 , 劉惠中
IPC分类号： G01B
摘要：本發明提供一種垂直度量測方法與系統,其係使用一不需預先校正過垂直線之圖樣,配合影像擷取單元,應用反轉技術分析法,便可精確量測出垂直度。
简体摘要：本发明提供一种垂直度量测方法与系统,其系使用一不需预先校正过垂直线之图样,配合影像截取单元,应用反转技术分析法,便可精确量测出垂直度。

6. 发明专利

TW503332B 全反射式光學開關有权
简体标题：全反射式光学开关
公开(公告)号：TW503332B
公开(公告)日：2002-09-21
申请号：TW090130793
申请日：2001-12-12
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：黃卯生 , 劉惠中
IPC分类号： G02B
摘要：一種全反射式光學開關，其包括：一透明多邊形柱狀體，具有兩個端面與複數側面，且一光訊號自一側面入射該透明多邊形柱狀體，且該光訊號於該透明多邊形柱狀體中產生全反射；複數耦合玻璃，分別與上述透明多邊形柱狀體之複數側面毗鄰設置，並且該等耦合玻璃分別與上述複數側面之間形成複數狹縫；一折射率匹配液體，具有與上述透明多邊形柱狀體及耦合玻璃相同之折射率；以及一推擠裝置，將上述折射率匹配液體移入與移出上述複數狹縫。
简体摘要：一种全反射式光学开关，其包括：一透明多边形柱状体，具有两个端面与复数侧面，且一光信号自一侧面入射该透明多边形柱状体，且该光信号于该透明多边形柱状体中产生全反射；复数耦合玻璃，分别与上述透明多边形柱状体之复数侧面毗邻设置，并且该等耦合玻璃分别与上述复数侧面之间形成复数狭缝；一折射率匹配液体，具有与上述透明多边形柱状体及耦合玻璃相同之折射率；以及一推挤设备，将上述折射率匹配液体移入与移出上述复数狭缝。

7. 发明专利

TW284843B 斑點相位干涉儀失效
简体标题：斑点相位干涉仪
公开(公告)号：TW284843B
公开(公告)日：1996-09-01
申请号：TW084111335
申请日：1995-10-24
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：彭國勝 , 劉惠中
IPC分类号： G01B
摘要：本發明之斑點相位干涉儀，其光學組成為一麥克遜型干涉儀，但不用平面鏡做反射面，而以元件本身的表面，或在元件上黏貼反光貼紙，當做反射面，產生斑點反射光束，而以數位儲存示波器擷取訊號，以涵蓋高頻的動態量測範圍，因此非常適用於微小元件之精密線性位移量測或高頻特性分析。
简体摘要：本发明之斑点相位干涉仪，其光学组成为一麦克逊型干涉仪，但不用平面镜做反射面，而以组件本身的表面，或在组件上黏贴反光贴纸，当做反射面，产生斑点反射光束，而以数码存储示波器截取信号，以涵盖高频的动态量测范围，因此非常适用于微小组件之精密线性位移量测或高频特性分析。

8. 实用新型

TW413411U 雷射穩頻裝置失效
简体标题：激光稳频设备
公开(公告)号：TW413411U
公开(公告)日：2000-11-21
申请号：TW088210903
申请日：1999-06-30
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：陳志溢 , 劉惠中
IPC分类号： H01S
摘要：一種雷射穩頻裝置，包含一偏振分光鏡、一加熱裝置、以及一溫度控制迴路，主要是利用熱效應控制雷射管腔長，來達到穩頻目的。由於雷射管有兩個縱模輸出，其偏振方向互相垂直，使用偏振分光鏡分離這兩個縱模，比較其光強度以作為誤差信號，並使用溫度控制迴路配合改變脈波寬度來控制加熱帶溫度，進而調制雷射管腔長，使兩個縱模輸出之光強度持續保持相同。此時雷射光即便是在環境發生變化，也能被調制成具有穩定頻率而輸出。
简体摘要：一种激光稳频设备，包含一偏振分光镜、一加热设备、以及一温度控制回路，主要是利用热效应控制激光管腔长，来达到稳频目的。由于激光管有两个纵模输出，其偏振方向互相垂直，使用偏振分光镜分离这两个纵模，比较其光强度以作为误差信号，并使用温度控制回路配合改变脉波宽度来控制加热带温度，进而调制激光管腔长，使两个纵模输出之光强度持续保持相同。此时激光光即便是在环境发生变化，也能被调制成具有稳定频率而输出。

9. 发明专利

TW253939B 高解析度相位法干涉儀失效
简体标题：高分辨率相位法干涉仪
公开(公告)号：TW253939B
公开(公告)日：1995-08-11
申请号：TW083108361
申请日：1994-09-07
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：彭國勝 , 劉惠中
IPC分类号： G01B
摘要：一種改良的相位法干涉儀，包含
一光學模組，其中該光源所發出之光束，經過第一分光鏡後分成一參考光束及一測量光束，該參考光束射向該參考反射鏡反射後，折回該第一分光鏡；該測量光束則射向該測量反射鏡，經反射後，亦折回該第一分光鏡，並與該參考光束形成干涉之後，形成一干涉光束，射入下述訊號分解模組；
一訊號分解模組，含有第二分光鏡，可將該干涉光束分為二道光束，分別射向該二偵測器，以偵出二電壓信號，送往下述處理模組；及
一處理模組，含有一信號處理器，用以計算該測量反射鏡之位移量；
其中該光學模組含有一光學調整手段，用以調整該光束之強度及偏極方向及該參考光束之相位角；
利用光學調整手段及處理模組之配合，可以提高相位法干涉儀之解析度。
简体摘要：一种改良的相位法干涉仪，包含一光学模块，其中该光源所发出之光束，经过第一分光镜后分成一参考光束及一测量光束，该参考光束射向该参考反射镜反射后，折回该第一分光镜；该测量光束则射向该测量反射镜，经反射后，亦折回该第一分光镜，并与该参考光束形成干涉之后，形成一干涉光束，射入下述信号分解模块；一信号分解模块，含有第二分光镜，可将该干涉光束分为二道光束，分别射向该二侦测器，以侦出二电压信号，送往下述处理模块；及一处理模块，含有一信号处理器，用以计算该测量反射镜之位移量；其中该光学模块含有一光学调整手段，用以调整该光束之强度及偏极方向及该参考光束之相位角；利用光学调整手段及处理模块之配合，可以提高相位法干涉仪之分辨率。

10. 发明专利

TW201024705A 奈米結構線寬之量測方法與裝置 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING LINEWIDTH OF NANOSTRUCTURE 审中-公开
简体标题：奈米结构线宽之量测方法与设备 METHOD AND DEVICE FOR MEASURING LINEWIDTH OF NANOSTRUCTURE
公开(公告)号：TW201024705A
公开(公告)日：2010-07-01
申请号：TW097149674
申请日：2008-12-19
申请人：財團法人工業技術研究院
发明人：劉惠中 , 潘善鵬 , 陳智榮
IPC分类号： G01Q , G01B
摘要：一種奈米結構線寬之量測裝置，包含：一承載單元，用於承載待測樣品；一驅動單元，係與該承載單元相連接並帶動該承載單元沿一轉軸旋轉；一探測單元，係以一探針接觸該待測樣品之表面以獲得待測樣品之表面結構；以及一量測數據影像處理單元，係分別與該驅動單元及探測單元連接；其中，該待測樣品之表面係位於轉軸中心上。
简体摘要：一种奈米结构线宽之量测设备，包含：一承载单元，用于承载待测样品；一驱动单元，系与该承载单元相连接并带动该承载单元沿一转轴旋转；一探测单元，系以一探针接触该待测样品之表面以获得待测样品之表面结构；以及一量测数据影像处理单元，系分别与该驱动单元及探测单元连接；其中，该待测样品之表面系位于转轴中心上。

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