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简体标题：皮肤模块真空度维持方法及其结构 METHOD FOR MAINTAINING VACUUM OF A PANEL MODULE AND STRUCTURE FOR THE SAME

公开(公告)号：TWI325981B

公开(公告)日：2010-06-11

申请号：TW095108097

申请日：2006-03-10

申请人：財團法人工業技術研究院

发明人：彭智平 , 蕭雲嬌

IPC分类号： G02F , B32B , B29C

CPC分类号： H01J9/385 , H01J7/22 , H01J9/40 , H01J29/865 , H01J63/04

摘要：本發明提供一種面板模組真空度維持方法及其結構。本發明係於一面板模組內部懸吊一封結物於該面板模組抽氣孔正上方，當該面板模組抽完真空後，加熱該封結物以使其熔融落下封住連接該抽氣孔之一抽氣管，以先行將該面板模組內部保持密合狀況，進而在進行回火過程使該氣抽管縮口密合時，避免外界氣體回流至該面板模組內部。 This invention provides a method for maintaining vacuum of a panel module and a structure of the panel module. A sealing material is suspended inside the panel module right above an air－extracting opening of the panel module communicating with an air－extracting pipe. After completing the vacuum－pumping of the panel module, the sealing material is heated and melted to drop down to seal the air－extracting pipe. As such, the panel module is vacuum－tight. During a subsequent annealing process to heat the air－extracting pipe to the melting temperature, ambient air is thus prevented from flowing in the panel module. 【創作特點】本發明之主要目的係提供一種面板模組真空度維持方法，係於一面板模組內部懸吊一封結物於基板抽氣孔正上方，俾當面板模組內部經過抽真空達到預定真空度後，加熱該封結物，使其熔融落下而封住連接該抽氣孔之一抽氣管，以於抽氣管燒結切斷過程避免外界氣體回流至該面板模組內部，以達到維持面板模組內部真空度的效果。
為達到上述目的，本發明提供一種面板模組真空度維持方法，其包括提供一面板模組，該面板模組至少包含一第一基板、一第二基板及一邊框，該邊框係設置於該第一基板與該第二基板之間，及該第二基板具有一抽氣孔，並將一封結物懸吊於該面板模組內部，使該抽氣孔位於該封結物正下方，再將一抽氣管接合至該第二基板之該抽氣孔，經由該抽氣管對該面板模組內部進行抽氣，使該面板模組內部達到一預定真空度，接著加熱該封結物，使該封結物熔融後落下以封住該抽氣管，藉以使該面板模組內部保持密封狀態，最後熔斷燒結該抽氣管即完成符合真空度需求之面板模組。
另一方面，本發明提供一種面板模組真空度維持裝置，其包括一第一基板；一第二基板，係具有一抽氣孔；一邊框，係設置於該第一基板與該第二基板之間；一抽氣管，係接合於該抽氣孔；以及一封結物，係密封於該抽氣管一端，藉由此裝置可以達到維持面板模組內部真空度之要求，並且防止外界氣體藉將抽氣管燒斷的過程中回流至該面板模組內部。
較佳地，本發明面板模組真空度維持方法及其裝置中該封結物為一無機物。
較佳地，本發明面板模組真空度維持方法係以高週波對該無機物進行加熱，俾使該封結物熔融落下以封住該抽氣管。
較佳地，本發明面板模組真空度維持方法及其裝置中該無機物之熔點係為420℃至450℃。
較佳地，本發明面板模組真空度維持方法中係以一導電性構件懸吊該無機物。
本發明係利用一封結物懸吊於一面板模組內部之抽氣孔正上方，當該面板模組抽真空後，加熱該封結物使其熔融落下封住連接該抽氣孔之一抽氣管，以使該面板模組內部達密封狀態。本發明方法簡單且易於達成，能夠解決面板模組抽真空後在封結時氣體回流之問題。本發明對於面板模組抽真空之製程，可以明顯提高其製程良率。

简体摘要：本发明提供一种皮肤模块真空度维持方法及其结构。本发明系于一皮肤模块内部悬吊一封结物于该皮肤模块抽气孔正上方，当该皮肤模块抽完真空后，加热该封结物以使其熔融落下封住连接该抽气孔之一抽气管，以先行将该皮肤模块内部保持密合状况，进而在进行回火过程使该气抽管缩口密合时，避免外界气体回流至该皮肤模块内部。 This invention provides a method for maintaining vacuum of a panel module and a structure of the panel module. A sealing material is suspended inside the panel module right above an air－extracting opening of the panel module communicating with an air－extracting pipe. After completing the vacuum－pumping of the panel module, the sealing material is heated and melted to drop down to seal the air－extracting pipe. As such, the panel module is vacuum－tight. During a subsequent annealing process to heat the air－extracting pipe to the melting temperature, ambient air is thus prevented from flowing in the panel module. 【创作特点】本发明之主要目的系提供一种皮肤模块真空度维持方法，系于一皮肤模块内部悬吊一封结物于基板抽气孔正上方，俾当皮肤模块内部经过抽真空达到预定真空度后，加热该封结物，使其熔融落下而封住连接该抽气孔之一抽气管，以于抽气管烧结切断过程避免外界气体回流至该皮肤模块内部，以达到维持皮肤模块内部真空度的效果。为达到上述目的，本发明提供一种皮肤模块真空度维持方法，其包括提供一皮肤模块，该皮肤模块至少包含一第一基板、一第二基板及一边框，该边框系设置于该第一基板与该第二基板之间，及该第二基板具有一抽气孔，并将一封结物悬吊于该皮肤模块内部，使该抽气孔位于该封结物正下方，再将一抽气管接合至该第二基板之该抽气孔，经由该抽气管对该皮肤模块内部进行抽气，使该皮肤模块内部达到一预定真空度，接着加热该封结物，使该封结物熔融后落下以封住该抽气管，借以使该皮肤模块内部保持密封状态，最后熔断烧结该抽气管即完成符合真空度需求之皮肤模块。另一方面，本发明提供一种皮肤模块真空度维持设备，其包括一第一基板；一第二基板，系具有一抽气孔；一边框，系设置于该第一基板与该第二基板之间；一抽气管，系接合于该抽气孔；以及一封结物，系密封于该抽气管一端，借由此设备可以达到维持皮肤模块内部真空度之要求，并且防止外界气体藉将抽气管烧断的过程中回流至该皮肤模块内部。较佳地，本发明皮肤模块真空度维持方法及其设备中该封结物为一无机物。较佳地，本发明皮肤模块真空度维持方法系以高周波对该无机物进行加热，俾使该封结物熔融落下以封住该抽气管。较佳地，本发明皮肤模块真空度维持方法及其设备中该无机物之熔点系为420℃至450℃。较佳地，本发明皮肤模块真空度维持方法中系以一导电性构件悬吊该无机物。本发明系利用一封结物悬吊于一皮肤模块内部之抽气孔正上方，当该皮肤模块抽真空后，加热该封结物使其熔融落下封住连接该抽气孔之一抽气管，以使该皮肤模块内部达密封状态。本发明方法简单且易于达成，能够解决皮肤模块抽真空后在封结时气体回流之问题。本发明对于皮肤模块抽真空之制程，可以明显提高其制程良率。

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